微波探测的光感应电流瞬态图谱检测,非接触且无损伤,用于温度依赖的少数载流子寿命测量以及半导体的界面陷阱和体陷阱能级的电性能表征。MDpicts将在半导体材料的基础研究与开发领域取得广泛的应用。
设备特点▼
>>灵敏度:对半导体材料电学缺陷有非常高的灵敏度
>>温度范围:液氮(77k)至500k。可选:液氦(4k)或更高温度
>>衰减常数范围:20纳秒到几毫秒
>>沾污检测:电学陷阱基本性能确定:激活能和陷阱的俘获截面,受温度和注入水平影响的少子寿命 参数等
>>重复性:> 99.5%,测量时间:< 60分钟。液氮消耗:2升/次
>>灵活性:从365 nm 到1480nm,根据不同材料选择不同波长激发光源
>>可访问性:基于IP的系统允许来自世界任何地方的远程操作和技术支持
图1. 与温度有关的载流子发射瞬态
图2. 不同缺陷的评价
从Arrhenius斜率(图3)可以确定活化能
图3.Arrhenius曲线图
利用这种新型MDPpicts设备,可在20~500k范围内测量温度依赖性的瞬态光电导。
Si, GaAs, InP, SiC和其他很多半导体材料已成功采用了这种方法进行研究。
图4. 不同温度的Cz-Si晶圆片的MD-PICTS图谱
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企业名称
束蕴仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310120003388984
成立日期
2016-09-23
注册资本
500
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的批发、零售,从事仪表科技、机械科技、机电科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,一类医疗器械、仪表仪器的维修,一类医疗器械批发、零售,自有设备租赁,设计、制作各类广告,电子商务(不得从事金融业务),从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
束蕴仪器(上海)有限公司
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上海市松江区新桥镇千帆路288弄3号楼602室-1
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