Omega/Theta XRD-Omega扫描-单晶X射线衍射技术

德国Freiberg Instruments（弗莱贝格仪器）公司的Omega/Theta XRD主要针对半导体晶体材料和光学材料生产研发，该仪器采用先进的Omega扫描方法测定晶体结构并检测单晶取向，且可集成至全自动生产线中，是可测大直径的全自动晶圆和铸锭定向检测分拣设备。

工作原理▼

l  Omega/Theta XRD可测材料类型有Si、Ge、SiC、Al2O3（蓝宝石）、石英、AlN、GaAs、LiNbO3、BBO、高温涡轮叶片等 200多种半导体、光学、电子、高温合金等单晶晶体；

l 可测整块晶体取向mapping（独有技术）进行测量；

l 可测直径可达590mm（可根据需求定制更大检测尺寸）；

l 检测精度可达0.003°，检测速度快——5s/试样；

l 可测摇摆曲线检测晶体质量；

l 制样简便，且可集成至全自动化生产线中，快速晶体质量检测分拣（日处理量可达5000片）。

用户群体▼

德国Freiberg Instruments（弗莱贝格仪器）公司Omega/Theta X射线衍射仪系列 （XRD）在国内已有200多家客户，如蓝思科技、四联集团、协鑫集团、广东惠伦晶体、中电五十四所时频事业部等。

而该仪器在欧美国家等国家晶体生产研发巨头企业中同样应用广泛，如美国IPG Photonics公司、美国II-VI Advanced Materials公司、美国Crystal IS 公司、德国Si Crystal公司、波兰热舒夫理工大学。德国博世(Bosch)公司借助于此设备的Omega扫描技术，其石英振荡器晶体产量从55%直接提升至95%。

应用实例▼

单晶涡轮叶片检测图：

α方向：

β方向：

γ方向：