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粉末工程的革命—粉末型原子层沉积（PALD）设备选型
2021/08/20 11:45
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方案摘要：
产品配置单：
PROMETHEUS 流化床原子层沉积系统
型号： PROMETHEUS
产地： 美国
品牌： Forge Nano
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PANDORA 多功能台式原子层沉积系统
型号： PANDORA
产地： 美国
品牌： Forge Nano
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方案详情：
粉末技术经过多年的发展，已经形成多样化的制备及加工技术。其中，表面包覆技术作为提升粉末物理化学性能的重要手段，长期一来一直缺乏有效的精密手段。传统的液相包覆或气相包覆手段都无法实现均匀以及厚度的精密控制，限制了包覆技术的进一步发展。原子层沉积技术（ALD）是一种自限制性的化学气相沉积手段，通过将目标反应拆解为若干个半反应，实现表面涂层的原子层级厚度控制。利用该技术制备的涂层具有：共形，无针孔，均匀的特点，对于复杂的表面界面以及高纵深比样品有较好的沉积效果。
各类包覆技术对于涂层厚度控制以及适用的颗粒粒径范围
ALD 技术制备的薄膜更均匀（左：溶胶凝胶法；右：ALD）
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公司名称： 复纳科学仪器（上海）有限公司
公司地址： 上海市闵行区虹桥镇申滨路 88 号上海虹桥丽宝广场 T5，705 室 联系人： 樊丽丽 邮编： 201106 联系电话： 400-812-0959
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