半路转行，要做国产最好的电镜制样仪器——“创新100”走进速普仪器

　　科学仪器行业活跃着一批拥有核心技术、产品具有良好市场潜力的中小仪器厂商，为更好地助力企业发展，仪器信息网在2021年继续推进国产科学仪器腾飞行动之“创新100”项目，以公益性的宣传报道和资源对接，助力行业筛选扶持真正具备自主创新能力的“种子选手”。2021年“创新100”第一站，仪器信息网带你走进深圳市速普仪器有限公司(以下简称：速普仪器)。

　　从半路“转行”，到进入电镜制样行业

　　速普仪器源于上一家公司内部孵化，实际独立运行于2014年，总部位于深圳市南山区高新科技园区，致力于微纳米薄膜领域提供敏捷+精益级制备、测量和控制仪器，协助客户提高研发和生产效率。

　　公司创始团队求学和工作初始阶段本身就是从事材料及真空薄膜工艺领域的研究，当年做工艺困于制备装备的落后和有限条件，因而抱着自己去尝试优化改造的初心，半路“转行”进入镀膜设备仪器行业。正因为如此，相对于同行很多公司，速普团队开发设备或仪器的出发点是习惯性从使用者角度或从工艺角度去看待，而不只是从光机电设备仪器制造的角度去设计，这也成了速普产品的初心和特色。

　　速普仪器创立伊始，聚焦于工业级真空等离子体在PVD物理气相沉积镀膜领域的应用。作为一家小公司对条件困顿感同身受，因此主要定位于开发敏捷+精益级设备和仪器去服务相关小公司，朴素地相信小公司之间协同联合也可以发挥相当的作用，山里的野百合也可以有春天。限于当时的认知和能力圈，前面三年这方面的探索并不成功。

　　2017年起，速普团队开始关注等离子体在电镜领域的应用，发现有两个问题：1电镜领域无论从电镜本身到前处理制样仪器80%都是进口品牌; 2 过去20年电镜制样仪器的更新换代速度明显低于电镜本身性能的升级速度(大市场大公司受关注)。市面上亟需升级开发新一代的制样仪器去发挥出新一代电镜的最优性能。因此，速普仪器将自身基于工业级真空等离子体方面的理论认知和实践经验应用于电镜制样仪器领域，快速推出了一系列SEM扫描电镜和TEM透射电镜样品前处理设备。三年多时间大概推出了十余个产品，分别进行了多次迭代及定型。目前，这类产品已在公司销售额占比中逐步提升，预计将占公司销售额4成以上。

　　速普仪器涉足的另一个领域是薄膜的检测和薄膜工艺过程控制仪器的开发。公司自2014年就推出针对硬质涂层领域的薄膜残余应力测试仪，随着近些年微纳加工或半导体行业的客户咨询量逐年攀升，而早期硬质涂层残余应力仪由于测试精度局限性已无法满足半导体行业客户的应用需求，公司在2018年末专门开发了一款高精度薄膜应力仪，于2019年底定型并设计生产出光电薄膜版应力仪FST2000。一年后，又继续迭代并升级相关产品，定型为FST5000系列。

FST5000薄膜应力仪

　　Easy to Be Different，Hard To Be Better

　　当前，速普仪器拥有全职员工15人，另有多位兼职员工，其中研发人员占60%，博士、硕士占比近30%。过去几年的研发投入持续地占当年公司营收30%。目前，速普仪器主要与中科院体系下的研究所比如金属所、电工所、深圳先进技术研究院以及深圳职业技术学院等高校研究所有较为深入地合作。

　　目前，速普仪器在电镜制样领域主推产品型号有两类：TEM/SEM样品离子清洗和离子溅射。

SPC150等离子清洗仪

　　SPC150样品杆等离子清洗仪，主要用于TEM样品杆检漏、等离子清洗、亲水活化、表面改性和真空存储等用途。该产品性能上可以替代进口同类主流产品，并且实现方式上有简单直接的微创新，比如样品等离子体分区处理(客户能够根据样品污染多少选择不同处理强度区域)。

ISC150+RPS20离子溅射清洗仪

　　另一个是ISC离子溅射仪系列，主要是附加了射频远程离子清洗模块。目前业界“标准”流程：样品制备-喷金/喷碳-电镜观察。速普团队发现在喷金仪本身增加一步离子清洗步骤，通过这种简单方便及低成本方式，可以显著地提升电镜图像衬度、去除碳氢污染，又不对样品本身造成离子损伤。“虽然是非常简单地方式，但我们很兴奋。行业不在乎多一个或少一个同质公司，但假若采用简单低成本方式，就可能给这个行业带来通用流程地改变和改善，协助客户发挥高性能电镜的真正能力。我们深知easy to be different，hard to be better。”

