普发真空研发出了一整套适用于排空整个离心室的系统。这一特殊的真空系统由三个不同的部件组成： 1. 用于主腔室的泵系统 2. 用于贯通轴的泵系统 3. 可选配用于油脱气的泵系统 第一个分系统用于排空平衡涡轮的区域。根据不同需求由数量不同的装置组成。每个装置都由一个罗茨泵和一个作为前级泵的旋片泵组成。 第二个分系统用于补偿传动轴的泄漏率，传动轴连接被排空的区域并因此产生泄漏。例如，为此可以采用两个小型旋片泵。也可选择一个用于油脱气的真空装置作为第三个分系统。这一真空装置由一个小型的罗茨泵和一个支撑旋片泵组成。油在闭合回路中流经轴承并流入一个容器中，在容器中进行脱气处理。这保证了轴承具有最佳的润滑度。

多年来，氦气泄漏检测已经成为各种应用领域测试气密性的方法。与其他气密性测试方法相比，它的高灵敏度、测量的可靠性以及易重复性是最有力的优势。 对于检测测试气体，普发真空提供基于质谱原理的检漏仪。质谱仪对混合气体进行电离，并在其质荷比的基础上分离出所需的示踪气体。由于质谱仪的低检测限，普发真空检漏仪的高灵敏度得以保证。

在使用真空技术装备实验室和分析系统时，高灵敏度和绝对的可靠性至关重要。在实验室里的洁净室条件和严格空间限制下进行测量和研究，导致对设备的需求增加。在真空环境中的分析大幅提高了结果的质量，因此成为现代实验室技术中首选的测量和分析方法之一。 对实验室中理想真空泵的要求相对较高。除了紧凑的设计，低噪声排放和高压力稳定性同样重要。必须能够在高真空和超高真空条件下执行决定性的精确分析程序。而且，所有的解决方案必须可灵活定制，以满足相关应用的不同挑战。

如今，真空在我们日常生活中被广泛应用于高端产品的生产及制造，并且扮演着重要角色。例如：在科研，工业流程，手机芯片，硬盘，太阳能电池，塑料干燥或者食品真空包装等领域。 在当今的生产活动中，我们对真空度测量的精确性、标准化、可靠性和重复性的要求是至关重要的。当我们在进行测量的时候，高精度又是关键中的关键：精度的高低会直接影响产品的生产质量，科学实验的准确性和设备使用的可靠性。 要确保真空计使用时的高可靠性，就必须经常对它进行校准或标定。而根据每个不同应用的具体要求，这些校准工作必须符合国内或相关的国际标准。 经济、高效、精准、国际化的机构校准及标定替代解决方案生产活动中，真空计往往需要对外专业机构进行校准和标定。然而在对量大或校准间隔要求短的条件下，使用经济的测量仪器进行现场校准能大大节约时间和费用。 普发真空紧凑型的校准泵组就能够组建起这样一个系统。这个易于使用的便携式系统是专为同时在线进行多个仪器检测而量身定做的。其系统具有使用便捷、快速及符合人体工学标准的特点。

真空的必要性 为进行辐射监测，首先必须将X射线管抽空至所需的高真空环境（x< 10-5 mbar）。这就需要一个真空系统。需要的设备包括涡轮分子泵（HiPace 80）、作为前级泵的小隔膜泵(MVP 015) 以及真空规(IMR 265)。手持编程设备(HPU 001)用来充当移动控制和显示装置。这样就能监测所有泵的参数以及客户的具体参数组。 普发真空与光学检测系统和x射线检测系统的制造商和业内领先专家合作。在实际操作过程中，采用了光学和x射线检测相结合的方法，为用户优化了成本（最大程度地降低了运营成本并缩短了线长）。 应用范围广泛，从食品产业到空间技术都有 随着产品质量要求的日益提高，相应地，对相关元件进行全面检测的需求也正日益凸显。在某些应用领域，如汽车技术和航空航天，必须对所有元件进行全面检测，任何电子设备的缺陷或瑕疵而导致的故障都有可能引发致命的后果。电路板、组件、焊点和焊点都需要进行检测。 半导体行业是采用X射线进行检测的主要行业，尤其是在其高端制造工艺环节。这个市场对精确测量的要求相当高，这就促成了一整套的检测系统。阶段性的检测被贯穿在成品生产的每个工艺环节，确保能进行半导体晶片的实时表面分析检测。 例如在食品行业，需要检查瓶口有无损坏或污染，在医学技术领域，需要检查所有电子部件是否有虚焊点、焊桥、对准失误的组件、焊接不当以及缺失或安装不正确的部件。在机械工程领域，需要检测金属或塑料元件有无开裂或收缩现象。 实际操作中为了达到完美效果，必须考虑一些重要的因素。其中包括真空系统和x射线技术。为帮助工业用户达到低成本高效益，在选择合适的真空元件以及x射线管设计、采纳和应用过程中都需要专家的意见。

