PANDORA 多功能台式原子层沉积系统

Forge Nano 以其专有的原子层沉积技术实现基底表面可控的涂层材料原位生长。而如何对大规模的粉末材料进行 ALD 包覆，则是行业内的难题。Forge Nano 通过多年的技术积累，是目前掌握解决方案的企业。

降低风险，提升安全性不仅取决于电池系统的管理和用户良好的使用习惯，对于电池原材料的改良也是重要途径。

锂离子电池的广泛应用推动了新能源汽车行业的快速发展，而 PALD 包覆技术可以改进电极材料的使用寿命及电化学性能，有效提升电池整体性能。Forge Nano 公司长期以来一直致力于将该技术应用在各种锂电电池材料的改性生产工艺中。

随着新能源技术的不断发展，电池已经成为必不可少的工具，在消费电子和日常出行中都得到了广泛的应用。而在电池的使用中，循环使用寿命，能量密度以及安全性是决定其性能的关键指标。这是因为电池在运行过程中，会因为嵌锂，金属溶解，开裂，枝晶生长，放气等问题导致电池性能下降，而在目前的技术方案中，电池电极材料的工艺改善是提升电池整体性能的重中之重，其中 ALD 技术（原子层沉积）具有出色的成膜均匀性，保形性以及精确性，从而备受瞩目。但因为高昂的成本和设备要求，该技术一直停留在实验室阶段。Forge Nano 经过多年研发，已经开发出低成本的规模化原子层沉积粉末包覆技术。

原子层沉积技术（ALD）是一种自限制性的化学气相沉积手段，通过将目标反应拆解为若干个半反应，实现表面涂层的原子层级厚度控制。利用该技术制备的涂层具有：共形，无针孔，均匀的特点，对于复杂的表面界面以及高纵深比样品有较好的沉积效果。

粉末材料尤其是超细粉末相比于块体以及大颗粒，拥有更优异的光、热、电、磁、催化等性能，在工业领域也已经得到长足的利用。但粉末材料因为较高的比表面积和成分的限制，存在易团聚，寿命短等缺陷，制约了其应用的发展。为了克服这些缺陷，采用粉体改性的方式可以极大改善材料的性能，而由于大多数化学反应都是在表面界面发生，表面改性则最为直观的改性手段。

Forge Nano 利用粉末 / 颗粒原子层沉积（PALD）技术在粉末表面构筑涂层，所制备的涂层具有：共形，无针孔，均匀的特点。使用 PALD 方法可以制备金属单质，金属氧化物，氮化物，硫化物，磷酸盐，多元化合物以及有机聚合物等涂层。

有效的包衣涂层可以防止疫苗的活性成分受到环境因素影响，同时实现缓释功能，延长疫苗 的有效时间。制备涂层的方法有很多，但粉末原子层沉积技术(简称 PALD)作为一种精准 可控的纳米包覆技术，近年来被广泛用于新能源，催化，金属粉末的界面改性应用中，但鲜 有应用于药物粉末的研究。

与传统的表面改性不同，PALD 是真正可以实现原子级/分子层级控制精度的粉末涂层技术，并保持良好的共形性。原子层沉积技术是一种基于自限制性的化学半反应将被沉积物质以单原子膜的形式一层一层的镀在物体表面的薄膜技术。与常规的化学气相沉积不同，原子层沉积将完整的化学反应分解成多个半反应，从而实现单原子层级别的薄膜控制精度。由于基底表面存在类似羟基这样的活性位点，因此前驱体可以形成单层的饱和化学吸附，从而实现自限制性反应。而在经过单个周期反应后，新的位点暴露出来，可以进行下一个周期的反应。

ALD 反应依赖于多种前驱体化学物质得到最终产物的一种气相沉积技术。由于 ALD 反应的自限制特性，前驱体通常是过量的，从而保证表面的饱和化学吸附，实现均匀包覆。在半导体工艺中，ALD 技术已经得到广泛应用。