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NanoFocus三维激光共聚焦显微镜

品牌: nanofocus
产地: 德国
型号: μscan
报价: ¥100万 - 150万
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核心参数

产地类别: 进口

产品介绍

    μscan共聚焦显微镜材料表面的三维轮廓测量,粗糙度测量,宽度,高度,角度,半径、粗糙度等二维、三维数据分析。能直接测量较大面积的样品,而不用通过拼接。


产品介绍 
μscan共聚焦显微镜材料表面的三维轮廓测量,粗糙度测量,宽度,高度,角度,半径、粗糙度等二维、三维数据分析。能直接测量较大面积的样品,而不用通过拼接。 
μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用,如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是连接CF4激光共聚焦传感器。 
CF4激光共聚焦传感器内,被照亮的小孔成像在被测量的表面,激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上,只有当焦平面和真实表面的点配对的时候,探测器才记录到一个表面信号。因此物镜得通过小的垂直步位移动,使信号通过位移传感器的位置移动被测出。根据特殊的内插技术,该系统的精度能达到10nm以下。 
应用 
?集成电路封装和表面贴装:快速获得封装翘曲变形、引线共面性、粗糙度、焊料的体积、引线轮廓。 
?厚膜混合电路:膜厚度的自动化测量 
?精密部件:测量精密五金配件、塑料、半导体材料的轮廓、粗糙度等 


技术参数 
1. 测量原理:非接触,激光共聚焦 
2. 扫描模块: 
2.1 XY方向测量范围50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm(可选),马达驱动 
2.2 XY方向平台分辨率0.5um 
2.3 Z方向位移范围100mm 
2.4 最大测量速度50mm/S. 
3. 传感器模块 
3.1 共聚焦传感器,激光光源1.5 μm spot size,1 kHz data rate 
3.2 Z方向分辨率0,02um 
3.3 XY方向分辨率1um,可连续一次扫描成像,最大范围达到200mmX200mm 
3.4 工作距离 4mm 
3.5 Z方向测量范围1mm 
4 系统配置 
4.1 计算机:高性能计算机控制系统; 
4.2 配有专业工作台, 尺寸L1000 x H750 x W800 (mm) 
4.3 可为CF传感器选配离轴摄像头(10X),最大视野8 x 6 mm2 
4.4 功能全面的软件 

4.5 数据分析:轮廓测量、宽度,高度,角度,半径、粗糙度等二维、三维数据分析 


热诚欢迎您的垂询,上海曼戈斐光学提供样品免费检测!

工商信息

企业名称

上海曼戈斐光学技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

310115001813483

成立日期

2011-04-15

注册资本

1000

经营范围

光学仪器仪表、电子产品、办公用品、五金交电、一般劳防用品、金属材料、计算机软件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品)、通讯设备、电子检测设备及配件、照明器材的销售,商务信息咨询(除经纪),电子计算机技术、光电检测技术领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,自有设备租赁(不得从事金融租赁),从事货物与技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】

联系方式
上海曼戈斐光学技术有限公司为您提供nanofocusNanoFocus三维激光共聚焦显微镜μscan,nanofocusμscan产地为德国,属于进口激光共聚焦显微镜,除了NanoFocus三维激光共聚焦显微镜的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多激光共聚焦显微镜,曼戈斐光学客服电话,售前、售后均可联系。
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