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高麦电子级乙硅烷分析解决方案
乙硅烷是一种无机化合物，其化学式为Si2H6，在常温常压下为无色透明，且具有一定刺激性气味的有毒气体，在自身蒸汽压下是无色透明液体。乙硅烷气体可以与氢气、氩气、氮气、氦气等以任意比例混合，可以溶于苯、二硫化碳、乙基硅酸和乙基醇。乙硅烷在空气中能自燃，着火点低于室温，因此，乙硅烷遇到空气瞬间燃烧，并分解成为SiH4和H2。燃烧浓度范围宽，在0.2%以上时，燃烧发出火焰，在0.2%以下时，发生氧化反应生成白色的SiO2。
乙硅烷在薄膜晶体管液晶显示和芯片制造以及非晶硅膜太阳能电池生产中都有着极其重要的作用。作为沉积源时，与相同作用的硅烷相比，乙硅烷具有沉积速度更快、沉积温度更低等优点。乙硅烷可以用于非晶硅膜太阳能电池和电子产品中电子级晶体硅的生产，在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。在离子注入中，以乙硅烷作离子源后束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。
检测电子级乙硅烷中ppb级的气态杂质
电子级乙硅烷分析指标包括H2、O2+Ar、N2、CH4、CO 、CO2、C2-C4、SIH4、SI3H8、氯硅烷等杂质。
使用高麦专利的高压放电氦离子化检测器，利用其高灵敏度检测电子级乙硅烷中ppb级的气态杂质。对杂质的分析搭配专用色谱柱采用反吹+中心切割气路，对氯硅烷、C3-C4分析搭配专用毛细柱+反吹放空气路分析。
高麦不仅可提供气相色谱仪，还包括水分析仪、氧分析仪、傅里叶红外光谱仪、色谱配件、预处理工程、防爆小屋等一系列产品及服务，关注高麦微信公众号，带您解锁更多分析方案和服务。
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