本届CIOE中国光电博览会汇聚了来自全球超30个国家和地区的超3700家的优质参展企业，作为覆盖光电全产业链的综合型展会，覆盖信息通信、精密光学、摄像头技术及应用、激光及智能制造、红外、紫外、智能传感、新型显示等板块。优尼康将参展第二十五届中国光电博览会！诚邀您莅临观展优尼康将携多款膜厚仪参展期待与您现场探讨膜厚测量的种种应用！现场还有更多趣味互动，等你赢奖品～优尼康在深圳国际会展中心3号馆展馆预览图优尼康展位3B22展位预览更多惊喜活动逐步解锁中100%中奖概率？趣味奖品？参与可得！参展设备F50 膜厚测量仪F50可以非常简单地获得最大直径450毫米的样品薄膜厚度分布图。采用r-θ 极坐标移动平台，可以快速定位所需的测试点并且实时获得测试厚度，大约每秒测试两点。相关应用：半导体制造（光刻胶、氧化物/氮化物/SOI、晶圆背面研磨）；LCD 液晶显示器（聚酰亚胺、ITO 透明导电膜）；光学镀膜（硬涂层、抗反射层）；MEMS 微机电系统（光刻胶、硅系膜层）。P7 台阶仪P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。相关应用：薄膜/厚膜台阶；蚀刻深度量测；光阻/光刻胶台阶；柔性薄膜；表面粗糙度/平整度表征；表面曲率和轮廓分析；薄膜的2D stress量测；表面结构分析；表面的3D轮廓成像；缺陷表征和缺陷分析。F54-XY-200 薄膜厚度测量仪F54-XY-200配备自动化薄膜厚度绘图系统，借助F54-XY-200先进的光谱反射系统，可以快速轻松地测量最大200 x 200mm样品的薄膜厚度。相关应用：半导体制造（光刻胶、氧化物/氮化物/SOI、晶圆背面研磨）；LCD 液晶显示器（聚酰亚胺、ITO 透明导电膜）；光学镀膜（硬涂层、抗反射层）；MEMS 微机电系统（光刻胶、硅系膜层）。Profilm3D 白光干涉光学轮廓仪Profilm3D 使用最先进的垂直干涉扫描 (WLI) 与高精度的相位干涉 (PSI) 技术。以强大的性价比实现次纳米级的表面形貌研究。相关应用：粗糙度测量;三维形貌表征;台阶高度测量FS-1 多波长椭偏仪Film Sense FS-1多波长椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现可靠地薄膜测量。相关应用：二氧化硅和氮化物，高介电和低介电材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻胶。高和低指数薄膜，如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2 。TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有机薄 膜（OLED 技术）等

第一届氧化镓技术与产业研讨会为促进全国范围内氧化镓学术、技术的交流合作和产业发展，浙江大学杭州国际科创中心、杭州光学精密机械研究所、西安电子科技大学、杭州富加镓业科技有限公司、杭州镓仁半导体有限公司、半导体在线和亚洲氧化镓联盟将于7月17-18日在浙江省杭州市共同组织召开2024年第一届氧化镓技术与产业研讨会，诚挚邀请全国高等院校、科研机构、企业和政府部门的专业人士参加本届研讨会，积极开展广泛地交流与探讨，共同推动氧化镓材料和相关器件的技术突破和产业化进程。会议时间：7月17日-18日会议地点：杭州宝盛水博园大酒店本次会议为闭门付费制，费用可扫描二维码咨询主办方。优尼康将携多款设备参展，欢迎莅临现场洽谈！“展位号A1“参展设备会议议程

01  势银光刻材料产业大会（苏州）背景：光刻材料作为形成芯片精细化线路及结构的关键电子化学品耗材，品种众多，在半导体制程中需求量巨大，涉及光刻胶、抗反射涂层、光刻配套湿电子化学品、光刻气体等等。基于此，势银（TrendBank）于2024年6月25-26日筹办2024势银光刻材料产业大会。大会将以“创新驱动——构筑自主可控的光刻材料产业链新生态”为主题，深度探讨光刻材料前沿技术研发、产学研协同合作、市场动态及未来发展趋势等诸多议题。优尼康将参加此次盛会，欢迎您莅临参观。“会议时间：2024年6月25日 - 6月26日“展会地点：苏州汇融广场假日酒店优尼康展台-04“展品信息：Filmetrics膜厚仪；Filmsense椭偏仪“会议议程：本次会议为闭门付费制若想了解更多会议信息戳👇02  深圳国际半导体技术暨应用展览会背景：第六届SEMI-e以【“芯〞中有“算”·智享未来】为主题，60,000平方米展出面积，800余家展商，SEMI-e是半导体领域具有影响力和代表性的行业盛会，为产业链的升阶发展搭建供需精准对接、双向奔赴的平台，探索半导体行业发展新路径，共掘半导体行业新风口！同期举办多场细分行业论坛，预计观众人数达60000+。“会议时间：2024年6月26日 - 6月28日“展会地点：深圳国际会展中心（宝安新馆）优尼康展位-4D54“展品信息：Filmetrics膜厚仪；Filmsense椭偏仪以上是优尼康本周展会信息欢迎苏州、深圳两地客户前来观展交流！

