技术参数 LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 测量时间:2~10秒 测量原理:非接触、共聚焦 X/Y方向:平台移动范围:100mmX100mm/200mmX200mm/300mmX300mm(大小可选),马达驱动,X/Y方向分辨率:0.3μm Z方向测量范围:350μm,Z方向分辨率:< 1nm 物镜:10X、20X、50X、100X(可选) 离轴摄像头(10X),最大视野8 x 6 mm2(选配) 计算机:高性能计算机控制系统,功能强大且全面的软件,有拼接功能 配有专业工作台:尺寸1550x800x750 mm (LxWxH) 工作电源:100-240V, 50-60Hz,input: 550 VA 材质:钢铁、橡胶、大理石 重量:约150KG+80KG 洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)