多波长椭偏仪

Film Sense FS-1™多波长椭偏仪

型号：Film Sense FS-1™

Film Sense FS-1™多波长椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动 式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可 靠地薄膜测量。大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要简单的 1 秒测量，就 可以获得非常精密和准确的数据。

Film Sense FS-1™多波长椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动 式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可 靠地薄膜测量。

大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要简单的 1 秒测量，就 可以获得非常精密和准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常 数和其他薄膜特性。

Film Sense FS-1™多波长椭偏仪 这款功能强大的多波长椭偏仪，售价只是单一波长椭偏仪

和光谱椭偏仪的中等水平。FS-1 可应用于研究实验室，超净间，原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领域

主要特点

n 4 个 LED 光源：蓝色（465nm），绿色（525nm）， 黄色（580nm），红色（635nm）

n 椭偏仪探测器中无可移动部件

n 膜厚精密性，大多数样品精密度优于 0.001nm（1 秒获取数据），对于亚单原子薄膜精密度等于0.001nm

n 集成计算机，可实现对设备控制和数据分析，自带 浏览器界面，可兼容任何现代计算机，笔记本或平 板电脑

优势

n 寿命长（长达 50,000 小时），更换 LED 灯便宜，校准时 间短或无需 PM 程序

n 快速测量（10ms 内获得多波长数据）和长期性能稳定

n 测量准确，只有椭偏仪可以实现

n 软件设置和维护简单

标准 FS-1 配置

n 65°入射角

n 手动放置样品和调节高度

n 样品尺寸zui大直径 200mm 和厚度 23mm

n 样品偏转范围+/-20

n 样品上光束尺寸 5 x 12 mm

n 结构紧凑(180 x 400 mm) 和轻巧(4.8 kg)

性能

FS-1 多波长椭偏仪擅长测量膜厚范围 0-1000nm 的透明单一薄 膜的厚度和折射率。下表列出的是针对各种不同样品，包括多 层膜样品，FS-1 获得的标准测量精密度和准确性数据。

应用领域

n 半导体行业：二氧化硅和氮化物，高介电和低介电 材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻胶

n 光学薄膜行业：高和低指数薄膜，如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2 等

n 显示屏行业：TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有机薄 膜（OLED 技术）

n 数据存储行业：宝石，如碳膜

n 工艺研发：原位表征薄膜沉积（速率和光学常数） VS 工艺条件，可兼容 MBE, MOCVD, ALD 和磁控溅射 等设备

n 化学和生物：在液体细胞实验中探测亚单原子层材 料吸附

n 工业：在线监测和控制膜厚

In Situ 在线测量功能

n 亚单原子膜厚精密度

n 多工艺条件下测定薄膜光学常数 n&k 和沉积速率，不 会破坏真空

n 监测和控制多层膜结构沉积

n FS-API 界面，外置软件控制（兼容 LabVIEW™ ）

n 兼容大多数薄膜沉积技术：磁控溅射，ALD，MBE，MOCVD，电子束蒸发等

In Situ 在线测量

产品包括 FS-1™多波长椭偏仪，带紧凑自动 mapping 样品 台，可以实现快速，准确和可靠的薄膜均匀性测量。

特点和参数

n 4 段波长的椭偏数据（465, 525, 580, 635 nm），寿命长 的 LED 光源，探测器内无可移动部件

n 可对 0-1000nm 透明薄膜进行准确的厚度测量

n 标准浓厚重复性 0.015 nm

n 集成聚焦探针，标准光斑尺寸 0.8 x 1.9 mm （其他尺寸 可选）

n 电动 Z 轴样品台自动准直

n 灵活扫描图案编辑器

n 测量参数等值线绘制

聚焦光束选件

 样品上光束尺寸减小到 0.8 x 1.9 mm 或 0.3 x 0.7 mm

聚焦光束检测

聚焦光束检测系统包括一个 FS-1 多波长椭偏仪，带光束聚焦光学器件和一个手动位移台。该系统 非常适合用于手动检测和在图案化半导体晶圆上 进行质量控制测量。

 可进行科研测量，带小尺寸光斑和相机成像功能

 手动位移台，可容纳 4’，5’，6’晶圆

 样品上光束尺寸 0.3 x 0.7 mm

 样品上光束位置视频图像

FS-XY150

n 标准晶圆 map 时间：60s（150mm 晶圆上取 49 个点）

n 结构紧凑：600x600 mm, 16 kg

n 样品台行程（X,Y）：150 x 150 mm, 精度：5 μm

FS-RT300

n 标准晶圆 map 时间：90s（300mm 晶圆上取 49 个点）

n 结构紧凑：400x500 mm, 22 kg

n 样品台行程：R (线性) ：150 mm, 精度：12 μm

n 角度（旋转）360°，精度：0.1°