显影机 （韩国产，高性能）

* Touch panel control System  触摸屏控制系统

1) Spin speed : 100~7000rpm ±1% (@ No load )

转速：100~7000rpm ±1% （空载）

2) Programmable Coating System : 20steps, 20 Recipes (Save & load)           

程序控制系统： 20步，20个菜单 （存储和调用）

3) Time : 0.1~999.9sec (Programmable)  时间控制：0.1~999.9sec

4) Bowl size : 14 inch   碗腔直径：14英寸

5) Sample size : piece ~ 8 inch wafer   样品尺寸：小片—8英寸

6) Vacuum chuck : PE 1ea   真空吸盘：PE材料，1个

7) Motor : DC Servo Motor  直流伺服马达

8) External : STS Main Body   STS主机材质

9) Oil-less Vacuum Pump 1ea (Include)   含无油真空泵

10) Acceleration/Deceleration rates : Variable Time (0.1sec step) 

加速度：0.1sec每步

 11) Cover Inter-Lock  腔盖自锁

12) Direct to Exhaust & Drain Bottle  排泄废液收集瓶

13) Dispenser Arm ,Nozzle & 2ℓ Bottle in Stainless Steel Chemical Supply Pressurizing Tank   自动注射装置：操作杆，喷嘴，2升注液瓶，不锈钢压力罐

  1 nozzle : Developer     第一路喷头，用于显影液

  2 nozzle : D.I Water       第二路喷头，用于去离子水

  3 nozzle : N2     第三路喷头，用于氮气