美国Filmetrics 光学膜厚测量仪 F60-C膜厚测量仪
自动化薄膜厚度分布图案系统
F60-c 光学膜厚测量仪先进的薄膜光谱反射系统,可以很简单快速地获得薄膜的厚度及 n&k, 采用 r-θ 极坐标移动平台,可以在几秒钟的时间内快速的定位所需测试的点并测试厚度, 可随意选择一种或极坐标形、 或方形、或线性的图形模式,也可以编辑自己需要的测试点。 针对不同的晶圆尺寸,盒对盒系统可以很容易的自动转换,匹配当前盒子的尺寸。 49点的分布图测量只需耗时约 45秒。
可测样品膜层
基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量。例如
氧化硅 氮化硅 类金刚石 DLC
光刻胶 聚合物 聚亚酰胺
多晶硅 非晶硅 硅
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企业名称
优尼康科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
000
信用代码
000
成立日期
2012-11-14
注册资本
000
经营范围
技术服务技术开发技才推广,软件开发,机械设备及配器仪表“除计量器具金属制品的生产、加下(限分支机构经营机械设备及配件,仪器表《除计量器具)、金属制品、电子产品、通讯设备、制冷设备、k生,计算机、软件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品)类医疗器械、电动工具,压缩机及配件的销售,机械设备安装、维修、自有设备租赁《除金融租赁),货物进出口,技术进让口
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中国(上海)自由贸易试验区盛荣路388弄4号503室
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