　　在薄膜检测领域，速普仪器主推产品型号是FST系列薄膜应力仪，主要用于光电类薄膜和MEMS/IC领域薄膜应力测试。该产品主要特点及优势：采用双激光源，更简单地光路设计微创新，同时兼容业内两种主流扫描模式，即局部应力mapping面扫模式和整体应力线扫模式，实现1-5000MPa薄膜应力的精确测量。该产品技术源于速普仪器自2014年即推向市场的FST1000硬质涂层残余应力仪，只是FST5000测试精度更高一两个数量级。目前在同类产品中，速普是国产唯一生产商。

　　速普仪器在科研领域和工业领域拥有大量典型客户，例如：中科院金属所、中科院深圳先进院、中科院兰州化物所、清华大学、北京航空航天大学，北京科技大学、南开大学、南方科技大学，以及富士康科技集团，瑞声科技股份有限公司，株洲钻石切削刀具股份有限公司等。速普人的心声是：“我们的初心就是针对具体的场景，尽量提供最合适的解决方案，至少要做到国内最好水平。相信长期来看客户是理性的，只要真正解决客户需求，销量是顺理成章的。”

　　截止今日，速普仪器最早推出的球坑测厚仪销量已占国内同中产品8成市场占有率。FST1000硬质涂层残余应力仪销量占国内相关产品销量7成。电镜领域相关产品虽然推向市场较晚，但是发展较为迅猛，每年销售额基本都是100%左右同比增长。

　　被客户和市场“推着”进入半导体领域

　　华为被美国“断供”，中芯国际被列入美国商务部黑名单，半导体领域严峻的形势吸引牵动着公众的神经，也将大家的目光聚焦到国产半导体和芯片领域。

　　速普仪器关注并开始踏入相关的市场并非主动选择，而是客户和市场“推着”进入的。前文提及，速普仪器在2014年即推出针对硬质涂层残余应力表征设备，由于硬质涂层测试的特点，该产品的光路设计和相关数据精度能够很好满足客户需求。但是从2018年开始，越来越多从事半导体行业的客户打电话或展会拜访，咨询公司是否能够满足光电类薄膜测试需求。速普仪器也曾经尝试过用现有产品测试光电薄膜的残余应力，但是获得数据根本没有重复性可言。经过内部讨论、技术探讨和市场调研，速普仪器通过对现有技术的摸索改进，最终在2019年底推出光电薄膜应力测试仪，用于解决精确表征制备薄膜应力数值或mapping分布，对于前道制备薄膜工艺进行指导和反馈。

　　此外，速普仪器也在开发一些真空薄膜工艺制程控制仪器和核心部件。类似于电脑，MEMS或半导体设备整机国内已经逐步会做到集成，但组成这些整机设备的核心零部件大部分还是进口。而且这些零部件由于市场非常细分和涉及多学科技术交叉，开始阶段属于小而苦的行业，需要持续不成投资回报比例地投入和时间积累才能有所突破。速普人表示：“主航道有大公司去布局，在这些细分方向更能发挥我们团队多学科交叉背景优势，填补一些核心零部件产品国产空白。对于我们也愿意为中国半导体行业的崛起贡献绵薄之力。”

　　当前，速普仪器还是希望能够在电镜前处理仪器和精益微纳米领域的薄膜检测、过程控制仪器两个领域发力。公司的初心和目标就是针对具体的应用场景，发挥创造力尽量为客户提供最合适的解决方案，至少要做到国内最好水平。“假如发现我们的产品通过几年都看不到做到国内数一数二的水准希望，我们会主动放弃这个产品，只是市场上另一个可有可无的同质产品或公司并不是我们的追求。”

　　附：“创新100”介绍

　　秉承“国产科学仪器腾飞行动”宗旨，仪器信息网于2018年启动“国产科学仪器腾飞行动”之“创新100”项目，通过筛选一批具备自主创新能力的中小仪器厂商，借助报道、走访、调研等方式，在企业发展的关键时期“帮一把”。

　　项目自启动以来，已收到超过150家企业的踊跃申请，通过输出公益性的宣传报道，组织企业研学、参观交流、主题讨论等各类资源对接活动，得到广大科学仪器企业与用户单位的高度关注与一致好评，现已成为中国科学仪器市场颇具影响力的特色活动，对于提升国产仪器品牌影响力，为行业筛选优质仪器企业贡献重要力量。为延续“国产科学仪器腾飞行动”精神，筛选和服务更多国产科学仪器潜力企业，“创新100”将于2021年继续进行，为国产仪器企业输送更多公益资源。

　　点击链接，立即报名：https://www.instrument.com.cn/zt/chuangxin100-2021