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JJF17392019数字式激光球面干涉仪校准规范
2021/02/20 13:01
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方案摘要：
产品配置单：
方案详情：
本规范适用于数字式激光球面干涉仪的校准.
本规范引用下列文件:
JJF1100-2016平面等厚干涉仪校准规范
GB/T2831-2009光学零件的面形偏差;
ISO 14999-4:2015 Optics and photonics
主要用于球面光学元件面形偏差的测量。
数字式激光球面干涉仪通过干涉仪球面镜头产生参考光和测试光,测试光入射到被测
球面元件表面并反射回来，携带被测球面元件面形偏差信息的光波与参考光形成干涉条纹,
采用移相技术和干涉仪球面镜头F数相匹配的解相位算法，对干涉条纹进行处理得到被测
球面元件面形偏差信息，可提供面形偏差图和PV、rms、 PVr 等数值。
面形偏差surface form deviation,被测光学表面相对于参考光学表面的偏差。
峰谷值peak-to-valley (PV) value,面形偏差MAX值减去最小值，简称PV值。
PVr 值robust peak-to-valley (PVr) value,面形偏差的36项Zernike多项式拟合面PV值加上3倍拟合残差(面形偏差减去36项.
3.4球面元件F 数F number of spherical optics,球面曲率半径与通光口径的比值。注:被测球面元件F数应当小于或等于干涉仪球面镜头F数，才能实现球面干涉仪全表面测量
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