核心参数
仪器种类: 进口等离子清洗器
射频频率: 射频RF13.56Mhz
功率: 0-500W
设备尺寸: W700×D700×H1285mm
样品腔容积: W500×D300×H200mm
样品腔材质: 一体成型铝制腔体
工作气体: 二路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体
控制方式: 液晶触摸屏、全自动控制
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