筑梦九年一路有你2023优尼康年会盛典新年伊始，良辰吉日。优尼康各分部伙伴齐聚茶香与山水的土地——安吉。回望过去的一年，有困难，有心酸。优尼康的伙伴们披荆斩棘，一路奋进，取得了骄人成绩。感谢每一位在去年为之努力拼搏的你们。 TEAM BUILDING比赛Part.1：射箭弓箭手们凝神专注，如行云流水般展开比拼。箭矢飞舞而出，穿越清风，直指目标。观众们屏息凝视，见证着箭矢划破空气的瞬间。每一次射击都是精准与力度的完美结合，彰显着选手们的高超技艺。Part.2：篮球球场上，球员们快速穿梭，运球如行云流水，传球间展现默契配合。每一次的快攻和精准的三分球都让人热血沸腾。防守时的拼抢和盯人防守，是一场身体素质和意志力的双重较量。Part.3：桌球入位、弯腰、瞄准、拉杆、击球，每一个动作都显现着选手们高超的球感和独特的击球风格。台球在绿色的桌面上滚动，撞击发出悦耳的碰撞声，每一次的进袋都会引起全场的欢呼。Part.4：羽毛球球员们需要紧密合作，通过精准的传球和迅速的位置调整，找到对手的破绽，展开进攻。比赛中充满了激烈的对抗和紧张的时刻，每个球员都扮演着重要的角色。防守时需要密切关注对手的动向，迅速反应；而在进攻时则需要通过巧妙的配合进而得分。Part.5：王者荣耀玩家们通过精心选择的英雄和策略性的装备，展示个人的技术水平和游戏理解。团队协作是胜利的关键，游戏中的技能释放、团队配合、地图控制等元素相互交织。每一次击杀、每一个推塔都影响着比赛的走势，决定着比赛的胜负。 TEAM BUILDING盛典企业的成功离不开员工的努力，竞技颁奖结束后。优尼康公司总经理亲自为优尼康优秀的团队和作出杰出贡献的个人一一颁奖。每一份沉甸甸的奖项背后，都承载了不懈奋斗的汗水。美食的香味抵不过你的硕果累累，美酒的甜美抵不过你的成绩卓著。快乐的掌声在你身边响起，成功的笑容在你们脸庞绽放。酒过三巡菜过五味，抽奖环节将整场年会的气氛推向了高潮。奖项逐步抽出，大家都收获满满。翻过了一座山，新的挑战等待着我们。让我们怀着满心的感激和期待，迎接新一年的挑战与机遇。愿我们的梦想之船扬帆起航，驶向更远大的远方。畅想2024年，共创新的辉煌。

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2022化合物半导体先进技术及应用大会圆满结束全体合影，左三为优尼康总经理 李扬为期二天的 CS CON化合物半导体先进技术及应用大会2022年8月4日于江苏太仓圆满闭幕。展会现场欣逢盛会，优尼康科技赞助了本次大会，并携数台仪器参展。其中Profilm3D光学轮廓仪，低成本，高精度，超大的视场范围面积，让光学轮廓测量变得容易承受；Filmetrics R50四探针电阻率测量仪，更是代表了KLA超过45年电阻测量领先技术的巅峰之作。以及Filmetrics膜厚仪，几乎可以测量所有的电介质和半导体材料的厚度，只要是光滑的透明或半透明薄膜均可测量。设备展示会议现场赞助物料与行业精英交流探讨在现场和众多行业精英交流探讨，助力化合物半导体的工艺改善，提高产品生产品质。优尼康参会人员合影会议虽然结束了，我们的服务还会继续，如果您还有相关的应用问题欢迎联系我们，一起探讨。我们深耕薄膜测量行业十多年，不论您在薄膜测量方面有什么问题，我们的技术专家都可以为您提供有价值的建议或解决方案。欢迎来电，我们很高兴与您讨论您的应用问题。咨询电话：   400-186-8882优尼康科技有限公司翌颖科技（上海）有限公司

