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SU-8 2000及3000系列光刻胶

品牌： MicroChem
产地： 美国
型号： SU-8 2000 and 3000 series
报价： 面议
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产品介绍

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Microchem公司的SU-8 胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶，它适于制超厚、高深宽比的MEMS微结构，适合i线，X-Ray，E-beam曝光。具有非常好的热稳定性、抗刻蚀性、高分辨率、高深宽等特点。对近紫外350~400nm波段曝光最为敏感。即使在非常厚的光刻胶曝光情况下，曝光均匀一致，可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形。

 

SU-8 2000系列的特性

1）厚度范围，单层涂胶厚度为 0.5 to > 200 μm

2）高深宽比：>10:1

3）更多挥发性溶剂，与传统去边工艺兼容

4）降低了极性溶剂含量减小表面张力

5）表面活性成分，改善涂覆效果

应用：MEMS，钝化层应用LED微流以及光电子器件制作  

 

SU-8 2000系列的属性

1）旋转涂层薄膜：<1um to >75um

2）耐高温、耐化学性

3）光学透明

4）与i-line成像设备兼容

 

SU-8 3000系列的特性

1）膜厚5-120 um

2）高深宽比：>5:1

3）常用于永久性结构制作，较SU-8 2000具有更好的基底粘附力，更不易于在工艺过程中产生内应        力积累

应用：光电器件、微流体、MEMS芯片制作以及作为芯片绝缘、保护层使用


相关溶液：

稀释剂：SU-8 Thiner

显影液：SU-8 Developer

去胶液：Remover PG

增附剂：OmniCoat

 

一般储存温度：

4-21°C


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工商信息

企业名称

香港电子器材有限公司

企业信息已认证

企业类型

私人股份有限公司

信用代码

09668219-000-05-24-6

成立日期

1985-05-09

注册资本

000000

经营范围

半导体设备代理

联系方式

香港电子器材有限公司

公司地址

香港中区德辅道中71号永安集团大厦2802室

客服电话

400-860-5168转2459
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