普发真空提供针对烘烤高真空应用的塑料或其他材料进行定制的完整系统。超高真空烘烤系统具有以下特点： 具有电抛光内表面的圆柱形不锈钢室能够通过内置的冷却盘管和制冷/加热循环器加热到所需的运转温度。室门配备了一个氟橡胶(FPM) 制成的双密封胶圈，能够在不更换密封胶圈的前提下轻松开关不锈钢室。双密封胶圈通过粗抽泵排空气体以减少渗透。 不锈钢室上的所有其它法兰都采用了 CF 法兰(ConFlat®) 以减少渗透。CF 法兰密封由金属制成，最常用的密封材料是铜。CF 法兰通过将钢刀口施加到平的铜垫片上进行密封。法兰的轴环周围使用螺丝钉。 整个不锈钢室被包围在一个特殊的兼容净室的隔热层内 (RRK 7)。尽可能表面积最小的自定义夹紧工具能够被设计成不同的组件形状。为了测量高达 5 · 10-9 mbar 的压力，使用了一个冷阴极测头和一个 Pirani 元件 (PKR 261) 进行测量。 通过 HiPace 系列涡轮分子泵或 HiPace M 系列磁悬浮涡轮分子泵可以形成高真空，涡轮分子泵利用一个超高真空闸阀安装在不锈钢室上。在这一应用中可以在 ACP 系列的隔膜泵和多级罗茨泵之中选择一种作为干式前级泵。

普发真空检漏仪优势一览： 便携式： ■ 非常轻，易于操作 ■ 非常适合世界范围内的使用 ■ 便于轻松操作的遥控装置通用型： ■ 适合大量的泄漏检测应用 ■ 强大、可靠 ■ 清晰设计，便于操作 高性能： ■ 即使是大容量，也可实现极短的抽吸时间 ■ 对于不同尺寸和体积的部件，均具有高灵敏度的检测限 ■ 在洁净工艺以及恶劣环境中的高度可靠性 工作站： ■ 非常适合循环时间短的批量生产中的测试 ■ 在封闭部件上完全自动操作 ■ 人体工程学设计，便于坐着操作 模块化： ■ 方便、灵活地集成到泄漏检测系统中 ■ 得益于低维护需求而实现连续运行 ■ 广泛的接口选择 吸枪模式泄漏检测： ■ 检测小泄漏的理想解决方案 ■ 通过语音输出的状态报告，有助于工作流程 ■ 通过遥控装置实现轻松操作

创新概念 SplitFlow™是由普发真空开发的利用一个模块去实现涡轮牵引泵的功能，从而为系统制造商提供了最大的灵活性。该泵的开发要求在单一真空系统内结合了精确的几何适应性和优异的性能。尤其是在不断增加的复杂性和台式装置趋势方面，这种概念完全符合市场要求和客户需要。除了纯粹的几何适应性以外，还需要满足特定的真空技术参数。例如，通过结合不同的抽气原理（例如，结合涡轮分子泵和霍尔威克压力级），允许的前真空压力将明显提高，同时压 缩性能将提高几个数量级。通过巧妙地设计转子几何形状，可以产生多达三个不同的泵级，它们的定向方式只会部分地相互影响。这样的布置使得可以代替两台离散式高真空泵和一台机械前级泵。 这样的设计甚至可以实现完全整合到分析仪器的真空室中。这需要系统制造商和真空供应商从一开始就进行密切合作。设计阶段完善建议非常重要。取决于系统的配置，结果往往可以为真空系统减少大约50%的空间，而且节省成本超过50%。通过取消离散式抽吸装置、采用标准泵批量生产的研究结果，如今可以达到超过100,000小时MTTF（平均无故障时间）的泵可靠性。 通过优化的轴承技术可以实现高度的可靠性，这种技术采用无需维护的磁悬浮轴承和精确球轴承在两侧定位快速旋转的转子，从而可以有效减震。 泵补充配套有相应的电子驱动单元以及一系列的附件。对于涡轮分子泵的计算机控制一体化，提供标准化的界面。由于其特殊布局，这些泵只需要一个空气冷却系统，这意味着，可以省去附加的水冷却和其他装置费用。

