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MDPlinescan 在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测

产地: 德国
型号: MDPlinescan
报价: 面议
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产品介绍

应用范围:灵活的OEM设备,用于多种不同样品的在线寿命测量:从单晶硅到多晶硅锭,从生成态晶圆片到不同镀层或金属化晶圆的过程控制。标准软件接口,易于连接到许多处理或自动化系统。

在线面扫和单点检测

MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元,可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。
样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测,每个晶圆的测量速度小于一秒。
电池生产线上的来料质量检查是最常用的一种应用方向,同样,钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。



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还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成,只需要以太网连接和电源。                                                             
  

产品介绍

各种不同的样品,从单晶硅到多晶硅,从生长的晶片到加工过的晶片,都可以通过MDPlinescan使用少子寿命测量进行检测。

 

MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元,可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。

 

样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测,每个晶圆的测量速度小于一秒。

 

该仪器有许多专门应用可能性。由于其易于集成,只需要以太网连接和电源即可。例如,电池生产线上的来料质量检查是最常用的一种应用方向,同样,钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。

优势

μ-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点。

用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圆,包括材料制备,和各种工艺处理阶段。

小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。优势是长时间的可靠性和测量结果的高精度。

技术参数

样品种类

多晶或单晶晶元片, 晶锭,晶胞

样品尺寸

大约50 x 50 mm2

电阻率

0.2 - 103 Ohm cm

电导类型

p, n

材质

硅晶圆,部分或完全加工晶圆,化合物半导体等

测量属性

载流子的少子寿命

硬件接口

ethernet

大小

174 x 107 x 205 mm, 重量: 3 kg

电源

24 V DC, 2 A


售后服务
保修期: 面议
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 面议
免费仪器保养: 面议
保内维修承诺: 面议
报修承诺: 面议
问商家

Freiberg Instruments其他半导体检测仪MDPlinescan的工作原理介绍

其他半导体检测仪MDPlinescan的使用方法?

Freiberg InstrumentsMDPlinescan多少钱一台?

其他半导体检测仪MDPlinescan可以检测什么?

其他半导体检测仪MDPlinescan使用的注意事项?

Freiberg InstrumentsMDPlinescan的说明书有吗?

Freiberg Instruments其他半导体检测仪MDPlinescan的操作规程有吗?

Freiberg Instruments其他半导体检测仪MDPlinescan报价含票含运吗?

Freiberg InstrumentsMDPlinescan有现货吗?

工商信息

企业名称

束蕴仪器(上海)有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

310120003388984

成立日期

2016-09-23

注册资本

500

经营范围

仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的批发、零售,从事仪表科技、机械科技、机电科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,一类医疗器械、仪表仪器的维修,一类医疗器械批发、零售,自有设备租赁,设计、制作各类广告,电子商务(不得从事金融业务),从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】

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