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普发真空技术(上海)有限公司

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解决方案

完美的平衡——用于抽空平衡系统的真空系统

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检测项目

用于抽空平衡系统的真空系统
普发真空研发出了一整套适用于排空整个离心室的系统。这一特殊的真空系统由三个不同的部件组成: 1. 用于主腔室的泵系统 2. 用于贯通轴的泵系统 3. 可选配用于油脱气的泵系统 第一个分系统用于排空平衡涡轮的区域。根据不同需求由数量不同的装置组成。每个装置都由一个罗茨泵和一个作为前级泵的旋片泵组成。 第二个分系统用于补偿传动轴的泄漏率,传动轴连接被排空的区域并因此产生泄漏。例如,为此可以采用两个小型旋片泵。也可选择一个用于油脱气的真空装置作为第三个分系统。这一真空装置由一个小型的罗茨泵和一个支撑旋片泵组成。油在闭合回路中流经轴承并流入一个容器中,在容器中进行脱气处理。这保证了轴承具有最佳的润滑度。

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普发真空HenaLine系列单级旋片泵

HenaLine系列

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检漏仪内的质谱仪——功能和优势

应用领域

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基于质谱原理的检漏仪的功能和优势
多年来,氦气泄漏检测已经成为各种应用领域测试气密性的方法。与其他气密性测试方法相比,它的高灵敏度、测量的可靠性以及易重复性是最有力的优势。 对于检测测试气体,普发真空提供基于质谱原理的检漏仪。质谱仪对混合气体进行电离,并在其质荷比的基础上分离出所需的示踪气体。由于质谱仪的低检测限,普发真空检漏仪的高灵敏度得以保证。

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普发真空氦质谱检漏仪ASM 310

ASM 310

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用于分析仪器的涡轮分子泵

应用领域

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真空度
在使用真空技术装备实验室和分析系统时,高灵敏度和绝对的可靠性至关重要。在实验室里的洁净室条件和严格空间限制下进行测量和研究,导致对设备的需求增加。在真空环境中的分析大幅提高了结果的质量,因此成为现代实验室技术中首选的测量和分析方法之一。 对实验室中理想真空泵的要求相对较高。除了紧凑的设计,低噪声排放和高压力稳定性同样重要。必须能够在高真空和超高真空条件下执行决定性的精确分析程序。而且,所有的解决方案必须可灵活定制,以满足相关应用的不同挑战。

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普发真空 HiPace® 30 涡轮分子泵

HiPace 30

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真空计的校准——普发真空超高精度校准解决方案

应用领域

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真空计精度
如今,真空在我们日常生活中被广泛应用于高端产品的生产及制造,并且扮演着重要角色。例如:在科研,工业流程,手机芯片,硬盘,太阳能电池,塑料干燥或者食品真空包装等领域。 在当今的生产活动中,我们对真空度测量的精确性、标准化、可靠性和重复性的要求是至关重要的。当我们在进行测量的时候,高精度又是关键中的关键:精度的高低会直接影响产品的生产质量,科学实验的准确性和设备使用的可靠性。 要确保真空计使用时的高可靠性,就必须经常对它进行校准或标定。而根据每个不同应用的具体要求,这些校准工作必须符合国内或相关的国际标准。 经济、高效、精准、国际化的机构校准及标定替代解决方案生产活动中,真空计往往需要对外专业机构进行校准和标定。然而在对量大或校准间隔要求短的条件下,使用经济的测量仪器进行现场校准能大大节约时间和费用。 普发真空紧凑型的校准泵组就能够组建起这样一个系统。这个易于使用的便携式系统是专为同时在线进行多个仪器检测而量身定做的。其系统具有使用便捷、快速及符合人体工学标准的特点。

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普发真空真空计校准系统

真空计校准系统

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太阳能天然发电厂—— 氦检漏极大提高了太阳能接收器的效率

应用领域

能源/新能源

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太阳能

检测项目

接收器效率
真空应用 真空对于电厂能效起着决定性作用:为了保证获得的热量不会丢失,必须对接收器(或收集器) 进行抽真空处理。 接收器由一根中空玻璃管和一根内部钢管构成。在温度发生变化时,这种灵活设计的管道能平衡玻璃和钢的不同热膨胀系数。在不限制太阳辐射的情况下,传热钢管必须进行保温处理。与保温壶的真空保温原理类似,接收器采用了阳光传输率高的特殊玻璃,并在两根管道上使用了特殊涂层,从而显著减少辐射及传送中的损耗。接收器的制造商必须确保产品至少可以维持20年的隔热功能,以确保发电厂持续正常地运转。实际应用中,根据发电厂输出、设计以及串联的接收器数量,每一次接收器的更换都需要花费大量时间和金钱。 为产生接收器所需的真空环境,普发真空为客户提供了一系列的真空解决方案。经特别设计的涡轮分子泵组被用来抽空接收器的管道,其中不仅采用了最优化的真空技术,同时针对生产设施的要求,其结构也进行了专门的调整改进。 要对管道进行有效隔离保温,必须阻止对流产生的热传导。当空气作为传热介质被抽空时,热量损失不是来自对流,而是来自相对而言热量传输少得多的辐射。从物理角度来看,10-3mbar 以下的真空状态能保证最佳隔热效应。因此,接收器在整个使用期间,必须维持在指定的压力水平。此外,必须尽可能地控制密封材料渗透及墙壁解吸或泄漏造成的气体进入。 单从技术上很难完全实现物理气密性。因此需要弄清楚的是,渗透率最高能达到多少,接收器传递状态中的压力必须低于保证值多少范围,从而能够在指定时间段内承受增压的情况。 高真空环境下的分子流状态延长了达到低压所需的抽气时间。接收器内达到的压力实际上可以对理论上获得的压力以及适合生产的允许周期进行补偿。由于漏率和极限真空的限制,有必要使用吸气剂材料,从而进一步限制气体的脱附并保持高真空状态。但从生产到使用结束,需始终维持接收器的隔离真空仍然是一个挑战。通过氦检漏仪可以检测出该气密性是否达到要求。