Parylene（派瑞林）涂层厚度测量实际应用案例优尼康科技有限公司目录01什么是派瑞林（Parylene）02Parylene 的历史03Parylene 的优势04Parylene 的种类05Parylene 的应用06Parylene 测量监测与解决方案什么是派瑞林（Parylene）What is ParyleneParylene 是一种高分子聚合物材料，由美国公司Union Carbide Co.在六十年代.开发应用。Parylene 用独特的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层，能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边、裂缝里和内表面，号称“无孔不入” 。Parylene 具有其他涂层难以比拟的性能优势，被业内称为当今世界最顶级的防潮、防霉、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。Parylene 也被认为是一种“绿色”聚合物，因为它的聚合不需要引发剂或其他化学物质来终止链；并且涂料可以在室温下或接近室温下施工，无需任何溶剂。Parylene 的历史History of Parylene1947Parylene 由Michael Szwarc发现。1965Union Carbide的 William F. Gorham 发现了一条更有效的路线。他通过对环芳烷在超过 550 °C 的温度和低于 1 Torr 的真空中热分解来沉积 parylene薄膜 。这个过程不需要溶剂，并且产生没有针孔的耐化学性薄膜。Union Carbide 于 1965 年将parylene 涂层系统商业化。1960Union Carbide 继续研究多种parylene前体的合成，包括parylene AF-4。Union Carbide 于 1984 年收购了 NovaTran，并将其与其他电子化学涂层业务合并，形成了特种涂层系统部门。该部门于 1994 年被出售给 Cookson Electronics。Parylene 的优势Advantages of ParyleneParylene 可以赋予涂层部件几种理想的品质疏水性，耐化学性，对气体（包括水蒸气）和无机和有机液体（包括强酸和强碱）几乎不渗透。具有低介电常数的良好电绝缘体在生物组织中稳定，已被美国 FDA 批准用于各种医疗应用。抗严寒（零下200度）低摩擦系数（AF-4、HT、SF）采用Parylene进行涂层,可得到均匀一致,透明且极薄的膜层能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边、裂缝经济清洁、工序简单、速度快、批量处理能力强由于涂层过程是在环境温度和温和真空中进行的，因此它甚至可以应用于对温度敏感的物体，例如干燥的生物标本。低温还导致薄膜中的低固有应力。此外，沉积室中唯一的气体是单体，没有任何可能伤害物体的溶剂、催化剂或副产品。Parylene 的种类Types of ParyleneParylene 是一种对二甲苯的聚合物，根据分子结构的不同，Parylene 可分为N型、C型、D型等其他多种类型。Parylene N型教程Parylene N型是一种很好的介电材料，具有非常低的介质损耗、高绝缘强度以及不随频率变化的介电常数。Parylene N型是所有 Parylene种类中穿透能力最高的一种，有很好的自润滑性，摩擦系数为0.25。Parylene C型教程Parylene C 型是系列中第二个具有商业价值的成员。它由相同的单体制成，只是将其中一个芳香烃氢原子用一个氯原子所取代。Parylene C型综合了优良的介电性能和物理机械性能，对潮湿和腐蚀性气体有最低的渗透性。可以提供真正的无针孔覆形隔离。Parylene D型_Parylene D型是系列中的第三个成员。它由相同的单体制成，只是将其中两个芳香烃氢原子被氯原子取代。Parylene D型性质与 Parylene C型相似，但是具有更高的耐热能力。其在较高。温度下仍有优良的介电性能和物理机械性能。Parylene 的应用Application of ParyleneParylene C用于涂覆印刷电路板(PCB) 和医疗设备。还有许多其他应用，因为Parylene是一种极好的防潮层。它是可以用于永久植入体内的支架、除颤器、起搏器和其他设备的生物接受度最高的涂层。Parylene 涂层也通常用作电子电路和其他设备的电绝缘、防潮层或防腐蚀和化学侵蚀保护。它们还用于减少摩擦这些涂层通常通过化学气相沉积在单体对二甲苯的气氛中施加。典型应用疏水涂层（防潮层，例如用于生物医用软管）阻隔层（例如，用于过滤器、隔膜、阀门）微波电子设备（例如，保护 PTFE 电介质基板免受油污染）植入式医疗器械恶劣环境中的传感器（例如，汽车燃油/空气传感器）用于太空旅行和国防的电子产品金属表面的腐蚀防护强化微结构保护塑料、橡胶等免受有害环境条件的影响减少摩擦，例如用于引导导管、针灸针和微机电系统。硅胶ParyleneParylene电路板硅胶Parylene涂覆Parylene转子马达Parylene 磁芯Parylene电子元件Parylene 测量监测与解决方案Parylene Monitoring由于 Parylene 涂层的性能特性是和它的涂层厚度息息相关，所以在Parylene 涂层“生长”过程中，涂层厚度是需要严格控制，并需要实时监测。由于 Parylene 涂层“生长”在产品表面，某些对产品外观有要求的应用对涂层的透射率也是有严格要求的。所以也需要专用的设备进行质量控制和生产监测。匹配产品型号F20 / F32Filmetrics 膜厚仪 F20 型号/ F32 型号作为一款精度高、测试速度快、操作简便的高性能设备，可以很方便快速的同时测量Parylene涂层厚度和透射率。产品特点可以在数秒内得到测量结果可以测量从1nm到10mm的薄膜厚度可以测量厚度、折射率、反射率和穿透率产品参数测量结果文章作者_陈贤良    技术服务经理深耕于半导体领域和薄膜测量行业近二十年，对半导体工艺的整体流程有清晰的理论认知，对化合物材料的薄膜应用有丰富的测量经验，对设备端运行的突发问题有极强的处理能力。技术是一种态度，服务是一种信念。我们深耕薄膜测量行业十多年，不论您在薄膜测量方面有什么问题，我们的技术专家都可以为您提供有价值的建议或解决方案。欢迎来电，我们很高兴与您讨论您的应用问题。咨询电话：   400-186-8882优尼康科技有限公司翌颖科技（上海）有限公司

