真空腔体水气解吸附组件

仪器简介：

美国RBD公司的真空室水蒸气去除产品包括高功率，高温红外辐射烘烤发射器和低功耗，低温UVC发射器。

使用紫外光解吸水蒸气是具有氟橡胶 O 形圈密封的腔室的理想选择，这些腔室在低 10-6 到低 10-7 Torr 的范围内泵送。优点包括更快的抽空时间和更低的极限真空。UVC也用于分解碳氢化合物。

我们的 VB 系列红外水解吸系统在真空室中提供更快的烘烤时间，可以承受高功率红外辐射的热量。

VB系列

VB系列真空烘烤套件专为可以承受短波红外高温的真空室而设计。高功率红外辐射从内向外加热真空室，以有效地从真空室中解吸水蒸气。

BC-3烘烤控制器可完全控制水真空室烘烤过程的解吸。热源的功率是可变的，热电偶反馈用于调节真空室的温度。

IRB-600

IRB-600红外发射器组件为真空室内部提供600瓦的短波红外加热，以有效去除真空室壁上的水蒸气。

UVB-100

UVB-100使用紫外线辐射在没有热量的情况下解吸水蒸气。

法兰安装选项
UVB-100 标配 2.75 CF 或 NW40 （K150） KF 安装座。可根据要求提供其他法兰安装。

miniZ是解决紧凑型真空室中的水蒸气问题的理想选择，例如球形腔室、迷你原子层沉积室、压力传感器和负载锁。

远程控制选项

miniZ 电源使用简单 - 只需打开它！如果您想通过过程控制器或设定点操作miniZ，则可以使用远程ON/OFF选项。

miniZ是RBD Instruments水蒸气解吸/氧化烃去除系统系列的最新成员。该水蒸气解吸系统包括一个高功率UVC发射器，该发射器安装在标准的1.5“内径真空室管内，以及一个直接安装在2.75”CF法兰上的紧凑型电源。

miniZ 是解决紧凑型真空室中的水蒸气问题的理想选择，例如球形腔室、原子层沉积室、压力传感器和负载锁。

miniZ 电源使用简单 - 只需在开始泵送时将其打开即可！如果您想通过过程控制器或设定点操作miniZ，则可以使用远程ON/OFF选项。提供 2.75“和 4.5” CF 法兰尺寸。