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普发真空HiCube系列涡轮分子泵组

HiCube

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可靠的质量控制——无损材料检测

应用领域

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无损探伤
真空的必要性 为进行辐射监测,首先必须将X射线管抽空至所需的高真空环境(x< 10-5 mbar)。这就需要一个真空系统。需要的设备包括涡轮分子泵(HiPace 80)、作为前级泵的小隔膜泵(MVP 015) 以及真空规(IMR 265)。手持编程设备(HPU 001)用来充当移动控制和显示装置。这样就能监测所有泵的参数以及客户的具体参数组。 普发真空与光学检测系统和x射线检测系统的制造商和业内领先专家合作。在实际操作过程中,采用了光学和x射线检测相结合的方法,为用户优化了成本(最大程度地降低了运营成本并缩短了线长)。 应用范围广泛,从食品产业到空间技术都有 随着产品质量要求的日益提高,相应地,对相关元件进行全面检测的需求也正日益凸显。在某些应用领域,如汽车技术和航空航天,必须对所有元件进行全面检测,任何电子设备的缺陷或瑕疵而导致的故障都有可能引发致命的后果。电路板、组件、焊点和焊点都需要进行检测。 半导体行业是采用X射线进行检测的主要行业,尤其是在其高端制造工艺环节。这个市场对精确测量的要求相当高,这就促成了一整套的检测系统。阶段性的检测被贯穿在成品生产的每个工艺环节,确保能进行半导体晶片的实时表面分析检测。 例如在食品行业,需要检查瓶口有无损坏或污染,在医学技术领域,需要检查所有电子部件是否有虚焊点、焊桥、对准失误的组件、焊接不当以及缺失或安装不正确的部件。在机械工程领域,需要检测金属或塑料元件有无开裂或收缩现象。 实际操作中为了达到完美效果,必须考虑一些重要的因素。其中包括真空系统和x射线技术。为帮助工业用户达到低成本高效益,在选择合适的真空元件以及x射线管设计、采纳和应用过程中都需要专家的意见。

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普发真空MVP系列隔膜泵

MVP DC Series

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精确的提升至百万分之一毫巴升每秒!

应用领域

石油/化工

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理化分析
定制检漏系统之路 德国GSR阀门公司(GSR Ventiltechnik GmbH & Co. KG)是一家专门从事研发与生产高压电磁阀的企业。普发真空(Pfeiffer Vacuum GmbH)开发并生产了一套完整的氦气检漏系统。这套系统是为了配合GSR生产高压电磁阀定制的。高压电磁阀的工作压力一般在200-360bar之间。在某些情况下,这个工作压力可能更高。普发真空是非常乐于接受这样一个挑战,并且把这个项目作为我们的新的标杆。在项目设计阶段,我们很快就发现整套系统能够很好的满足GSR的要求。这也就意味着,在将来我们能够进行更广泛的合作中,测试更多不同的阀门。 这个项目有如下的技术要求: 1. 阀门的压力在 0.5-360 bar之间。所有的测试要求在全自动的环境下完成。 2. 可持续测量和自由选择测试气体浓度的测试气体回收系统。技术要求背景:如果一个阀门被填充了氦气,则随后持续充入的氦气将减少。大约180升的氦气会在一个压力在360 bar和一个内在的阀容量在0.5升的一个单循环测试系统中被释放。由于该气体制作工艺复杂以及成本的问题,氦气是一种昂贵的测试气体。测试气体回收系统可以从经济和生态两方面带来更多的利益。并且循环再利用率可以达到95%以上。 3. 为了确保校准的测试压力在360 bar以上以及避免任何可能的压力峰值,就必须开发一个压力高达500 bar的高压对比系统,其测试气体需要一个特殊装置的缓冲容器存放,以便逐步向下释放气体。 4. 此外,还需要一个额外的功能阀测试系统:在氮气压力在100bar以上时,压力从阀门能流入大气。这个过程中流量的速度会达到音速的2.5倍,结果就是产生极大的噪音,这就必须需要一个特殊的静音装置。

