核心参数
仪器种类: 其他
产地类别: 进口
靶材: 各类金属等导电材料
基片尺寸: 10mm(单分散),47mm(过滤沉积)
基片温度范围: 室温
成膜厚度均匀性: 0-20nm 单分散颗粒沉积
极限真空: 0.8-1.2bar
气溶胶纳米喷印
纳米印刷是柔性电子领域重要的区域性沉积技术, VSP-P1 采用独家的气溶胶冲压沉积技术,将原材料通过火花烧蚀的方式转变成纳米级气溶胶颗粒,并在真空系统配合下实现图案的绘制。该方法避免了传统喷墨打印需要导电油墨以及后续热处理去除油墨的弊端,保证图案的纳米结构最大程度的保留,避免产生气孔等缺陷。
运行原理
气溶胶颗粒会通过火花烧蚀的方式在前端产生,颗粒经由惰性气体带动运输至喷嘴处,经过真空系统作用,腔室的气压会保持在 10mbar 以下,而经由喷嘴喷出的气溶胶会在基底表面冲压沉积。而利用 XYZ 轴控制喷嘴的移动,即可实现图案的绘制。
利用该方法,可轻松实现:
1. 金属,合金,氧化物颗粒的印刷沉积
2. 无添加剂,无废液
3. 一步沉积,设备模块化,前端的气溶胶发生器可独立拆卸工作,进行其它方向的纳米研究
4. 颗粒初始粒径可保持在 0-20nm 之间,形成多孔结构
应用领域
· 高通量合金催化剂的筛选
利用气溶胶喷印在多个通道打印沉积比例不同的合金催化剂,从而快速考查电催化性能。该方法可用于在工业相关电流密度下的流体力学条件下制备和筛选电极材料,可用于确定最佳催化剂和催化剂制备的稳健性。Ni / Fe 的复合电极被用于进行验证,64 个不同比例的催化阳极电极在快速筛选后可得到反应电位的变化。
SERS
表面增强拉曼光谱需要精细的 Au, Ag 等纳米结构,从而实现对低信号量化学物质的灵敏检测。利用气溶胶喷印技术在基底表面快速绘制纳米图案,进行拉曼光谱检测。这种方法避免添加剂对检测的干扰,在较低的温度处理后便可进行后续检测。
纳米印刷结构
在对罗丹明 6G,PMBA,三聚氰胺的检测中,标准基片表现出了优异的信号增强性能。
气体传感器
金属氧化物 (MOX) 气体传感器通过半导体金属氧化物薄膜的电阻变化来检测气体,但氧化物涂层需要温和的沉积,故而常用的 PVD 与 CVD 手段均不适用。现有方法为利用溶胶凝胶法结合丝网印刷实现区域的沉积。利用气溶胶喷印直写可以实现精准的印刷沉积,避免热处理。
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2023/10/27
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大气压条件下的火花烧蚀(spark ablation)技术,可实现纳米粒子的连续气相合成。通过控制粒子生长区的温度以保证碰撞原子或颗粒的完全聚结,原则上可以调节单线态颗粒的尺寸——从单个原子的尺度到任何期望的值。结合火花烧蚀的放大和无限混合能力,可以实现在工业规模上低成本生产先进材料纳米制造的关键模块构筑。
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2023/10/27
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大气压条件下的火花烧蚀(spark ablation)技术,可实现纳米粒子的连续气相合成。通过控制粒子生长区的温度以保证碰撞原子或颗粒的完全聚结,原则上可以调节单线态颗粒的尺寸——从单个原子的尺度到任何期望的值。结合火花烧蚀的放大和无限混合能力,可以实现在工业规模上低成本生产先进材料纳米制造的关键模块构筑。 工程纳米粒子 (ENP) 用于可印刷电子、能量转换和存储、催化、传感器技术以及医学领域新型关键纳米结构材料。ENP 的尺寸和成分是决定所得材料和产品性能最重要的变量。 在本文中,我们通过创造“单线态”颗粒生产的可扩展概念,挑战“气相中纳米颗粒合成导致团聚”。使用火花烧蚀可以产生从几个原子簇到任何所需尺寸的颗粒的单态,在高通量和超纯生产方面表现出巨大的灵活性。从而有利于 ENP 合成并实现低成本制造工业规模的纳米材料。
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2023/10/27
企业名称
复纳科学仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91310115594714659N
成立日期
2012-04-19
注册资本
人民币500.0000万元整
经营范围
一般项目:仪器仪表、实验室设备,电子产品及相关零配件的研发和销售;从事仪器仪表技术领域内的技术开发、技术推广、技术咨询、技术转让、技术服务、技术交流;货物进出口,技术进出口;信息咨询服务(不含许可奥信息咨询服务)..(除依法须经批准的项目外,凭营业执依自主开展经营活动)
复纳科学仪器(上海)有限公司
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上海市闵行区虹桥镇申滨路 88 号上海虹桥丽宝广场 T5,705 室
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