世界上最大的仿星器类型实验核聚变反应装置“Wendelstein 7-X”自2015 年 12 月开始已在德国格利夫斯瓦尔德的马克斯·普朗克等离子体物理研究所 (IPP) 投入使用。该反应装置用于进行产生氢等离子体的实验，适合于核聚变发电站的连续运行。从长远来看，核聚变产生的能量被看作一种清洁的替代发电方式。Wendelstein 7-X有助于研究仿星器原理可用于发电站的范围。在 2016 年 3 月底完成第一个运行阶段后，反应装置正在升级并准备进行第二批次的系列实验。真空技术是反应装置的基本组成部分：实验只能在超高真空条件下进行。普发真空在反应装置真空系统的设计、实施和运行上已经与格利夫斯瓦尔德 IPP 的科学家们密切合作多年。 2016 年 8 月，普发真空项目团队和普发真空股份有限公司管理层成员 Ulrich von Hülsen 博士参观了格利夫斯瓦尔德的实验聚变反应装置。在参观期间，团队询问了第一个运行阶段的进展情况、普发真空产品的使用情况以及第二阶段的需求。

普发真空的真空技术用于 LIGO 这项实验，亦即在地球上证实引力波的存在，需要真空技术。为了保证功能正常，激光的两条光路不得受到扰动影响。因此，激光束和光学镜面放置在超高真空系统中。为了保证该系统的质量和可靠性，从而使实验能够顺利完成，需要进行长达十年的准备。作为准备工作的一部分，在世界各地的物理研究所为准备引力波实验而进行了深入的基础研究。 普发真空为许多这样的基础实验提供了真空设备。LIGO 探测器中的真空也是由普发真空的分析系统监控的。普发真空的 HiPace 涡轮分子泵及大量质谱仪被用于保障质量和检测泄漏，以对巨型光束管道的烘烤进行诊断。这些设备用于保持管道系统中的必需的真空条件，为成功进行实验提供必要的环境条件。

该真空解决方案的优势一览： ■ 对于各类分子重量的气体都能提供高抽速 ■ 高度集成的工艺，抗颗粒物 ■ 高气流量 ■ 无与伦比的高压缩值 ■ Okta 1000 中的集成溢流阀 ■ 无冷却水消耗 ■ 电机电压范围广，可在世界范围内使用 ■ 具有最高分离度的集成油雾过滤器 ■ Hena 300 中的特殊叶片材料具有更长的使用寿命

许多前瞻性科技技术，例如粒子加速器、核聚变反应堆或 EUV 光刻技术都必须依赖高真空或超高真空。为了制造出这种持续的真空环境，并且维持在一定的真空度下，我们需要的不仅仅是能满足应用和技术规格的泵。同样重要的是需要在真空环境下对表面释放出的残余杂质进行精确的气体分析的仪器。然而，无论是设备的运营方，还是真空设备的制造商都需要仔细研究产品的特性、材料、及在真空环境中的表面处理和清洁方法。 Pfeiffer Vacuum 丰富多样的产品组合为此类系统提供所有必要组件。Pfeiffer Vacuum 作为完整解决方案供应商为客户定制完美的残余气体分析设备。 在残余气体分析中真空系统用于： ■ 为高真空或超高真空选择合适的材料 ■ 检查电子构件、开关组和电缆在真空中的表现 ■ 评选适合的表面处理、镀膜合金材料 ■ 评估部件的清洗程序 ■ 检查真空烘烤程序 ■ 工艺控制 Pfeiffer Vacuum 系统不仅为高真空和超高真空设备的运行方，还为真空部件的制造商提供优秀的残余气体分析解决方案。Pfeiffer Vacuum 也在本部使用残余气体分析，以便在开发和生产中测试其产品、表面处理和清洗程序的出气情况。以此确保 Pfeiffer Vacuum 产品适用于高真空和超高真空环境。此外，还可以检查涡轮分子泵的电机和前级真空部件的脱气状况。