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普发真空氢氦质谱检漏仪ASM 340

ASM340,ASM 340 D,ASM 340 I

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塑料的特性——普发真空的超高真空聚合物烘烤系统

应用领域

其他

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检测项目

超高真空聚合物烘烤系统
普发真空提供针对烘烤高真空应用的塑料或其他材料进行定制的完整系统。超高真空烘烤系统具有以下特点: 具有电抛光内表面的圆柱形不锈钢室能够通过内置的冷却盘管和制冷/加热循环器加热到所需的运转温度。室门配备了一个氟橡胶(FPM) 制成的双密封胶圈,能够在不更换密封胶圈的前提下轻松开关不锈钢室。双密封胶圈通过粗抽泵排空气体以减少渗透。 不锈钢室上的所有其它法兰都采用了 CF 法兰(ConFlat®) 以减少渗透。CF 法兰密封由金属制成,最常用的密封材料是铜。CF 法兰通过将钢刀口施加到平的铜垫片上进行密封。法兰的轴环周围使用螺丝钉。 整个不锈钢室被包围在一个特殊的兼容净室的隔热层内 (RRK 7)。尽可能表面积最小的自定义夹紧工具能够被设计成不同的组件形状。为了测量高达 5 · 10-9 mbar 的压力,使用了一个冷阴极测头和一个 Pirani 元件 (PKR 261) 进行测量。 通过 HiPace 系列涡轮分子泵或 HiPace M 系列磁悬浮涡轮分子泵可以形成高真空,涡轮分子泵利用一个超高真空闸阀安装在不锈钢室上。在这一应用中可以在 ACP 系列的隔膜泵和多级罗茨泵之中选择一种作为干式前级泵。

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普发真空HiPace系列涡轮分子泵

HiPace/ ATH M / HiPace M

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波纹管和补偿器的工业泄漏检测应用

应用领域

其他

检测样品

其他

检测项目

波纹管和补偿器的工业泄漏
普发真空检漏仪优势一览: 便携式: ■ 非常轻,易于操作 ■ 非常适合世界范围内的使用 ■ 便于轻松操作的遥控装置通用型: ■ 适合大量的泄漏检测应用 ■ 强大、可靠 ■ 清晰设计,便于操作 高性能: ■ 即使是大容量,也可实现极短的抽吸时间 ■ 对于不同尺寸和体积的部件,均具有高灵敏度的检测限 ■ 在洁净工艺以及恶劣环境中的高度可靠性 工作站: ■ 非常适合循环时间短的批量生产中的测试 ■ 在封闭部件上完全自动操作 ■ 人体工程学设计,便于坐着操作 模块化: ■ 方便、灵活地集成到泄漏检测系统中 ■ 得益于低维护需求而实现连续运行 ■ 广泛的接口选择 吸枪模式泄漏检测: ■ 检测小泄漏的理想解决方案 ■ 通过语音输出的状态报告,有助于工作流程 ■ 通过遥控装置实现轻松操作

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普发真空氢氦质谱检漏仪ASM 340

ASM340,ASM 340 D,ASM 340 I

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半导体工厂中的氦气泄漏检测

应用领域

石油/化工

检测样品

其他

检测项目

含量分析
智能手机、平板电脑、游戏机、导航系统、纯平显示器,这些以及其他很多高科技产品由于半导体产业才得以存在。没有该产业,现代传播媒体中使用的内存芯片和处理器就无法生产出来。 它们的生产需要极其洁净的真空条件并精确地进行监测。例如,在半导体生产设施(被称为“晶圆厂”)投入运行后,需要以测量压力上升的方式进行泄漏测试。只有系统的气密性得到了认可,才能批准该工艺流程。如果压力上升大于定义的阈值,则晶圆厂关闭,并启动泄漏检测以找出泄漏并将其修复。普发真空凭借其全面的售后服务体系,提供最佳专家支持(甚至为现场泄漏检测提供支持)。

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普发真空氢氦质谱检漏仪ASM 390

ASM 390

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钢铁——工业的基石

应用领域

钢铁/金属

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粗钢

检测项目

理化分析
普发真空解决方案 普发真空开发了两种基于机械真空泵的钢水脱气系统的概念。这些系统可以根据客户的具体要求单独定制。三级或三级以上的泵组都能根据具体应用要求进行整合。 这些泵级包括气体循环冷却罗茨泵(OktaLine G)、罗茨泵(OktaLine)和螺杆泵(HeptaDry)。 这两套解决方案的核心是OktaLine G型气冷罗茨泵,使用该泵可以减少螺杆泵的数量,而且由于它们的特殊设计,可以快速地从大气压启动抽气,即使是在高压差情况下,也无过热问题。 在称为“SKID”的解决方案中,在一个框架上装配了Okta 25000、带集成气体冷却器的Okta 4000 G和Hepta 600。skid方案包括泵间的管道和相应的控制接口。需要的抽气速度通过相同模块的并联获得,并联的数量根据具体应用而设计。 在称为”STAGE“的解决方案中,确定了最优的各级泵的数量。然后单一泵级通过路管相互连接。如果有必要的话,系统可以设计为四级或五级,甚至同一泵但在不同的工况下,可以切换成不同的级数。 通过优化现有系统,Pfeiffer Vacuum成功减少了所需的泵数量,从而能耗和系统成本相对较低。比如我们之前为45吨的VD / VOD成功开发的泵组只需要十一台泵。这套泵组共有三级,分别为五台OktaLine,三台OktaLine G和三台HeptaDary干泵。 该系统的优点: 1.与蒸汽喷射泵系统相比能耗较低 2.泵数量少 3.设计紧凑 4.成本节省明显 为进一步节省成本,客户可以用较小较便宜的泵代替较大的罗茨泵(小批量生产),因为他们的生产成本低。

