MDPinline是一种用于快速定量测量载流子寿命并集成扫描功能的检测仪。通过工厂安装的传送带将晶圆片移至仪器,在不到一秒的时间内,就可以“动态”测量出晶圆图。
优势介绍:一秒一片!可集成在生产线上的高速晶圆载流子寿命的面扫测试,在不到一秒内就能形成单个硅片的二维图像。
该仪器本身不使用机械运动部件,因此在连续操作下也非常可靠。它为每个晶圆片提供完整的拓扑结构,这为提高生产线的成本效益和效率提供了新的途径,而这些都是迄今为止无可比拟的。例如,在不到3个小时的时间内,对10000个晶圆片的拓扑结构进行自动统计评估,结果可以显示出晶体生长炉的性能和材料质量的各种细节。
实时的质量检测可以帮助提高和优化诸如扩散和钝化等处理步骤。在运行的生产过程中,MDPinline可以立即检测到某个处理步骤的任何故障,从而使产品达到的性能。
◆ 在不到一秒的时间内,可对一个晶圆片进行全电特性测试。测量参数:载流子寿命(拓扑图)、电阻率(双线扫描)。
◆在非常短的时间内获得数以千计的晶圆片的统计信息可有效地帮助晶圆厂控制过程和生产。
◆适用于测量晶圆片的材料质量,以及识别晶圆片层面的结晶问题,例如在光伏行业。
◆适用于扩散过程的完整性控制、钝化效率和均匀性控制。
样品厚度 | 100 μm up to 1 mm |
样品尺寸 | 在125 x 125 和210 x 210 mm2 之间,或 4”到18” |
电阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
传导类型 | p, n |
材质 | 硅晶圆,部分或完全加工的晶圆片,复合半导体等 |
测量性能 | 少数载流子寿命(稳态或非平衡(μ-PCD)可选择的) |
测量位置 | 默认2.8 mm, 其它可选 |
检测时间 | 获得完整的一张晶圆图时间小于1秒 |
尺寸 | 400 x 400 x 450 mm,重量:29 kg |
电源 | 24 V DC, 4 A |
· 允许单片控制
· 参数自动设置,预定义的排序菜单
· 多达15个质量等级的晶圆片自动分拣
· 监控材料质量、工艺的完整性和稳定性
· 快速提升工艺和生产线
Freiberg Instruments其他半导体检测仪MDPinline的工作原理介绍
其他半导体检测仪MDPinline的使用方法?
Freiberg InstrumentsMDPinline多少钱一台?
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企业名称
束蕴仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310120003388984
成立日期
2016-09-23
注册资本
500
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的批发、零售,从事仪表科技、机械科技、机电科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,一类医疗器械、仪表仪器的维修,一类医疗器械批发、零售,自有设备租赁,设计、制作各类广告,电子商务(不得从事金融业务),从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
束蕴仪器(上海)有限公司
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上海市松江区新桥镇千帆路288弄3号楼602室-1
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