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解决方案

精确的提升至百万分之一毫巴升每秒!

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理化分析
定制检漏系统之路 德国GSR阀门公司(GSR Ventiltechnik GmbH & Co. KG)是一家专门从事研发与生产高压电磁阀的企业。普发真空(Pfeiffer Vacuum GmbH)开发并生产了一套完整的氦气检漏系统。这套系统是为了配合GSR生产高压电磁阀定制的。高压电磁阀的工作压力一般在200-360bar之间。在某些情况下,这个工作压力可能更高。普发真空是非常乐于接受这样一个挑战,并且把这个项目作为我们的新的标杆。在项目设计阶段,我们很快就发现整套系统能够很好的满足GSR的要求。这也就意味着,在将来我们能够进行更广泛的合作中,测试更多不同的阀门。 这个项目有如下的技术要求: 1. 阀门的压力在 0.5-360 bar之间。所有的测试要求在全自动的环境下完成。 2. 可持续测量和自由选择测试气体浓度的测试气体回收系统。技术要求背景:如果一个阀门被填充了氦气,则随后持续充入的氦气将减少。大约180升的氦气会在一个压力在360 bar和一个内在的阀容量在0.5升的一个单循环测试系统中被释放。由于该气体制作工艺复杂以及成本的问题,氦气是一种昂贵的测试气体。测试气体回收系统可以从经济和生态两方面带来更多的利益。并且循环再利用率可以达到95%以上。 3. 为了确保校准的测试压力在360 bar以上以及避免任何可能的压力峰值,就必须开发一个压力高达500 bar的高压对比系统,其测试气体需要一个特殊装置的缓冲容器存放,以便逐步向下释放气体。 4. 此外,还需要一个额外的功能阀测试系统:在氮气压力在100bar以上时,压力从阀门能流入大气。这个过程中流量的速度会达到音速的2.5倍,结果就是产生极大的噪音,这就必须需要一个特殊的静音装置。

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普发真空氢氦质谱检漏仪ASM 340

ASM340,ASM 340 D,ASM 340 I

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半导体工厂中的氦气泄漏检测

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石油/化工

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含量分析
智能手机、平板电脑、游戏机、导航系统、纯平显示器,这些以及其他很多高科技产品由于半导体产业才得以存在。没有该产业,现代传播媒体中使用的内存芯片和处理器就无法生产出来。 它们的生产需要极其洁净的真空条件并精确地进行监测。例如,在半导体生产设施(被称为“晶圆厂”)投入运行后,需要以测量压力上升的方式进行泄漏测试。只有系统的气密性得到了认可,才能批准该工艺流程。如果压力上升大于定义的阈值,则晶圆厂关闭,并启动泄漏检测以找出泄漏并将其修复。普发真空凭借其全面的售后服务体系,提供最佳专家支持(甚至为现场泄漏检测提供支持)。

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普发真空氢氦质谱检漏仪ASM 390

ASM 390

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工艺气体质谱分析法中的真空解决方案

应用领域

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工业气体

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使用原料中的气体比例
真空解决方案的优势总结: ■设计紧凑,因而易于实现系统集成 ■使用寿命长 ■稳健结构设计而实现的高度可靠性 ■所有气体均具有高抽速和压缩 ■安全、洁净、低维护 ■便于维护

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普发真空 HiPace® 80 涡轮分子泵

HiPace80

面议

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普发真空气体分析仪连接到热天平上

应用领域

石油/化工

检测样品

聚氯乙烯(PVC)

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热重分析
结构紧凑、方便用户使用 惰性进样系统,没有样品歧视 进气口可加热至 200 °C (另有 350 °C 的选择) 多种气体分析 检测下限值低(< 1 ppm),甚至可用于可凝性气体 可检测达 128 种物质 质量范围为 1–100 amu、1–200 amu 或 1–300 amu

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Connecting thermo balances to Pfeiffer Vacuum gas analyzers

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聚氯乙烯(PVC)

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热解
1.Pyrolysis of PVC 2.Application 3.Solution 4.Product advantages

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