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核心参数
仪器种类： 进口等离子清洗器
射频频率： 射频RF13.56Mhz
功率： 0-200W
设备尺寸： W350×D400×H500mm
样品腔容积： φ100×L160mm
样品腔材质： 高硼硅玻璃
工作气体： 1路
控制方式： 半自动控制
Microwave Plasma： 微波等离子体
underfill plasma： 欠填充等离子体
wafer plasma： 晶片等离子体
等离子清洗机日本YAMATO等离子清洗机PR200产品介绍：
■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-200W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。
● 标准配备数字式皮拉尼传感器，实时显示真空度，使得控制更为精确。
● 高硼硅玻璃腔体非常适合于实验室处理比较纯净的精元、硅片等样品，无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。
■ 安全性·保护
● 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯，可实时监测和了解机器的运转状态。
● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。
■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好，清洗过程中无废液产生，安全环保。
●几乎所有的材质样品都可以进行等离子清洗。
●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。
●高效的特制电极，保证等离子体能够均匀产生。
等离子清洗机日本YAMATO等离子清洗机PR200规格：
型号 | PR200 | PR301 | |||
方式 | DP模式、圆柱形腔体 | ||||
性能 | 发生器功率： | 0-200W | 0-300W | ||
发生器频率： | 射频RF13.56Mhz | ||||
发生器匹配方式： | 自动匹配（Auto matching) | 手动匹配（manul）
| |||
构成 | 腔体材质： | 高硼硅玻璃 | |||
腔体内尺寸： | φ100×L160mm | φ118×L160mm | |||
反应气体： | 一路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。 | ||||
控制方式： | 半自动控制 | ||||
真空度显示： | 数字式皮拉尼传感器，实时显示腔体内真空度。 | 模拟式压力表 | |||
配管材质： | SUS不锈钢以及特氟龙 | ||||
门： | 铰链门 | ||||
外形尺寸： | W350×D400×H500mm | W438×D520×H630mm | |||
真空泵抽速： | 4m3/hour | ||||
电源规格： | AC220V 10A | ||||
重量： | 约25kg | 约34kg | |||
附属品 | 真空管件一套、真空转接接头一套、试料托盘一枚。 | ||||
用户单位
采购时间
采购数量
日本kashiyama
2023/10/18
2
德祥科技-Think-lab
2023/08/13
2
德国海道尔夫(Heidolph)公司
2023/07/13
2
美国orion
2023/06/22
2
永诺生物
2023/06/22
2
中科都菱
2023/02/23
2
中科院金属研究所
2019/01/03
1
南京大学物理学院
2018/12/21
1
雅马拓表面处理仪PR200的工作原理介绍
表面处理仪PR200的使用方法?
雅马拓PR200多少钱一台?
表面处理仪PR200可以检测什么？
表面处理仪PR200使用的注意事项？
雅马拓PR200的说明书有吗？
雅马拓表面处理仪PR200的操作规程有吗？
雅马拓表面处理仪PR200报价含票含运吗？
雅马拓PR200有现货吗？
企业名称
浚和（上海）仪器科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310115MA1K47CW68
成立日期
2018-10-09
注册资本
1000
经营范围
一般项目：从事仪器科技、机电科技、机械科技、环保科技、电子科技领域内的技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广，从事货物及技术的进出口业务，仪器仪表、电气设备、环保设备、机械设备及配件、化工产品及原料（除危险化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品）的销售，机械设备的上门维修。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
浚和(上海)仪器科技有限公司
公司地址
上海市闵行区秀文路898号西子国际中心5号楼306室
客服电话
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