由于高质量要求，BGC 选择普发真空作为其惰性气体质谱仪生产线真空设备的合作伙伴。这些系统对所需的真空解决方案寄予很高的要求，因为它们在技术上很成熟，具有体积小、便于携带的特点。最重要的是要完成所需的 UHV，其极限底压要求为较低的1·10-9 至中等 1·10-10 hPa 范围。间或，抽吸系统也必须能够处理样品装载过程中遇到的更大气体负荷。由于 BGC 和普发真空曾经长期密切合作过，普发真空非常了解 BGC 研究的要求和领域。得益于这一条件，再加上与研究所的密切合作，从而可以开发出定制、独特的真空解决方案。 普发真空的解决方案 对于这种应用，稀有气体样品制备作业线和惰性气体质谱仪均需要UHV 系统。这种真空水平已经通过使用涡轮分子泵系统、离子和非蒸散型吸气泵以及应用低温分离技术获得了。 为完全满足客户对样品制备作业线的要求，普发真空 HiCube Eco系统被选作主要泵系统。 这个解决方案的决定性参数是： ■ 紧凑的尺寸 ■ 简化布线和控制 ■ 能够远程安装控制单元 ■ 能够操作冷阴极真空计 ■ 无与伦比的低能耗（高真空模式下为 20 W） ■ 高性价比 将普发真空 HiCube Eco 集成到样品制备作业线底盘特别方便。显示控制单元可以轻松地从泵组拆除，并安装在样品制备底盘的顶部附近，以使控制单元在该系统中的定位更合人体工程学，更方便操作人员。 而且，HiCube Eco 标准配置的 MVP 015-2 隔膜泵为客户及其应用提供额外的好处。只要 HiCube Eco 中的 HiPace 80 涡轮分子泵处于低功耗状态，隔膜泵将就会进入睡眠模式，自动关闭。因此，这种泵的有效性不是体现在组件的操作和记录时间上。这样提高了隔膜的寿命并节省电力，两者均降低了系统的运行成本。此功能还降低了系统的整体噪声和振动。虽然涡轮分子泵系统通常处于待机模式下，但需求增加时，它能够快速、可靠地响应。凭借该解决方案，普发真空完全符合伯克利地质年代学中心的高要求，并成功进行了密切、可靠的合作。

产品优势 ■ 更低的运营成本 ■ 降低了对氦气的依赖性，更少受限于国际市场波动对氦气供应的影响 ■ 系统独立操作，独立于连接的检漏系统 ■ 氦气资源的回收利用符合环境保护法规（例如，DIN EN ISO14001） ■ 全自动操作 ■ 连接的检测系统能自动排空检测物体 典型应用 ■ 汽车行业（如安全气囊、铝圈、燃料系统部件、空调系统部件和空气悬架系统) ■ 制冷技术(如蒸发设备、压缩机） ■ 真空和超压技术(如连接件） ■ 包装技术(如药剂制品和食品） ■ 能源技术（如中压开关设备、过电压吸收器） ■ 研发设备和实验室 ■ 加速器

粒子加速器运行的一个重要因素是可靠且强大的真空系统。而像LHC这样非同寻常的机器对内置真空技术有着非常特殊的要求。极小误差可能导致整个加速器停止运行数小时。因此，整套真空系统必须是非常可靠的。此外，加速器中使用的所有设备必须能够承受高达1,000 Gy/a的辐射水平。而进行这些复杂测量的设备不能离开加速器的辐射区。因此，能在现场进行设备维护显得至关重要。 为满足这些高要求，普发真空与CERN合作，对真空获得、真空测量和真空分析研发并实践了一套定制的真空解决方案。 真空获得 LHC分两种真空系统: 电子束真空和隔离真空。两种应用中都用到了普发真空的涡轮分子泵。这些泵经改进后都可以满足LHC的特殊要求。为了能在辐射环境中运行，泵体中都不能使用电子元件。要满足这些要求，普发真空研发了无传感器驱动概念，实现了泵的机械部件与电子部件的隔离。采用这一概念，电子部件可以放置在离真空泵1,000 m以外的地方，并定位在一个保护区域内。 真空测量 普发真空专门研发了特殊的测量设备，用来测量获得的真空。这些使用的设备是改进的皮拉尼和冷阴极真空计。它们用来长期监测加速器内的压力，并确保当压力增加时可以采取适当的行动。由于真空计同样暴露于高水平辐射中，它们被制造成无源传感器，没有集成的电子设备。所有电子设备都被安置在一个辐射安全区域内，并且经由长电缆连接至无源传感器。这些电缆通过精确的指令与CERN密切连接。这使冷阴极真空计可以测量达10-11 hPa的压力。通过一种特殊的点火过程，冷阴极真空计即使在压力非常低的情况下，也可以轻易打开。由于加速器的寿命约为30到40年，因此，只有采用寿命长的电子元件。 氦检漏 对LHC要求的超高真空压力，加速器使用的部件必须确保极低的漏率。因此，在安装部件之前，必须进行全方位的检漏。针对检漏，CERN采用了ASM系列检漏仪。使用这些设备，即使是细微到的10-13 Pa·m3/s 的泄漏也可以有效地被检测出来。 真空分析 除压力外，残余气体的组成也是加速器正常运行的一个重要因素。使用残余气体光谱仪，可以得出加速器内使用材料脱气相关的结论。为获得残余气体光谱，CERN采用了普发真空的质谱仪。对于超高真空中的残余气体测量，质谱仪分析仪本身具有较低的脱气率是非常重要的。除了真空退火离子源外，CERN使用的普发分析仪也拥有真空退火棒系统。使用这一方法，分析仪将产生一个极低的背景信号，尤其方便记录加速器内实际残余气体的比例。

