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膜厚测量测试仪 光学膜厚测量仪 Filmetrics F64-C
晶片生产中自动化测量薄膜厚度分布图案系统
依靠 F64 先进的光谱反射系统，可以很简单快速地获得产品薄膜厚度及 n 和 k 值的分布图。利用图形识别软件控制高精度移动平台，自动寻找测试点，并以每个点约 1.5 秒快速生成厚度。机动化的转台能够最多配置四个物镜，方便选择多个不同尺寸的光斑。 针对不同的晶圆尺寸，盒对盒系统可以很容易的自动转换，匹配当前盒子的尺寸。
可测样品膜层
基本上所有光滑的、透明半透明的或低吸收系数的膜层都可以测量。可测样品包括：
氧化硅 氮化硅 类金刚石 DLC
光刻胶 聚合物 聚亚酰胺
多晶硅 非晶硅 硅
F64-cF64-cF64-cF64-cmetrics F64-C
企业名称
优尼康科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
000
信用代码
000
成立日期
2012-11-14
注册资本
000
经营范围
技术服务技术开发技才推广，软件开发，机械设备及配器仪表“除计量器具金属制品的生产、加下(限分支机构经营机械设备及配件，仪器表《除计量器具)、金属制品、电子产品、通讯设备、制冷设备、k生，计算机、软件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品)类医疗器械、电动工具，压缩机及配件的销售，机械设备安装、维修、自有设备租赁《除金融租赁)，货物进出口，技术进让口
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