Checkpoint Technologies, LLC USA
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Checkpoint 在半导体工业领域中是全球领先的激光扫描显微镜供应商, Checkpoint 设备广泛应用于半导体的失效分析和调试技术,一些技术例如 TIVA, LIVA, OBIC, OBIRCH, SDL, LADA 以及激光探针拥有着 Checkpoint 的设备技术支持。
Systems
InfraScan™ LTM
Checkpoint Technologies 的激光探测工具- Laser Timing Module 在光学探头电路的节点采用了一个cw激光,从而使其产生电波, Checkpoint Technologies 的稳定激光源和光-点的转换模式提供了高达12 GHz 的高频宽的光头探针。
LTM 可以整合改装成在现有的 InfraScan 产品, 譬如 INV 或者 TDE, 同时它本身还可以作为一台独立系统。
并且LIM不会影响 INV, TDE 在进行样品时的PEM , LSM的测试功用。
InfraScan™ ES400
Infrascan™ ES400 系列完成了 Checkpoint Technologies, 全球领先的激光扫描镜及其最好的激光发射仪的有效组合,使其成为一个单独设备。这种组合可以允许Checkpoint的客户可以配置单独的激光扫描或者激光发射,或者两者的组合。更好的是,这种组合在客户未来的需求扩展上提供一个很便捷的产品升级方式,最后, ES400 可以适用于Checkpoint的固体浸透镜产品的所有权。
InfraScan™ 400TDM
InfraScan™ 400TDM是 Checkpoint 最新研发的自上而下的激光扫描和激光发射工具的革新产品。这产品特别设计成适用于任何商业的探头台- 最大可以用于300mm的晶片。这种组装融合全球领先的是激光扫描技术,和最好的发射系统是其成为一个单独的系统。 让用户更便捷的使用设备。 TDM 可以配置多达三个激光和可配置一个InGaAs, MCT 或者SICCD 发射照相机。
Modules
SIL Objectives
Checkpoint Technologies 设计和建立它自己的固体浸没透镜 (SIL), SIL在半导体后端IC的图片中提供给客户艺术图片分辨率的形态。 Checkpoint 的SIL 物镜可以毫无缺陷的整合到任何InfraScan™ 系统,有效帮助您解析到IC的最好的结构状态。
ASP-1000
Checkpoint 的ASP-1000 拥有着以“激光-缺陷定位”最灵敏的源/放大器,ASP-1000 是通过标准的RS-232 电脑界面控制。 电脑控制着包括常恒定电流和恒定电压模式。及频宽过滤器来优化缺陷参数。多个的 ASP-1000 可以给你的激光-安装设置带来更大的灵活性。
SLS-1000 Laser Module
Checkpoint 的SLS-1000 激光配件的设计适用于激光-缺陷定位的应用, SLS-1000 提供一个纤维连接,极化维持的激光束可以轻易的连接进一个扫描模式。 SLS-1000 的单个激光波长为 1064nm, 1340nm, 532nm, 其功率在1064nm, 1340nm的时候最高可达1W, 532nm可达100mW。
DLS-1000 Laser Module
Checkpoint 的DLS-1000 激光配件的设计适用于激光-缺陷定位的应用,SLS-1000 提供一个纤维连接,极化维持的激光束可以轻易的连接进一个扫描模式,The DLS-1000 配备了1064nm 兼1340nm 的激光,其功率最高可达1W。