Solarius Atlas快速3D形貌轮廓测量仪

    Atlas快速3D形貌轮廓测量仪是Solarius旗下应用于品保和过程控制的独立模块化表面3D形貌轮廓测量设备。基于用户的的具体需求，Atlas可配备不同类型3D表面测量传感器，从而使其成为满足各种测量要求的理想设备。基于Atlas强大的灵活性，各种不同的材料以及复杂的几何结构都能被精确扫描。Atlas的软件系统支持生产环境下的自动化高效测量。其软件解决方案结合了两种软件工具：一种是可编程的测量工具，另一种是高灵活性的分析软件。这种独特的集成方式是研发、失效分析和小批量半自动量测的理想配置。

Atlas平台是一套配置隔震装置的独立系统，其平面测量范围高达400x400mm。根据需求可配置共聚焦、白光干涉及线激光三角传感器；对应不同类型的传感器，其高度方向的分辨率范围从10nm至200um。其中白光干涉传感器能够以高达4um的分辨率在0.13s内完成80,000点的高速扫描。Atlas在数据采集以及分析上提供多种软件选项，其中包括一套用于自动化批量重复测量的程序创建和管理工具。

    适用于各种材料表面，无论颜色和反光率都可以转换为准确的测量数据。这种灵活性加上特殊的算法、多种测量模式和数据分析软件使其拥有广阔的工业应用前景。SolarSur的高可靠性和性价比使其极具竞争力。坚固的结构使周围的环境影响，如震动，灰尘均不会对测量精度产生影响。低维护成本和优化的设计使其随时处于待命状态。

Atlas快速3D形貌轮廓测量仪应用优势：

a.易于自动化
b.极速测量
c.灵活多样的传感器配置
d.大测量平台
e.定制化测量程序
f.灵活的分析工具

Atlas快速3D形貌轮廓测量仪的结构简介——光谱共聚焦传感器

    光谱共聚焦传感器利用光学镜头的色差和共聚焦原理进行测量。白色LED点光源发出的光经过半反半透镜后进入经过特殊光学设计的镜头并发生色散——短波长的光聚焦于距离镜头较近的位置，长波长的光聚焦于距离镜头较远的位置，两个位置之间的距离差值就是传感器的测量范围。经样品表面反射后的光再次通过镜头和并经过半反半透镜反射后被光谱仪接收，光谱仪前的小孔确保只有正好聚焦于样品表面的特定波长的光完全通过，其它波长的光则大部分被阻挡，从而形成不同的信号强度，进而得到波长和信号强度构成的共聚焦曲线；通过该曲线可以计算得到当前点的高度。