l 可以集成任何自动化或处理系统且适用于极端环境(研磨、锯切)
l 紧凑、标准的工业接口
l 独立定位测量,可测量平面或圆周
l 光学等级检测
l 解决了行业难题:
① 如果加工设备和定向测量是分开的,那么就会因为样品转移而造成定向误差
② 市场对于精确对齐的晶圆的需求量越来越大
l 将测量过程整合到工业生产中(研磨或锯切)
技术参数▼
l 可测量材料:硅,碳化硅,砷化镓及更多
l 样品尺寸:钢锭直径450毫米
l 冷却:空气,低噪音
l 可能的用途:在锯/磨/平/缺口检测前对大型晶锭进行预对准
硅锭取向:
磨削前对平面和缺口位置的检测
样品直径可达8 ",长度可达40厘米
无需移动样本即可进行定向,可与打磨产线相结合直接进行在线检测
可以直接集成到基础机圆磨床72/856上
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企业名称
束蕴仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310120003388984
成立日期
2016-09-23
注册资本
500
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的批发、零售,从事仪表科技、机械科技、机电科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,一类医疗器械、仪表仪器的维修,一类医疗器械批发、零售,自有设备租赁,设计、制作各类广告,电子商务(不得从事金融业务),从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
束蕴仪器(上海)有限公司
公司地址
上海市松江区新桥镇千帆路288弄3号楼602室-1
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