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普发真空OktaLine系列罗茨泵

OktaLine

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分析仪器行业定制的真空解决方案

应用领域

其他

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其他

检测项目

分析仪器行业
创新概念 SplitFlow™是由普发真空开发的利用一个模块去实现涡轮牵引泵的功能,从而为系统制造商提供了最大的灵活性。该泵的开发要求在单一真空系统内结合了精确的几何适应性和优异的性能。尤其是在不断增加的复杂性和台式装置趋势方面,这种概念完全符合市场要求和客户需要。除了纯粹的几何适应性以外,还需要满足特定的真空技术参数。例如,通过结合不同的抽气原理(例如,结合涡轮分子泵和霍尔威克压力级),允许的前真空压力将明显提高,同时压 缩性能将提高几个数量级。通过巧妙地设计转子几何形状,可以产生多达三个不同的泵级,它们的定向方式只会部分地相互影响。这样的布置使得可以代替两台离散式高真空泵和一台机械前级泵。 这样的设计甚至可以实现完全整合到分析仪器的真空室中。这需要系统制造商和真空供应商从一开始就进行密切合作。设计阶段完善建议非常重要。取决于系统的配置,结果往往可以为真空系统减少大约50%的空间,而且节省成本超过50%。通过取消离散式抽吸装置、采用标准泵批量生产的研究结果,如今可以达到超过100,000小时MTTF(平均无故障时间)的泵可靠性。 通过优化的轴承技术可以实现高度的可靠性,这种技术采用无需维护的磁悬浮轴承和精确球轴承在两侧定位快速旋转的转子,从而可以有效减震。 泵补充配套有相应的电子驱动单元以及一系列的附件。对于涡轮分子泵的计算机控制一体化,提供标准化的界面。由于其特殊布局,这些泵只需要一个空气冷却系统,这意味着,可以省去附加的水冷却和其他装置费用。

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普发真空SplitFlow系列分流泵

SplitFlow

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空间模拟腔体——检验电力推进系统

应用领域

航空航天

检测样品

航天

检测项目

开发和检验电力空间推进系统
一台磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 3400 MC 被选为高真空泵,以确保可以获得所需的真空、抽速和清洁度。由于可靠性高,无润滑ACG600 罗茨泵被用作前级泵。 安装了基于PLC的控制器,用于操作整体系统。所有试验步骤可以通过数据可视化进行监控,控制器可以保存测试过程中记录的所有数据。 方案优势: ■ 定制的真空解决方案 ■ 基于智能控制器,具有一系列模拟模式 ■ 干泵系统,保证最大清洁度 ■ 高抽速确保在最短时间内达到指定的真空环境 ■ 通过使用高能效的泵降低运营成本 ■ 普发真空工程师在现场对整体系统的专业调试

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普发真空HiPace系列涡轮分子泵

HiPace/ ATH M / HiPace M

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真空技术使兴奋剂违规者暴露无遗——普发真空为质谱法检测提供解决方案

应用领域

医疗/卫生

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其他

检测项目

质谱法分析
普发真空解决方案的优势一览: HiPace 30 涡轮分子泵 ■ 市场上最小的大功率涡轮分子泵 ■ 易于集成到小型分析系统中 ■ 低重量,非常适合移动使用 ■ 较长的保养间隔保证了较长的寿命周期 HiPace 300 涡轮分子泵 ■ 特别适用于高真空和超高真空应用 ■ 非常高的压缩率,尤其适用于小分子气体 ■ 与隔膜泵结合使用也能实现最好的结果 ■ 间歇式运行可以节省超过 90% 的能量,而不会损失任何动力 SplitFlow™ 涡轮分子泵 ■ 由于结构紧凑,所以需要最小的空间 ■ 对所有气体均具有高抽速和最大压缩比 ■ 通过监控所有运行数据来最大限度地提高运行可靠性 DuoLine 旋片泵 ■ 可选的免维护磁耦合可实现更长的使用寿命 ■ 优化的泵冷却增加了使用寿命和应用范围 ■ 通过液压控制的高真空安全阀实现高运行可靠性 ■ 由于占地面积小且真空连接布置经过优化,可轻松地进行系统集成 MVP 隔膜泵 ■ 绝对干燥的无油真空 ■ 低振动和低噪音水平 ■ 紧凑型设计 ■ 运行可靠性高,隔膜寿命长 ?■ 隔膜和阀门更换方便,从而使维护很方便

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普发真空HiPace系列涡轮分子泵

HiPace/ ATH M / HiPace M

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用于 WENDELSTEIN 7-X 的真空解决方案

应用领域

其他

检测样品

其他

检测项目

真空技术
世界上最大的仿星器类型实验核聚变反应装置“Wendelstein 7-X”自2015 年 12 月开始已在德国格利夫斯瓦尔德的马克斯·普朗克等离子体物理研究所 (IPP) 投入使用。该反应装置用于进行产生氢等离子体的实验,适合于核聚变发电站的连续运行。从长远来看,核聚变产生的能量被看作一种清洁的替代发电方式。Wendelstein 7-X有助于研究仿星器原理可用于发电站的范围。在 2016 年 3 月底完成第一个运行阶段后,反应装置正在升级并准备进行第二批次的系列实验。真空技术是反应装置的基本组成部分:实验只能在超高真空条件下进行。普发真空在反应装置真空系统的设计、实施和运行上已经与格利夫斯瓦尔德 IPP 的科学家们密切合作多年。 2016 年 8 月,普发真空项目团队和普发真空股份有限公司管理层成员 Ulrich von Hülsen 博士参观了格利夫斯瓦尔德的实验聚变反应装置。在参观期间,团队询问了第一个运行阶段的进展情况、普发真空产品的使用情况以及第二阶段的需求。