白光共聚焦轮廓仪 Zeta-20 在微流控芯片领域的应用案例优尼康科技有限公司目录01什么是微流控芯片(microfluidic chips)？02微流控的发展历程03微流控芯片应用领域及特点04微流控芯片种类05微结构的形成06微流控系统的组成07行业内知名企业08Zeta-20在微流控芯片的测试数据01  什么是微流控芯片(microfluidic chips)？ 微流控芯片技术(Microfluidics)，又称微流控芯片实验室(lab-on-a-chip)或微全分析系统(micro total analytical system, μTAS) ，是把生物、化学、医学分析过程的样品制备、反应、分离、检测等基本操作单元集成到一块微米尺度的芯片上， 自动完成分析全过程。02  微流控的发展历程   1959美国诺贝尔物理学奖得主Richard Feynman教授使用半导体材料将实验用的机械系统微型化，从而造就了世界上首个微型电子机械系统（Micro-electro-mechanical Systems，MEMS），这成为了未来微流控技术问世的基石。1990瑞士Ciba-Geigy公司的Manz与Widmer应用MEMS技术在一块微型芯片上实现了此前一直需要在毛细管内才能完成的电泳分离，首次提出了微全分析系统（Micro-Total Analytical System，ì-TAS）即我们现在熟知的微流控芯片。1994世界首届国际微全分析系统学术会议在荷兰Enschede举行，微流控芯片全面进入大众视野。1995全球首家专门从事微流控芯片技术的公司—Caliper Life Sciences在美国马萨诸塞州成立。1990世界首台微流控芯片商品化仪器-毛细管电泳微芯片由安捷伦公司和Galiper公司联合推出，被应用于生物分析和临床分析领域。03 微流控芯片应用领域及特点 微流控芯片系统涉及领域极其广泛，包括疾病检测、生化分析、蛋白质检测、药物筛选、毒品检测、商品检验、环境监测、刑事科学、军事科学及航天科学等，覆盖人们生活的方方面面。生物学领域化学领域分析化学领域微流控特点缩短分析时间减少样品和试剂消耗提高实验自动化程度高分辨率和高灵敏度集成化、微型化、便携化04  微流控芯片种类  ▪      硅制微流控芯片▪      玻璃微流控芯片▪      聚合物微流控芯片（PDMS PMMA PC等）▪      纸质微流控芯片▪      其他硅制微流控芯片优点缺点导热性好硬度高，加工难度大表面稳定难以制作成阀和泵等微流控部件耐有机溶剂本身不透明，难以应用在在光学实验中易在金属表面沉积硅的价格相对昂贵玻璃微流控芯片优点缺点优秀的光学透明度不透气性较差，不能用于长期的细胞培养优异的耐高压性玻璃硬度较高，加工键合难度大生物相容性_化学惰性不透气性较差，不能用于长期的细胞培养允许高效涂层_聚合物微流控芯片优点缺点光学透明疏水性弹性有一定的弹性，内部通道在高压下会发生改变，很容易出现漏液情况无毒；稳定性_成本低_生物相容性好_05  微结构的形成  一：经典的光刻技术适合硅、玻璃、石英等材料，与传统的半导体工业的方法一致。分为湿法和干法两种，干法的分辨率较湿法高，相应的制造成本也高。二：模版浇注法（模塑法）三：激光刻蚀法用激光直接在聚合物或玻璃上加热形成微结构06  微流控系统的组成 07  行业内知名企业 08  Zeta-20测试微流控芯片的种类数据与配置使用设备KLA Zeta-20白光共聚焦轮廓仪Zeta-20提供多种光学测试技术满足用户各种领域测试需求■  ZDot™ Z 点阵专利三维成像技术是Zeta所有系列产品的标配技术，Z点阵独特的明暗场照明方案结合不同物镜帮助客户测量最“困难”的表面。■  ZIC 干涉反衬成像技术，实现纳米级粗糙度表面的成像及分析。■  ZSI 白光差分干涉技术，垂直方向分辨率可达埃级。■  ZI 白光干涉技术，大视场下纳米级高度的理想测量技术。  ■  ZFT 反射光谱膜厚分析技术，集成宽频反射光谱分析仪，可测量ULA+ 2et-20薄膜材料的厚度、折射率和反射率。单层流道深度测量（有盖板）层流道深度测量（有盖板）-流道底部有纹路微孔深度测量及多孔平整度测量（无盖板）本文作者胡树栋华东区销售经理薄膜测量行业从业十多年，对于薄膜量测的方案解决有着丰富的经验。让微流控芯片行业中需要量测流道形貌及深度这类原本比较棘手的问题得到了完美的解决。长风破浪会有时，直挂云帆济沧海。我们深耕薄膜测量行业十多年，不论您在薄膜测量方面有什么问题，我们的技术专家都可以为您提供有价值的建议或解决方案。欢迎来电，我们很高兴与您讨论您的应用问题。优尼康科技有限公司翌颖科技（上海）有限公司

