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核心参数
产地类别： 进口
Lumina AT2薄膜缺陷检测仪
产品特点：
实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。
实用于透明、硅、化合物半导体和金属基底。
在2分钟内扫描并显示300毫米晶圆。
动态补偿表面翘曲。
可以标刻出缺陷的位置，以便进一步分析。
可容纳高达450 x 450 mm的非圆形和易碎基板。
能够通过一次扫描分离透明基板上的顶部/底部特征。
系统优势的四个检测通道：
偏光（污渍、薄膜不均匀性）
坡度（划痕、表面形貌）
反射率（内应力、条纹）
暗场（颗粒、夹杂物）
AT2应用：
1.透明基底上的缺陷
2.单层污渍或薄膜不均匀性
3.化合物半导体的晶体缺陷
在化合物半导体基底和外延生长层上检测和分类多种类型的晶体缺陷
AT2的多用途：
所有缺陷类型
薄厚基板
透明和不透明基板
电介质涂层
金属涂层
键合硅片
开发和在线生产
AT2规格参数：
AT2 软件使用来自多个探测器任意组合的数据生成缺陷图和报告：
地图和位置
缺陷数量
彩色编码缺陷
缺陷尺寸
lumina其他晶圆缺陷设备AT2的工作原理介绍
其他晶圆缺陷设备AT2的使用方法?
luminaAT2多少钱一台?
其他晶圆缺陷设备AT2可以检测什么？
其他晶圆缺陷设备AT2使用的注意事项？
luminaAT2的说明书有吗？
lumina其他晶圆缺陷设备AT2的操作规程有吗？
lumina其他晶圆缺陷设备AT2报价含票含运吗？
luminaAT2有现货吗？
企业名称
优尼康科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
000
信用代码
000
成立日期
2012-11-14
注册资本
000
经营范围
技术服务技术开发技才推广，软件开发，机械设备及配器仪表“除计量器具金属制品的生产、加下(限分支机构经营机械设备及配件，仪器表《除计量器具)、金属制品、电子产品、通讯设备、制冷设备、k生，计算机、软件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品)类医疗器械、电动工具，压缩机及配件的销售，机械设备安装、维修、自有设备租赁《除金融租赁)，货物进出口，技术进让口
翌颖科技(上海)有限公司
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