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普发真空HiPace系列涡轮分子泵

HiPace/ ATH M / HiPace M

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真空技术用于能量储存——普发真空解决方案助力能源技术的创新

应用领域

能源/新能源

检测样品

其他

检测项目

能量储存
普发真空的优化方案 普发真空以其 DuoLine 系列双级旋片泵和大受欢迎的 HiPace 系列涡轮分子泵为飞轮质量储能系统提供符合要求的理想方案。其中 Duo 3 的特别版带有创新的直流电驱动器,在市场上脱颖而出。这种泵采用 24 V 直流电供电,可在 -20 °C 至 +60 °C 范围内工作,用于移动飞轮应用极为理想,因而可直接用于该领域。 此外,普发真空的真空泵和真空计应用在全世界的飞轮系统中。 能量储存的先锋依靠普发真空 储能研发领域的法国先锋 Levisys 从一开始就信赖普发真空为其试验和研发提供的方案。这家创业公司研发生产了首台 10?kW 固定飞轮储能系统,并将其应用在法国电气工程巨头 Engie Ineo 位于 Toulouse 的生产现场。公司建立了所谓的 SmartGrid 智能电网,并使用固定飞轮系统均衡供能偏差。通过这种方法,为生产现场的常规供能提供了新的电能储存途径。它填补了使用至今的锂离子电池储能设备的不足。通过最初的测试阶段后,在 2016年将再加装 9 台固定飞轮储能系统,容量达到 100 kWh 。Levisys 的固定飞轮质量储能系统采用了 DuoLine 旋片泵、HiPace 涡轮分子泵以及真空计,以获取并测量所需的真空环境。对于真空设备的要求很高:其工作必须可靠,结构紧凑,以适合固定飞轮系统内部有限的空间,而且输入功率也必须低。

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普发真空DUOLINE系列双级旋片泵

DuoLine系列

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用真空技术追随爱因斯坦的脚步

应用领域

其他

检测样品

其他

检测项目

LIGO实验
普发真空的真空技术用于 LIGO 这项实验,亦即在地球上证实引力波的存在,需要真空技术。为了保证功能正常,激光的两条光路不得受到扰动影响。因此,激光束和光学镜面放置在超高真空系统中。为了保证该系统的质量和可靠性,从而使实验能够顺利完成,需要进行长达十年的准备。作为准备工作的一部分,在世界各地的物理研究所为准备引力波实验而进行了深入的基础研究。 普发真空为许多这样的基础实验提供了真空设备。LIGO 探测器中的真空也是由普发真空的分析系统监控的。普发真空的 HiPace 涡轮分子泵及大量质谱仪被用于保障质量和检测泄漏,以对巨型光束管道的烘烤进行诊断。这些设备用于保持管道系统中的必需的真空条件,为成功进行实验提供必要的环境条件。

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普发真空HiPace系列涡轮分子泵

HiPace/ ATH M / HiPace M

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真空技术给癌症患者带来希望

应用领域

医疗/卫生

检测样品

癌细胞/肿瘤细胞

检测项目

真空技术的作用
MIT 的普发真空解决方案一览: 隔膜泵 在 MIT,隔膜泵用作涡轮分子泵的前级泵。由于其紧凑性,普发真空的隔膜泵是集成到系统中的最佳选择。该产品优势明显: ■ 绝对干燥的无油真空 ■ 隔膜使用寿命长 ■ 低振动和低噪音水平 ■ 高操作可靠性 ■ 易于维护,因为膜和阀门更换简单 ■ 由于使用了双电压电机或直流驱动器,可在全球范围内使用 涡轮分子泵 普发真空的涡轮分子泵在 MIT 产生所需的超高真空条件。凭借其高性能和可靠性以及极好的经济性和效率,它们是满足离子束机器要求的最佳解决办法。其优势包括: ■ 经验证的轴承系统实现了高可靠性 ■ 设计、技术组件和泵速度等级的差异实现了灵活性 ■ 高度发达的泵设计实现了高压缩性能和高效率 ■ 低能耗 ■ 很长的保养间隔周期 质谱仪 在 MIT,普发真空的 PrismaPlus 质谱仪用于在真空系统中进行残余气体分析。高灵敏度、稳定性和智能处理的结合使 PrismaPlus成为最佳解决方案。优势一览: ■ 模块化设计实现了最佳适应性 ■ 紧凑的尺寸和高性能 ■ 通过各种接口实现了方便的系统集成 ■ 通过以太网联网 ■ 高测量速度、稳定性和分辨率 测量设备 MIT 使用普发真空的 ActiveLine 和 DigiLine 高精度真空计测量仪器。它们具有模拟和数字两种输出。它们非常适合离子束系统的要求,并具有许多优势: ■ 磁性杂散场最小 ■ 轻松集成 ■ 耐用且易于维护

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普发真空HiPace系列涡轮分子泵

HiPace/ ATH M / HiPace M

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适用于研发的洁净干泵—— 令人信服的普发真空解决方案

应用领域

机械设备

检测样品

泵/阀门/压缩机

检测项目

研发领域
放射性环境下的应用: 对于在放射性环境或高磁场下的应用,会很快损坏到各种电子部件。对于经常靠近试验安装的涡轮分子泵,普发真空开发了拥有外部电子组件和电缆长达 1,000 m 的解决方案。对于机身装备了电子装置的现代化前级泵而言,有相同型号可用。对于 ACP 系列的泵,电子装置可选装于离泵最远达 100 米的地方。 根据最近几年的经验,对于一系列的研发应用,普发真空 ACP 系列的多级罗茨泵与 HiPace 涡轮分子泵的组合都是理想的解决方案。这一泵组合相比于其它方案拥有的明显优势包括: ■ 绝对无氟,因此无工艺污染的危险 ■ 极少需要维护 ■ 节能且节约成本 ■ 工作音量小 ■ 最终压力极低