SiC半导体中膜厚测量解决方案优尼康科技有限公司目录01SiC半导体材料概述02SiC材料的优点03SiC器件种类04SiC半导体应用05SiC半导体厂商06SiC半导体测量需求01  SiC半导体材料概述  随着第一代和第二代半导体材料发展的成熟，目前在大规模使用的Si功率器件已经达到其性能极限，Si功率器件的工作频率、功率、耐热温度、能效、耐恶劣环境及小型化等性能的提高面临难以逾越的瓶颈。现代科技越来越多的领域需要高频率、高功率、耐高温、化学稳定性好的第三代半导体，而作为第三代半导体优秀代表的SiC（Silcon carbide），越来越多的受到人们的关注。作为一种新型的半导体材料，SiC以其优良的物理化学特性和电特性成为制造短波长光电子器件、高温器件、抗辐照器件和大功率／高额电子器件最重要的半导体材料。特别是在极端条件和恶劣条件下应用时，SiC器件的特性远远超过了Si器件和GaAs器件。因此，SiC器件和各类传感器已逐步成为关键器件之一，发挥着越来超重要的作用。从20世纪80年代起，特别是1989年第一种SiC衬底圆片进入市场以来，SiC器件和电路获得了快速的发展。在某些领域，如发光二极管、高频大功率和高电压器件等，SiC器件已经得到较广泛的商业应用。02   SiC材料的优点   Sic碳化硅材料一般有以下几个优点：1.高击场强2.导热系数高3.高温抗氧化能力强4.耐磨性能好5.化学性能稳定6.高饱和以及电子漂移速率SiC与Si和GaAs的有关参数的对比03  SiC器件种类   碳化硅器件主要包括功率二极管和功率开关管。功率二极管结势垒肖特基（JBS）二极管PiN二极管和超结二极管功率开关管金属氧化物半导体场效应开关管（MOSFET）结型场效应开关管（JFET）双极型开关管（BJT）绝缘栅双极型晶体管（IGBT）门极可关断晶闸管（GTO）发射极可关断晶闸管（ETO）04  SiC半导体应用  碳化硅半导体器件，其高频、高效、高温的特性特别适合对效率或温度要求严苛的应用。可广泛应用于太阳能逆变器、车载电源、新能源汽车电机控制器、UPS、充电桩、功率电源等领域。05SiC半导体厂商  国外厂商国内厂商德国英飞凌株洲中车时代半导体美国Cree公司启迪新材料（芜湖）GE无锡华润上华科技日本罗姆公司...06   SiC半导体测量需求   SiC半导体工艺量测中，常见的膜厚测试种类：Α-Si (1000-20000A)SiNx (100-4000A)SiO2 (30-10000A) USG (1000-20000A) C膜 (100-2000A)BPSG (1000-20000A)POLY (1000A-20000A) 匹配产品型号F50-UVF54-UV测量参数测量数据C on SiCPOLY on SiCSiO2 on SiCSiNx on SiCUSG on SiCBPSG on SiC本文作者胡树栋华东区销售经理薄膜测量行业从业十多年，对于薄膜量测的方案解决有着丰富的经验。让微流控芯片行业中需要量测流道形貌及深度这类原本比较棘手的问题得到了完美的解决。长风破浪会有时，直挂云帆济沧海我们深耕薄膜测量行业十多年，不论您在薄膜测量方面有什么问题，我们的技术专家都可以为您提供有价值的建议或解决方案。欢迎来电，我们很高兴与您讨论您的应用问题。优尼康科技有限公司翌颖科技（上海）有限公司

2021年9月27-29日，第十九届北京分析测试学术报告会暨展览会（BCEIA 2021）在北京·中国国际展览中心（天竺新馆）盛大举行。尽管受到疫情的影响，国际学者无法到会交流，但现场热情不减。展会现场优尼康也携明星产品亮相BceiaBceia现场明星产品Profilm 3D光学轮廓仪表面轮廓测量（非接触式）: Profilm3D光学轮廓仪主要功能□Z轴测量精度高达0.1nm□形貌尺寸(宽度，深度等)□台阶高度□粗糙度(兼容IS0 25178)□容积/体积□颗粒与晶粒优尼康工程师给参展观众做膜厚仪现场演示Filmetrics膜厚测量设备:F50主要功能□厚度范围: 1nm-3mm□波长范围: 190nm-1700nm (可选)□准确度: 0.2%或2nm取最大值□精确度: 0.02nm□稳定性: 0.05nm□可选规格:单点测量样品台，显微镜模式，自动mapping模式，在线测量模式等展会期间，优尼康向广大观众们展示了薄膜厚度测量技术，现场操作演示及专业的讲解，除了吸引了不少行业人士前来现场相互交流指导，也吸引了诸多合作伙伴的目光。在未来的发展路上，我们还会以“真诚，专注，信赖”的经营理念服务于大家。 期待2023年与各界人士再度相会！

本次网上研讨会着重介绍Lumina Instruments激光扫描仪的功能和应用实例。这个创新性的设备可以用作激光扫描椭偏仪来全表面测量样品上的薄膜厚度分布，又可以扫描各种表面缺陷，比如颗粒,划痕，陷坑，和鼓包等等。更让大家感兴趣的是它能一次扫描检测透明基底上下表面以及基底内部缺陷。主讲人简介:陈博士有近30年的半导体制程控制和光学检测经验。他曾带领开发化学机械研磨设备以及制程终点控制设备。在加盟Lumina Instruments之前他负责Filmetrics全部设备和部分KLA 设备的全球市场开发。会议时间：2021/01/21 11:00-12:00 (北京时间)报名入口：点击进入  会议密码：12121手机一键拨号入会+8675536550000,,501587457#(中国大陆)+85230018898,,,2,501587457#(中国香港)根据您的位置拨号+8675536550000(中国大陆)+85230018898(中国香港)欢迎大家前来收听~~~

