技术参数 LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 测量时间:5~10秒 测量原理:非接触、共聚焦 X/Y方向,平台移动范围:50mmX50mm,马达驱动,分辨率:0.3μm Z方向测量范围:250μm,分辨率:2nm 物镜:10X、20X、50X、100X(可选) 计算机:高性能计算机控制系统,功能全面的软件,有拼接功能, 工作电源:100-240V, 50-60Hz, input<45W 材质:钢铁、橡胶、大理石 外型尺寸:710x270x330 mm (HxWxD) 重量:28KG 洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)