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普发真空ACP 15 / 28 / 40 多级罗茨泵

ACP 15 / 28 / 40

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药品泡罩包装创新型的检漏设备

应用领域

制药/生物制药

检测样品

其他

检测项目

检漏
高度灵敏、实时定量测量而无需特定示踪气体 在新方法中,普发真空采用了光学放射光谱方法,这种方法与使用陷在泡腔中的气体的任何其他方法相比具有更低的检测限。将待检测泡罩包装放入测试腔室,该测试室还具有观察孔和对包装的机械支撑。测试室尺寸为 150 mm x 100 mm x 10 mm,对于可用的最大泡罩包装来说也足够大。但是,也可以根据较大的样品来定制测试腔室。 在装载样品后,测试室被排空。在低于 10-2 mbar 的压力下,点燃等离子体,并采用光学放射光谱仪对其光学放射进行分析。最小可检测信号对应直径大约为 0.1 μm 的孔。由于气体量受泡罩包装自由容积的限制,所以对于 1 cm3 的腔体积,最大孔径约限于200 μm 。 AMI 120 传感器技术可与集成在同一测试设备内的氧气传感方法配合。它可以检测的孔径达 2 mm。 用在 AMI 120 中的软件解决方案符合 21 CFR 第 11 部分的要求。选装的软件解决方案可用于制造执行系统。可对偏移生产的早期迹象和包装设备在软件中实现趋势分析。 该方法易于建立和使用,并产生定量和高重复性的结果。除了简单的 GO/NOGO 检测方法取得的信息之外,AMI 120 的新方法可以实时检测密封参数的偏移。高价值药品的损失得以避免,而且因纠正措施而停止生产的情况也降到最低。 周期时间取决于所需的检测限。对于 1.0 · 10-4 mbar·l/s 的泄漏率, 预计周期时间为 30 秒。测试设备使用认证的校准泄漏实现自动校准。因此可以提供不依赖操作员的校准和测试结果。

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普发真空全新AMI 120泄漏检测仪

AMI 120

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如太阳那样产生能量——真空为聚变提供必要条件

应用领域

能源/新能源

检测样品

太阳能

检测项目

Wendelstein 7-X 聚变反应堆
聚变反应堆对真空技术的要求 Wendelstein 7-X 主要由两个交错的环形真空容器组成。外部低温室包含用于超导线圈的隔离真空和冷却设备,而超导线圈是产生磁场所必需的。内腔室或等离子体容器用于在高真空环境中产生实际的等离子体。 操作聚变反应堆的一个重要因素是要有结实、强大可靠的真空系统。因此,所有真空元件必须通过马克斯·普朗克等离子物理研究所(IPP) 的资格审查程序,以确保其用于聚变实验的适合性。 高达 3 特斯拉的强磁场限制了 Wendelstein 7-X 内部等离子体容器中带电的等离子体粒子。等离子体容器周围的磁场如此强烈,以致有必要在距离等离子体容器 4 到 9 米处的特殊装置上安装真空设备。即使在这个距离内,磁场仍然达到 7 毫特拉斯的强度,有时甚至达到 20 毫特斯拉。这些磁场强度几乎是地球自然磁场强度的1,000 倍。 为使等离子体容器中的压力达到 10-8 百帕,不仅有必要抽空 100立方米的容器容量,而且有必要抽空从约 1,300 平方米的内表面上释放的气体负荷。而且,所使用的真空泵必须能够达到抽空聚变过程所涉及的氢、氘和氦轻型气体所需的高压缩比。另一个要求是涡轮分子泵和用于涂覆等离子体容器表面的材料之间的良好兼容性。

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普发真空HiPace系列涡轮分子泵

HiPace/ ATH M / HiPace M

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高精度表面加工—— 采用普发真空的解决方案

应用领域

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检测项目

离子束加工
该真空解决方案的优势一览: ■ 对于各类分子重量的气体都能提供高抽速 ■ 高度集成的工艺,抗颗粒物 ■ 高气流量 ■ 无与伦比的高压缩值 ■ Okta 1000 中的集成溢流阀 ■ 无冷却水消耗 ■ 电机电压范围广,可在世界范围内使用 ■ 具有最高分离度的集成油雾过滤器 ■ Hena 300 中的特殊叶片材料具有更长的使用寿命

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普发真空CombiLine系列罗茨泵组

CombiLine

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测量真空脱气率—— Pfeiffer Vacuum 真空系统解决方案