优尼康课程推荐KLA Instruments | Webinar课程：反射和透射：两个优于一个。※适合新老客户了解学习膜厚仪的使用；加深对产品的理解。FILMETRICS同时测量光谱反射和透射对分析光学薄膜来讲是非常重要的。欢迎来到F10-RT独特的境界里。显然这会限制我们只能用透明基底材料， 但这会让我们更准确地测量光学系数 （特别是消光系数）。除五彩缤纷的介电薄膜外我们还会讨论上百纳米厚的金属薄膜。*点击“立刻注册”即可预约线上课程Michelle Shi应用工程师 @KLA InstrumentsMichelle Shi 是KLA Instrument Group Filmetrics 光学轮廓仪以及薄膜测量仪的应用工程师。Michelle 于2019年5月加入KLA公司, 担任Filmetrics薄膜测量以及光学轮廓产品的应用，客户支持以及业务开发，主要支持Profilm3D光学轮廓仪以及Filmetrics全系列薄膜测量产品。在加入KLA之前，Michelle在美国俄亥俄大学获得物理学硕士学位并在NASA Ames硅谷研究中心进行科学研究，以及在高新科技初创企业kaiaTech担任高级工艺工程师负责半导体薄膜材料的研发及新应用。

课程推荐 KLA Instruments | Webinar课程：快速傅里叶变换：测厚膜时您的得力助手※适合新老客户了解学习膜厚仪的使用；加深对产品的理解。 FILMETRICS超过8微米的厚膜会产生很多光干涉条纹。分析这样复杂光谱的一个简洁方法就是用快速傅里叶变换。FILMeasure 软件包括一系列高智能方法来简化光谱分析。这包括FFT窗口功能，波长范围自动优化，以及光学厚度滤波。我们会讲到光斑尺寸的影响以及设备的选配。还会讲到多层薄膜的应用。    下期预告：        时间：2020年9月17日  上午10点 敬请期待！（届时注意查看推送文章）

课程推荐KLA Instruments | Webinar课程：光学膜厚测量仪波长选择，膜厚范围，拟合度。※适合新老客户了解学习膜厚仪的使用；加深对产品的理解。FILMETRICS在尝试去测量几埃到几毫米厚的薄膜前让我们首先来考虑一下光源，光谱仪分辨率，光斑大小，以及光学系统镜口率之间的相互作用。这堂课里我们先假设薄膜的折射率是确定好的。在结束之前一定要记得让我们回答这个非常抢手的问题：“我的拟合度要好到什么程度才算好？”*点击“立刻注册”即可预约线上课程    CharlesChen是KLA公司光学及探针轮廓仪产品和KLA子公司Filmetrics薄膜测量产品的业务开发经理。他2004年以资深项目经理身份加盟Filmetrics。在此之前的十年里他分别在SpeedFAM-IPEC 和KLA-Tencor 参与并领导半导体化学机械研磨制程中在线制程控制技术开发。Charles在俄亥俄州立大学获得科学硕士和哲学博士。

        为期三天的SEMICON CHINA 2020 在雨中落下帷幕，暴雨&疫情&端午佳节都没有阻止大家的热情，依然相聚这里，一同交流探讨。本次展会是优尼康成为Filmetrics膜厚设备中国区总代理的首次亮相，现场展出超多设备，其中有KLA的P-7台阶仪；Filmetrics的光学膜厚测量设备（F40；F50-UVX；F20；F3-s1310等机台）；Filmetrics的Profilm3D-200光学轮廓仪以及桌面式的防震减震设备。除此之外，在KLA Instruments 产品发布预告中的全新机台：薄膜厚度量测设备F54-XY-200也在我们展台进行了展出。吸引了不少对KLA慕名而来的业内人士前来现场交流体验。  路过的观众及展商纷纷驻足咨询，沟通交流 现场技术交流及演示  SEMICON CHINA 2020虽然结束了，但是在未来的发展路上，优尼康会全力以赴，以“真诚，专注，信赖”的经营理念服务于大家。期待2021年我们上海龙阳路再会！ 添加电话、邮箱、QQ、网址、二维码等任何联系方式，新闻底部会自动添加联系我们的功能。

在我们工作和生活的空间周围，处处都充斥着各种各样的电磁波。有中低频的电磁波，还有高频和超高频无线电波（其它如光波等电磁波这里就不讨论了）。自从人类发现了电磁应用以来，电磁能这种不能直接观察到的物理现象正在日益深入我们生活的方方面面。电磁力给我们带来许多便利，大大改善人们的工作和生活环境，但是在造福人类的同时也带来许多麻烦和困扰。许多场合下，这些电磁波会产生相当的危害。众所周知，对于装有心脏起搏器的人来说，强电磁干扰很可能会夺去他们的生命。同样，对于精密仪器和设备，电磁干扰也会使它们不能正常工作。 对于电子显微镜和电子束曝光这一类利用电子束在空间（往往是真空度很高的一个密闭的小区域）飞行及其衍生效应来工作设备来说，低频（0. 1 到 350 赫兹）电磁干扰往往是不可忽视的。然而人们发现，相对于高频电磁干扰，低频电磁干扰是相当难以屏蔽或消除的。 针对各种高频电磁干扰，采用不同材料制作的屏蔽就可以有效解决问题。对于低频电磁干扰，除了制作低频电磁屏蔽外，还可以使用主动消磁器。 比如以这款UNICORN α200系列低频消磁系统（EMI Canceling System，又称消磁器），为例，是优尼康科技有限公司在 G3000系列基础上研发的新一代产品， 采用高精度纯直流测量/反馈 /控制电路， 适用于改善 300Hz 以下的低频电磁干扰环境。特别适用于各种电子显微镜、光刻机的改善环境磁场，消除低频电磁干扰。

