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μscan激光共聚焦显微镜(光学轮廓仪)材料表面的三维轮廓测量,粗糙度测量,宽度,高度,角度,半径、粗糙度等二维、三维数据分析。能直接测量较大面积的样品,而不用通过拼接。
μscan激光共聚焦显微镜 的详细介绍
产品介绍 μscan共聚焦显微镜(光学轮廓仪)材料表面的三维轮廓测量,粗糙度测量,宽度,高度,角度,半径、粗糙度等二维、三维数据分析。能直接测量较大面积的样品,而不用通过拼接。 μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用,如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是连接CF4激光共聚焦传感器。 CF4激光共聚焦传感器内,被照亮的小孔成像在被测量的表面,激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上,只有当焦平面和真实表面的点配对的时候,探测器才记录到一个表面信号。因此物镜得通过小的垂直步位移动,使信号通过位移传感器的位置移动被测出。根据特殊的内插技术,该系统的精度能达到10nm以下。 μscan激光共聚焦显微镜应用 ?集成电路封装和表面贴装:快速获得封装翘曲变形、引线共面性、粗糙度、焊料的体积、引线轮廓。 ?厚膜混合电路:膜厚度的自动化测量 ?精密部件:测量精密五金配件、塑料、半导体材料的轮廓、粗糙度等 μscan激光共聚焦显微镜(光学轮廓仪)技术参数 1. 测量原理:非接触,激光共聚焦 2. 扫描模块: 2.1 XY方向测量范围50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm(可选),马达驱动 2.2 XY方向平台分辨率0.5um 2.3 Z方向位移范围100mm 2.4 最大测量速度50mm/S. 3. 传感器模块 3.1 共聚焦传感器,激光光源1.5 μm spot size,1 kHz data rate 3.2 Z方向分辨率0,02um 3.3 XY方向分辨率1um,可连续一次扫描成像,最大范围达到200mmX200mm 3.4 工作距离 4mm 3.5 Z方向测量范围1mm 4 系统配置 4.1 计算机:高性能计算机控制系统; 4.2 配有专业工作台, 尺寸L1000 x H750 x W800 (mm) 4.3 可为CF传感器选配离轴摄像头(10X),最大视野8 x 6 mm2 4.4 功能全面的软件
4.5 数据分析:轮廓测量、宽度,高度,角度,半径、粗糙度等二维、三维数据分析
企业名称
上海曼戈斐光学技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310115001813483
成立日期
2011-04-15
注册资本
1000
经营范围
光学仪器仪表、电子产品、办公用品、五金交电、一般劳防用品、金属材料、计算机软件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品)、通讯设备、电子检测设备及配件、照明器材的销售,商务信息咨询(除经纪),电子计算机技术、光电检测技术领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,自有设备租赁(不得从事金融租赁),从事货物与技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
公司地址
苏州工业园区星汉街5号腾飞新苏工业坊B幢6楼13室
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公司名称: 上海曼戈斐光学技术有限公司
公司地址: 苏州工业园区星汉街5号腾飞新苏工业坊B幢6楼13室 联系人: 干女士 邮编: 215021
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