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普罗米修斯助力 Air Liquid 开发新型 ALD 前驱体
2021/11/01 17:38
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方案摘要：
产品配置单：
PROMETHEUS 流化床原子层沉积系统
型号： PROMETHEUS
产地： 美国
品牌： Forge Nano
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PANDORA 多功能台式原子层沉积系统
型号： PANDORA
产地： 美国
品牌： Forge Nano
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方案详情：
希腊神话中普罗米修斯窃取天机，为人类带来火焰与文明。而纳米科学家们无疑是我们时代的“普罗米修斯”。原子层沉积技术（ALD）作为一种精确到原子层面的沉积技术，探寻各种各样的配方就如同“纳米盗火者”一般，将微观世界的火种带入现实。
ALD 反应依赖于多种前驱体化学物质得到最终产物的一种气相沉积技术。由于 ALD 反应的自限制特性，前驱体通常是过量的，从而保证表面的饱和化学吸附，实现均匀包覆。在半导体工艺中，ALD 技术已经得到广泛应用。近年来，随着粉末 ALD 包覆研究：PALD（Particle ALD）的兴起，前驱体的开发被赋予了更高的使命与要求。开发新型 ALD 前驱体，将是“纳米盗火者”们不竭的使命。
开发各类前驱体是进行 ALD 反应的关键
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公司名称： 复纳科学仪器（上海）有限公司
公司地址： 上海市闵行区虹桥镇申滨路 88 号上海虹桥丽宝广场 T5，705 室 联系人： 樊丽丽 邮编： 201106 联系电话： 400-812-0959
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