探针式台阶仪的功能及应用探针式轮廓仪（台阶仪）主要用于材料的结构及表面解析，在微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域大显身手。同时按照应用的领域不同，要求不同，台阶仪的型号也多种多样，下面以我们优尼康提供的一款型号为P-17的台阶仪为例，简单介绍下这款仪器的功能以及应用，以供大家参考了解台阶仪可以做什么，有哪些功能，该型号为常用款，如有更高需求也可以咨询我们，会为大家推荐更合适的机台。主要功能有：·台阶高度：几纳米至1000μm·微力恒力控制：0.03至50mg·样品全直径扫描，无需图像拼接·视频：500万像素高分辨率彩色摄像机·圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差·软件：简单易用的软件界面·生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化主要应用：·台阶高度：2D和3D台阶高度·纹理：2D和3D粗糙度和波纹度·形状：2D和3D翘曲和形状·应力：2D和3D薄膜应力·缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌工业应用·大学、研究实验室和研究所·半导体和化合物半导体·LED：发光二极管·太阳能·MEMS：微机电系统·数据存储·汽车·医疗设备·还有更多，请与我们联系以满足您的要求

4月30日线上直播《关于优尼康：薄膜厚度及表面轮廓测量专家》

致各位尊敬的客户和合作伙伴：2020年起，优尼康科技有限公司将全权负责Filmetrics光学膜厚测量仪在中国区的产品销售，技术服务和售后工作。我们会继续秉承“真诚，专注，信赖”的理念，在新的一年不断向前。在新开设的微信服务号中新增各种便捷功能（微信搜索：优尼康）：在线客服；微课堂；配件服务商店等（详情见公众号）。全方位多维度的服务内容提供给优尼康的新老客户们，意见反馈也可在服务号中提交，您的建议是我们前进的动力。 附：美国 Filmetrics Inc.声明截图，来源官网。原文链接：点击查看

台阶仪相关知识科普优尼康微课堂：什么是台阶仪？台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器，也叫探针式表面轮廓仪。台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好,被广泛应用在各行各业。 测量原理：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。 台阶仪性能优劣取决于以下三个方面：测试重复性、测试速度以及操作难易程度。这些因素决定了实验数据的质量和实验操作的效率。 在这以我们优尼康提供的一款KLA台阶仪为例，简单介绍下，型号：P-17 支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。P-17是第八代台式探针轮廓仪，是40多年的表面量测经验的结晶。该系统领先业界，支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。 该系统结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。 通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便快速。P-17具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支持2D或3D测量。 并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。 

关于【优尼康微课堂】        受疫情影响，为了解决广大用户对技术支持的需求，优尼康成立【优尼康微课堂】，后续将开展一系列的线上教程/直播活动。欢迎扫描最下方二维码关注我们。    【优尼康微课堂】有哪些用处？视频教程维护指南直播预告直播回放PS:远程在线直播答疑/教学，更快速直观的解决广大客户朋友的问题。如何在本公众号内查看？为了帮助大家更快的了解【优尼康微课堂】。在此，整理此篇查找指南，协助大家在业余时间可以常来逛逛，常看常新。  -查找指南-进入优尼康公众号按下图所示点击进入或关注我们后当收到系统推送的直播地址预告：优尼康微课堂直播第一期 时   间 ：2020年4月底（具体时间以推送信息为准）主讲人：vigor     优尼康科技有限公司副总经理，十多年薄膜测量经验，为超过30多个行业提供应用解决方案，薄膜测量与表面轮廓专家。问题征集｜扫描下方二维码在服务号中进行提问我们会对提问内容进行整理，将在月底直播中统一对大家的问题进行解答，欢迎大家多多关注。

3D光学表面轮廓仪的工作原理和应用 为什么需要测量表面形貌？　　在生产中，微观上的表面形貌对工程零件的许多技术性能的评价具有直接的影响，而且表面三维评定参数由于能更全面、更真实地反映零件表面的特征及衡量表面的质量而越来越受到重视，因此表面三维微观形貌的测量就越显重要。通过对三维形貌的测量可以比较全面地评定表面质量的优劣，进而确认加工方法的好坏及设计要求的合理性，这样就可以反过来通过指导加工、优化加工工艺以加工出高质量的表面，确保零件使用功能的实现。 3D光学表面轮廓仪的测量原理：光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。3D光学表面轮廓仪的应用优尼康科技有限公司提供的Profilm3D光学轮廓仪让轮廓测量价格更为实惠，适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 

