俄歇电子能谱仪（在线表面分析）

仪器简介：

microCMA是一种俄歇光谱圆柱镜分析仪，专为许多不需要AES映射功能的俄歇分析应用而设计，这些应用包括以下分析：

• 薄膜元素组成

• 样品清洁度

• 金属部件热氧化物

• 轻元素表面薄膜的量化

microCMA操作简单，易于维护，提供完整的定量表面敏感元素俄歇电子 （AES） 分析仪包，安装在 2.75“/70 mm CF 法兰上。
对于元素分析，microCMA比独立的XPS系统便宜得多。
完整的AES系统包括圆柱镜分析仪（带有集成的同轴电子枪），USB接口控制器以及Windows采集和数据软件。俄歇分析变得简单！

基本配置：microCMA 分析仪、USB 接口控制器、带 15 英尺（4.6 米）电缆的前置放大器、数据采集软件以及手册。
可选配件：XYZ转换器，9103 USB皮可安培计，CMA和前置放大器电缆的定制长度。

独有的优异性能：

• 紧凑的：适合 2.75“ / 70 mm CF 法兰（最小 1.52” / 38.6 mm 内径管）。现在只需一个分子泵和一个小型离子泵就可以建立一个俄歇光谱系统！

• 成熟的设计：二阶聚焦提供了良好的透射率和分辨率。

• 易于使用：USB控制和数据俄歇软件界面易于使用，使俄歇分析变得容易。

• 功能强大：俄歇光谱（AES）是一种强大的表面敏感技术，可为您提供样品前几层单层的定量信息。

• microCMA的小直径使其能够安装在现有的沉积或分析室中。

• 由于microCMA基于经典的圆柱形镜面分析仪设计，因此与较大的CMA相比，它具有相似的信噪比。基本上，microCMA收集的电子与较大的CMA相同;它只是收集靠近样品的电子。

• 集成的 3 kV 电子枪简化了 CMA 与样品的对准。

• 电子枪具有预热和调节等自动化功能。

• microCMA非常适合薄膜的元素表面分析和检查样品的清洁度

• CMapp Auger 软件提供对采集参数的全面控制，然后在采集后量化数据。

应用说明和文章

• 使用顺序表面反应在室温和 100 °C 下电子增强结晶氮化镓薄膜的生长 - Sprenger， Sun， Cavanagh， Roshko， Blanchard， George， 材料化学， U. Colorado - 2016

• 具有二次电子噪声抑制功能的微型圆柱镜俄歇电子能量分析仪的设计与仿真 - Jay A. Bieber，南佛罗里达大学 - 2017

• 在室温和100°C-Sprenger，Sun，Cavanagh，Roshko，Blanchard，George - J Phys Chem C纳米界面下氮化硼薄膜的电子增强原子层沉积。科罗拉多大学 - 2018

• 俄歇电子能谱与微同步辐射X射线光电子能谱研究Ba-Sc-O解吸对W（100）_$-孟彩霞的影响， 李轶凡， 吴浩， 魏伟， 宁艳晓， 崔毅， 傅强， 包新和 - 物理化学 化学物理 - 2018

• 开发和测试离子束分析的原位方法，用于使用AIMS诊断pdf测量托卡马克内部的高Z侵蚀 - Leigh A. Kesler，麻省理工学院 - 2019

• 氧化气氛中Pt（111）上h-BN覆盖层的结构转变）_$- Mroz， Kordesch， Sadowski， Tenney， Eads - 真空科学与技术杂志，B.布鲁克海文国家实验室 - 2020

• SO₂在石墨烯上的吸附和反应动力学：超高真空表面科学研究$- Stach，Johnson，Stevens，Burghaus - 北达科他州真空科学与技术杂志 - 2021

• 通过电子增强原子层沉积对钴膜进行低温沉积的空心阴极等离子体电子源- Sobell1，Cavanagh1，鲍里斯，沃尔顿，乔治 - 真空科学与技术杂志，美国科罗拉多州，海军研究实验室 - 2021