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浚和(上海)仪器科技有限公司

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当前位置： 浚和仪器 > 等离子体表面处理仪 > YAMATO等离子清洗机PR500

YAMATO等离子清洗机PR500

品牌： 雅马拓
产地： 日本
型号： PR500
样本： 下载
报价： ¥50万
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核心参数

仪器种类： 进口等离子清洗器

射频频率： 13.56MHz

功率： Max500W

设备尺寸： W438 x D520 x H760mm

样品腔容积： Φ215×305mm

样品腔材质： 石英

工作气体： 2系统（O2／CF4）

控制方式： 手动

产品介绍

低温等离子·经典桶型。


PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制

内槽

硅晶圆灰化状态

低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能

及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款

小型紧凑型的等离子处理设备。

● 去除光刻胶

● 部品清洗

● 界面活性处理

● 微研磨

● 硅晶圆，玻璃基板对应

用途

● 大口径（Φ215mm）石英反应腔

● 小型一体化设计


规格：

型号

PR500

PR510

等离子模式

DP模式，桶形

高频输出功率

Max500W

频率

13.56MHz

同调方式

自动协调

反应腔

石英Φ215×305mm

反应气体

2系统（O2／CF4）

控制

手动

触模屏自动控制

配管材质

不锈钢、特氟龙

外形尺寸

W438 x D520 x H760mm

参照规格书

重量

约60kg

参照规格书

电源

单相AC100V 9A

三相AC200V 8A



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雅马拓表面处理仪PR500的工作原理介绍

表面处理仪PR500的使用方法?

雅马拓PR500多少钱一台?

表面处理仪PR500可以检测什么？

表面处理仪PR500使用的注意事项？

雅马拓PR500的说明书有吗？

雅马拓表面处理仪PR500的操作规程有吗？

雅马拓表面处理仪PR500报价含票含运吗？

雅马拓PR500有现货吗？

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等离子清洗机的八大应用

等离子清洗机在半导体、电子材料干式清洗中的应用越来越广泛，如硅胶片的光刻胶剥离、除去有机膜、界面活性化、微细研磨、除去碳化膜等领域，等离子产品都发挥了积极的作用。     从研究开发到工艺生产使用，从表面微细加工到表面处理改质，等离子设备有着很广的社会应用需求。在多个领域也都有普遍应用。

制药/生物制药

2024/01/25

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等离子清洗机的清洗过程指导

等离子清洗机的清洗过程一般包括以下步骤： 1. 准备工作：先将待清洗物放入等离子清洗室，并确保清洗室内没有杂物和污垢。 2. 封闭清洗室：关闭清洗室的门和密封装置，确保清洗室密封。 3. 抽气和抽真空：打开真空泵，将清洗室内的气体抽走，形成一定的真空度。真空度的选择根据清洗物的要求和等离子清洗机的规格来确定。 4. 气体进入和等离子放电：在清洗室内引入清洗气体（如氧气、氮气等）并调整流量和压力。然后启动等离子发生器，产生等离子放电，形成气体等离子体。 5. 清洗时间和功率：根据清洗物的材料和污染程度，设定适当的清洗时间和功率。清洗时间通常为几分钟到几十分钟，功率通常为几十瓦到几千瓦。 6. 清洗结束和处理：清洗时间结束后，关闭等离子发生器和抽真空泵。待等离子体消失后，打开清洗室门，将清洗物取出。 7. 清洗室清理和维护：清理清洗室内壁、电极和密封件，并检查设备的各种部件是否正常。 需要注意的是，在进行等离子清洗时，应根据具体情况选择合适的清洗参数，如气体种类、流量、压力、功率等，在操作过程中要遵循设备使用说明书和安全操作规范，确保操作安全和清洗效果。

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2024/01/25
工商信息

企业名称

浚和（上海）仪器科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

91310115MA1K47CW68

成立日期

2018-10-09

注册资本

1000

经营范围

一般项目：从事仪器科技、机电科技、机械科技、环保科技、电子科技领域内的技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广，从事货物及技术的进出口业务，仪器仪表、电气设备、环保设备、机械设备及配件、化工产品及原料（除危险化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品）的销售，机械设备的上门维修。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）

联系方式

浚和(上海)仪器科技有限公司

公司地址

上海市闵行区秀文路898号西子国际中心5号楼306室

客服电话

400-861-0969
浚和(上海)仪器科技有限公司为您提供雅马拓YAMATO等离子清洗机PR500，雅马拓PR500产地为日本，属于等离子体表面处理仪，除了YAMATO等离子清洗机PR500的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多等离子体表面处理仪,浚和仪器客服电话400-861-0969，售前、售后均可联系。
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公司地址： 上海市闵行区秀文路898号西子国际中心5号楼306室 联系人： 揭先生 邮编： 201199 联系电话： 400-861-0969

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