应用领域

其他

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真空脱气率
许多前瞻性科技技术,例如粒子加速器、核聚变反应堆或 EUV 光刻技术都必须依赖高真空或超高真空。为了制造出这种持续的真空环境,并且维持在一定的真空度下,我们需要的不仅仅是能满足应用和技术规格的泵。同样重要的是需要在真空环境下对表面释放出的残余杂质进行精确的气体分析的仪器。然而,无论是设备的运营方,还是真空设备的制造商都需要仔细研究产品的特性、材料、及在真空环境中的表面处理和清洁方法。 Pfeiffer Vacuum 丰富多样的产品组合为此类系统提供所有必要组件。Pfeiffer Vacuum 作为完整解决方案供应商为客户定制完美的残余气体分析设备。 在残余气体分析中真空系统用于: ■ 为高真空或超高真空选择合适的材料 ■ 检查电子构件、开关组和电缆在真空中的表现 ■ 评选适合的表面处理、镀膜合金材料 ■ 评估部件的清洗程序 ■ 检查真空烘烤程序 ■ 工艺控制 Pfeiffer Vacuum 系统不仅为高真空和超高真空设备的运行方,还为真空部件的制造商提供优秀的残余气体分析解决方案。Pfeiffer Vacuum 也在本部使用残余气体分析,以便在开发和生产中测试其产品、表面处理和清洗程序的出气情况。以此确保 Pfeiffer Vacuum 产品适用于高真空和超高真空环境。此外,还可以检查涡轮分子泵的电机和前级真空部件的脱气状况。

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普发真空 HiPace® 300 H 涡轮分子泵

HiPace 300 H

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探究地球历史——用于地球科学的惰性气体质谱仪

应用领域

其他

检测样品

其他

检测项目

惰性气体质谱仪系统
由于高质量要求,BGC 选择普发真空作为其惰性气体质谱仪生产线真空设备的合作伙伴。这些系统对所需的真空解决方案寄予很高的要求,因为它们在技术上很成熟,具有体积小、便于携带的特点。最重要的是要完成所需的 UHV,其极限底压要求为较低的1·10-9 至中等 1·10-10 hPa 范围。间或,抽吸系统也必须能够处理样品装载过程中遇到的更大气体负荷。由于 BGC 和普发真空曾经长期密切合作过,普发真空非常了解 BGC 研究的要求和领域。得益于这一条件,再加上与研究所的密切合作,从而可以开发出定制、独特的真空解决方案。 普发真空的解决方案 对于这种应用,稀有气体样品制备作业线和惰性气体质谱仪均需要UHV 系统。这种真空水平已经通过使用涡轮分子泵系统、离子和非蒸散型吸气泵以及应用低温分离技术获得了。 为完全满足客户对样品制备作业线的要求,普发真空 HiCube Eco系统被选作主要泵系统。 这个解决方案的决定性参数是: ■ 紧凑的尺寸 ■ 简化布线和控制 ■ 能够远程安装控制单元 ■ 能够操作冷阴极真空计 ■ 无与伦比的低能耗(高真空模式下为 20 W) ■ 高性价比 将普发真空 HiCube Eco 集成到样品制备作业线底盘特别方便。显示控制单元可以轻松地从泵组拆除,并安装在样品制备底盘的顶部附近,以使控制单元在该系统中的定位更合人体工程学,更方便操作人员。 而且,HiCube Eco 标准配置的 MVP 015-2 隔膜泵为客户及其应用提供额外的好处。只要 HiCube Eco 中的 HiPace 80 涡轮分子泵处于低功耗状态,隔膜泵将就会进入睡眠模式,自动关闭。因此,这种泵的有效性不是体现在组件的操作和记录时间上。这样提高了隔膜的寿命并节省电力,两者均降低了系统的运行成本。此功能还降低了系统的整体噪声和振动。虽然涡轮分子泵系统通常处于待机模式下,但需求增加时,它能够快速、可靠地响应。凭借该解决方案,普发真空完全符合伯克利地质年代学中心的高要求,并成功进行了密切、可靠的合作。

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普发真空HiCube系列涡轮分子泵组

HiCube

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食品包装行业中的氦气检漏

应用领域

食品/农产品

检测样品

其他食品

检测项目

理化分析
此真空解决方案的优势一览: ■ 结果快速、可靠且可重复 ■ 集成密封测试达到最小的可检测泄漏率 ■ 氦气本底恢复快,循环测试时间短 ■ 性能强大且可靠 ■ 结构坚固 ■ 最高等级的可靠性 ■ 维修费最低 2013年起,SmartTest被ASM 340替代,成为同类产品中性能最强大的检漏仪。这些开发赋予 Pfeiffer Vacuum 系统无与伦比的性能。 Pfeiffer Vacuum 的设计解决方案满足了客户的高标准要求并通过个性化组合产品提供与工艺流程完全匹配的设备。

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普发真空氢氦质谱检漏仪ASM 340

ASM340,ASM 340 D,ASM 340 I

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氦气回收装置—— 降低氦气成本的完美技术

应用领域

其他

检测样品

其他

检测项目

泄露情况
产品优势 ■ 更低的运营成本 ■ 降低了对氦气的依赖性,更少受限于国际市场波动对氦气供应的影响 ■ 系统独立操作,独立于连接的检漏系统 ■ 氦气资源的回收利用符合环境保护法规(例如,DIN EN ISO14001) ■ 全自动操作 ■ 连接的检测系统能自动排空检测物体 典型应用 ■ 汽车行业(如安全气囊、铝圈、燃料系统部件、空调系统部件和空气悬架系统) ■ 制冷技术(如蒸发设备、压缩机) ■ 真空和超压技术(如连接件) ■ 包装技术(如药剂制品和食品) ■ 能源技术(如中压开关设备、过电压吸收器) ■ 研发设备和实验室 ■ 加速器

