MDPpicts 温度依赖的光感应电流瞬态图谱检测
Microwave Detected Photo Induced Current Transient Spectroscopy
微波探测的光感应电流瞬态图谱检测,非接触且无损伤,用于温度依赖的少数载流子寿命测量以及半导体的界面陷阱和体陷阱能级的电性能表征。
灵敏度:对电子缺陷表征的 灵敏度
图1. 与温度有关的载流子发射瞬态
温度范围:液氮(77k)至500k。可选:液氦(4k)或更高温度
衰变常数范围:20纳秒到几毫秒
污染测定:测量基础的陷阱能级:陷阱的活化能和俘获截面,基于温度和注入的寿命测定
重复性:> 99.5%,测量时间:< 60分钟。液氮消耗:2升/次
弹性:可从不同波长(从365nm到1480nm)选择不同种类的材料
可访问性:基于IP的系统允许来自世界任何地方的远程操作和技术支持
从Arrhenius斜率(图3)可以确定活化能。
利用这种新型的商用MDPpicts设备,可以在20~500k范围内测量温度依赖性的光电导瞬态。在过去,Si, GaAs, InP, SiC和更多的半导体已经成功采用了这种方法进行研究。
图2. 不同ID的评价
图3.Arrhenius曲线图
图4. 不同温度的Cz-Si晶圆片的MD-PICTS图谱
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企业名称
束蕴仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310120003388984
成立日期
2016-09-23
注册资本
500
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的批发、零售,从事仪表科技、机械科技、机电科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,一类医疗器械、仪表仪器的维修,一类医疗器械批发、零售,自有设备租赁,设计、制作各类广告,电子商务(不得从事金融业务),从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
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上海市松江区新桥镇千帆路288弄3号楼602室-1
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