快速高效的输气管道检测对工艺可靠性和设备安全性至关重要。采用氦气检漏仪可以确定气体分配管道、槽、气柜和存储或传输气体的任何设备内的泄漏位置。氦气检漏确实是一种灵敏度高且动态范围广的无损检测方法。由于氦气检漏采用测试气体检测，检漏过程受到流体动力学定律的支配。单个测试对象的高内部流阻可能大大降低氦气检漏的效率。尤其是检测又长又细的输气管道时，例如高纯度介质供应系统或线饶式换热器的结构。 普发真空为所描述的泄漏检测方法的标准应用提供 ASM 340 或ASM 340 D 型设备。这些检漏仪的优点是： ■ 强大的内置前级泵能够实现高载气流量并因此缩短测量反应时间。 ■ 严重泄漏和正常模式间的高开关阀值为选择测试压力和灵敏度提供了最大的灵活性。 ■ 可将 ASM 340 D 型（带旁路选项）和 ASM 380 型设备用于规定需要无油检漏系统的高要求应用。 强大的 ASM View 软件包能够用于记录测量所得数值。该软件包管理所有当前的普发真空泄漏检测器，可以从我们网站上的下载专区免费下载： http://www.pfeiffer-vacuum.com/downloads/

在设计和操作真空系统时，抽空曲线是常用的控制手段。通过它们可以推导出系统中的任何问题，并且可以评估正确的泵性能。 抽空曲线描述真空系统中随时间变化的压力下降趋势。在图解中，X 轴代表时间，Y 轴代表压力。在已知真空室和泵的几何结构情况下，可以计算出抽空曲线。计算和测量的抽空曲线之间的任何偏差通常可以提供真空系统中有关问题的信息。这也适用于长时间使用所测量的曲线和参考曲线之间的对比。

1.Ensuring the tightness of food packaging with Pfeiffer Vacuum 2.Application 3.Solution 4.Advantages

1.Steelmaking under vacuum 2.Energy-efficient alternative to steam ejector pump systems 3.Pfeiffer Vacuum solutions 4.Roots pumps 5.Expert partner in the steel industry

1.The perfect technology for reducing helium costs 2.Short technical profile of standard deliverable helium recovery units 3.Customer Benefits 4.Typical applications

1.Containerless processing in space 2.Experiment under conditions of weightlessness 3.Unique conditions in space 4.Outlook

1.Pfeiffer Vacuum supplied key vacuum components to CERN′s Large Hadron Collider (LHC) 2.Beam vacuum 3.Insulation vacuum 4.The importance of vacuum 5.Vacuum generation 6.Vacuum measurement 7.Helium leak detection 8.Vacuum analysis ETC

1.The use of plastics in high vacuum applications 2.The Pfeiffer Vacuum solution 3.Leading. Dependable.Customer Friendly.

1.Why vacuum? 2.What pressure? 3.Why helium? 4.The measuring method 5.Integral/local leak detection 6.Summary 7.Leading. Dependable.Customer Friendly.

1.Classifying the various testing methods 2.Nondestructive materials testing 3.X-ray testing with vacuum technology 4.Impossible without vacuum 5.Fields of application range from the food industry to space technology 6.Leading. Dependable.Customer Friendly.

1.Berliner Elektronenspeicherring-Gesellschaft für Synchrotronstrahlung 2.Employment of vacuum products 3.What is synchrotron radiation? 4.Leading. Dependable.Customer Friendly.

1.Leak testing high pressure valves 2.The path to a custom system 3.Design of the system，Successful testing 4.Documenting technology leadership 5.Interesting for high-tech markets of the future

1.Employment of a turbopump on a mass spectrometer 2.The Swedish icebreaker Oden 3.PTR-TOF mass spectrometers 4.Leading. Dependable. Customer Friendly.

With the introduction of the magnetically coupled DuoLine, Pfeiffer Vacuum gained a key technology edge in the field of two-stage rotary vane pumps back in 1996. Successful development work has enabled this technology edge to be further broadened. With the PentaLine series, it has been possible to offer backing pumps with pumping speeds of 20 to 35 m3/h that provide convincing, environmentally friendly cost-effectiveness. The ability to slash energy costs by around 30 % makes this a highly attractive vacuum solution by comparison with conventional rotary vane pumps equipped with asynchronous motors.