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普发真空氢氦质谱检漏仪ASM 390

ASM 390

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绿色工厂—— 生产过程中的能耗和环境保护

应用领域

电子/电气

检测样品

其他

检测项目

过滤,测量分析
有了“绿色工厂”概念及其在不同生产区域的广泛使用,普发真空能 够实现其效率要求。在普发真空节省能源和资源的产品的帮助下, 不仅使得客户方面实现高效运营管理,而且公司自己的生产过程中 也在能源消耗、废物管理以及有限资源利用方面实现明显的节省。 这使得生产更加高效而且环保。另外,“绿色工厂”提高了普发真空 员工对于能源和资源效率问题的认识,从而带来乘数效应,劳动力 的普遍环保意识提高。

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普发真空 HiPace® 30 涡轮分子泵

HiPace 30

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工艺气体质谱分析法中的真空解决方案

应用领域

石油/化工

检测样品

工业气体

检测项目

使用原料中的气体比例
真空解决方案的优势总结: ■设计紧凑,因而易于实现系统集成 ■使用寿命长 ■稳健结构设计而实现的高度可靠性 ■所有气体均具有高抽速和压缩 ■安全、洁净、低维护 ■便于维护

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普发真空 HiPace® 80 涡轮分子泵

HiPace80

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普发真空在国际空间站(ISS)上的应用技术

应用领域

航空航天

检测样品

航天

检测项目

国际空间站(ISS)实验
2011 年年中,普发真空向EADS Astrium空间运输公司提供了国际空间站(ISS)的一项实验所需的涡轮分子泵和真空计。该涡轮分子泵以 HiPace 80 型号为基础,通过与客户合作开发的一项创新工艺,对包含真空计在内的设备进行了改装,以适应空间的特殊环境。涡轮分子泵和真空计将用于 Columbus 欧洲研究实验室的MSL-EML 模块中(材料科学实验室 - 磁悬浮装置)。计划将在这里对材料试样进行失重条件下的无容器熔化基础实验。此次研究的主要目的旨在高效地生产性能更佳的材料。 该项目实施后,它将成为国际空间站上使用的第二台普发真空涡轮分子泵。2001年,一款经过特殊设计的Compact Turbo 型号产品已被用于 Columbus 模块中,用来研究等离子晶体。

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普发真空 HiPace® 80 涡轮分子泵

HiPace80

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追寻希格斯玻色子(上帝粒子)—— 全球最大的真空系统依赖于普发真空提供的真空解决方案

应用领域

其他

检测样品

其他

检测项目

真空度
粒子加速器运行的一个重要因素是可靠且强大的真空系统。而像LHC这样非同寻常的机器对内置真空技术有着非常特殊的要求。极小误差可能导致整个加速器停止运行数小时。因此,整套真空系统必须是非常可靠的。此外,加速器中使用的所有设备必须能够承受高达1,000 Gy/a的辐射水平。而进行这些复杂测量的设备不能离开加速器的辐射区。因此,能在现场进行设备维护显得至关重要。 为满足这些高要求,普发真空与CERN合作,对真空获得、真空测量和真空分析研发并实践了一套定制的真空解决方案。 真空获得 LHC分两种真空系统: 电子束真空和隔离真空。两种应用中都用到了普发真空的涡轮分子泵。这些泵经改进后都可以满足LHC的特殊要求。为了能在辐射环境中运行,泵体中都不能使用电子元件。要满足这些要求,普发真空研发了无传感器驱动概念,实现了泵的机械部件与电子部件的隔离。采用这一概念,电子部件可以放置在离真空泵1,000 m以外的地方,并定位在一个保护区域内。 真空测量 普发真空专门研发了特殊的测量设备,用来测量获得的真空。这些使用的设备是改进的皮拉尼和冷阴极真空计。它们用来长期监测加速器内的压力,并确保当压力增加时可以采取适当的行动。由于真空计同样暴露于高水平辐射中,它们被制造成无源传感器,没有集成的电子设备。所有电子设备都被安置在一个辐射安全区域内,并且经由长电缆连接至无源传感器。这些电缆通过精确的指令与CERN密切连接。这使冷阴极真空计可以测量达10-11 hPa的压力。通过一种特殊的点火过程,冷阴极真空计即使在压力非常低的情况下,也可以轻易打开。由于加速器的寿命约为30到40年,因此,只有采用寿命长的电子元件。 氦检漏 对LHC要求的超高真空压力,加速器使用的部件必须确保极低的漏率。因此,在安装部件之前,必须进行全方位的检漏。针对检漏,CERN采用了ASM系列检漏仪。使用这些设备,即使是细微到的10-13 Pa·m3/s 的泄漏也可以有效地被检测出来。 真空分析 除压力外,残余气体的组成也是加速器正常运行的一个重要因素。使用残余气体光谱仪,可以得出加速器内使用材料脱气相关的结论。为获得残余气体光谱,CERN采用了普发真空的质谱仪。对于超高真空中的残余气体测量,质谱仪分析仪本身具有较低的脱气率是非常重要的。除了真空退火离子源外,CERN使用的普发分析仪也拥有真空退火棒系统。使用这一方法,分析仪将产生一个极低的背景信号,尤其方便记录加速器内实际残余气体的比例。

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普发真空 HiPace® 300 H 涡轮分子泵

HiPace 300 H

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普发真空技术(上海)有限公司

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