核心参数
仪器种类: 进口等离子清洗器
射频频率: 射频RF13.56Mhz
功率: 0-300W
设备尺寸: W540×D600×H600mm
样品腔容积: W400×D250×H150mm
样品腔材质: 铝制
工作气体: 二路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体
控制方式: 全自动控制
Microwave Plasma: 微波等离子体
underfill plasma: 欠填充等离子体
wafer plasma: wafer plasma
用户单位
采购时间
采购数量
日本kashiyama
2023/10/18
2
德祥科技-Think-lab
2023/08/13
2
德国海道尔夫(Heidolph)公司
2023/07/13
2
美国orion
2023/10/11
2
永诺生物
2023/06/23
2
中科都菱
2023/02/23
2
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