欢迎扫码关注我们优尼康科技有限公司（UNICORN TECHNOLOGY CO., LTD.）成立于2012年，在香港、上海、东莞、天津、西安和苏州设有分支机构或办公室，从成立伊始一直专注于薄膜厚度与表面轮廓测量领域，为半导体、面板等高科技企业和高校及研发中心提供精密测量设备与解决方案。现在为了更好的为广大客户提供服务，开通启用优尼康官方服务号，为大家提供更多更优质的服务，欢迎大家关注。目前服务号开通服务内容如下：①微课堂为了减少大家在使用机器过程中的困扰，优尼康服务号中开设微课堂板块。该板块会分享仪器相关的教程视频，如测样，简单更换配件等等。可在自定义菜单中自行查阅，如遇加密教程可咨询对应优尼康工程师索取密码。图示：欢迎大家在下方积极留言提问，或告知我们需要哪方面的教程，我们会在后面陆续推出。直播预告：我们将会针对大家提出的问题和需求，在月底进行微课堂的第一次线上直播，在线对大家的问题进行解答。点击进入提问②原创分享优尼康团队有着十多年的薄膜测量经验，超过30多个行业的应用方案，会有专业的工程师定期分享相关原创应用案例等内容。同时欢迎客户在使用设备过程中需要新工艺，新材料，新应用的开发时，和我们联系，一起探讨开发。③零配件商店优尼康官方零配件商店上线，可在公众号菜单中直接进入，各种收费服务及仪器零配件均可在线购买。（后续陆续上新）温馨提示：如需购买请先联系我们，确定是否有存货及型号是否适配。零配件商店主要为方便客户更快捷的购买零配件及服务，需微信支付，如需公对公付款，请联系我们客服人员或对应售后工程师。④客服功能服务时间：周一至周五：09:00——17:00，可拨打400热线联系我们。服务热线：400-186-8882Email：info@unicorn-tech.com非工作时间：可在公众号内【在线客服】直接留言反馈问题和留下联系方式，我们会在工作日第一时间和您联系。

3D光学轮廓仪的特点以及应用        3D光学轮廓仪常用于测定样品中被测区域的表面粗糙情况与轮廓形貌。本文以优尼康科技有限公司提供的一款3D光学轮廓仪为例，让我们来了解一下吧。产品特点：   光学轮廓仪对各种产品，部件和材料的表面轮廓，粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用：   传统的机械零件由于受加工设备的限制，对精度包括平面度，粗糙度的要求常规下停留在微米量级。但随着技术发展，人们对机械零件的加工精度要求开始向纳米量级迈进，设备加工精度的提高带动检测技术的发展，传统的检测手段包括接触式和2D方式的检测方法对检测纳米量级精度的机械零件有很大的局限性。   光学轮廓仪最初应用在光学加工行业时，其3D、高速、精密、可靠和稳定，开始引起加工人士的注意并开始应用。3D光学轮廓仪已在汽车发动机喷油嘴、半导体切割刀具、人工关节制造、量块标定等方面有大量的应用。一些特定功能如平面度、粗糙度、直线度和高度差等在机械加工检测中呈现出新的应用。   优尼康科技有限公司提供的Profilm3D光学轮廓仪让光学轮廓测量价格更为实惠，使用了目前先进的垂直扫描干涉 (VSI) 结合高精确度相移干涉 (PSI) 测量，以优异的价格使得表面形貌研究进入次纳米等级。

光学膜厚仪是一种非接触式测量仪器，一般会运用在生产厂商大量生产产品的过程，由于误差经常会导致产品全部报废，这时候就需要运用光学膜厚仪来介入到生产环境，避免这种情况的发生。典型应用领域半导体制造业，光刻胶、氧化物、硅或其他半导体膜层的厚度测量。生物医学原件：聚合物/聚对二甲苯；生物膜/球囊壁厚度；植入药物涂层。微电子：光刻胶；硅膜；氮化铝/氧化锌薄膜滤镜                       液晶显示器：盒厚；聚酰亚胺；导电透明膜由于是光学测量，在测量时候无须担心破坏样品，让用户简单快速地测量薄膜的厚度和光学常数，通过对待测膜层的上下界面间反射光谱的分析，几秒钟内就可测量结果。优尼康科技有限公司提供的光学膜厚仪，是一款桌面型的产品，操作简单，适用领域广阔，远程的在线技术支持，让膜厚测量更轻松。系统特点：嵌入式在线诊断方式；免费离线分析软件；精细的历史数据功能，帮助用户有效地存储，重现与绘制测试结果优尼康主要为半导体、新能源企业和高校及研发中心提供各类精密进口制程及测量设备。提供全面的一对一销售服务，技术支持，备件管理和咨询服务。

X射线荧光（XRF）镀层测厚仪是专门针对镀层厚度测量而精心设计的一款高端仪器，优尼康科技有限公司提供的一款Bowman BA-100 Optics为例，来简单了解下，什么是台式X射线荧光镀层测厚仪。Bowman BA-100 Optics 机型采用业界先进的多孔毛细管光学聚焦装置，有效缩小测量点斑点的同时，可数倍乃至数十倍提高X射线激发强度。Bowman BA-100 Optics 机型配备大面积的SDD（硅漂移探测器），有效拓展元素分析范围，适应最严格的微区、超薄镀层，以及痕量元素分析需求。优秀的测试性能、突出的微区测量能力，Bowman BA-100 Optics机型是研究开发、质量管控的最佳XRF镀层厚度及元素成分分析仪器。稳定的X射线管         ● 微聚焦50瓦Mo靶射线管（其它靶材可选）; 小于100um的测量斑点         ● 射线出射点预置于射线管Be窗正中央         ● 长寿命的射线管灯丝         ● 独有的预热和ISO温度适应程序 多毛细管聚焦光学结构         ● 显著提高X射线信号强度         ● 获得较准直器机型数倍乃至数十倍的信号强度         ● 小于100um直径的测量斑点         ● 经过验证，接近完美的测量精度