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解决方案

用于 CMP 浆料的 AccuSizer系统

应用领域

机械设备

检测样品

其他

检测项目

CMP浆料是纳米级磨粒和其他化学品的复杂混合物,包括表面活性剂、pH 调节剂、氧化剂、有机酸和络合剂。磨料的粒度分布是以多种方式影响整个过程的关键参数。磨料平均尺寸和分布宽度会影响材料去除率(MRR)。

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A7000 SIS 液体颗粒计数器

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