GOW-MAC 5900专用气相色谱仪

氢燃料电池汽车是氢能应用的主要途径，作为燃料的氢气，其纯度和所含杂质的含量，对氢燃料电池的放电性能和寿命具有重大影响。将其分为有毒性杂质（总硫、CO、HCHO、HCOOH、总卤化物、NH3）和其他杂质（O2、Hｅ、Ｎ2、Ar、总烃、CO2、H2O、颗粒物）。

碳酰氟，分子式为CF2O，也称为氟光气、羰基氟、氟化羰，常温常压下外观为无色气体状，可加压液化，便于储存，有刺激性，有毒性，有强腐蚀性。碳酰氟可溶于乙醇，可溶于水，遇水可水解排放出剧毒氟化氢、二氧化碳气体，不可燃，遇高温可分解，分解产物为四氟化碳、二氧化碳，在密闭容器中有爆炸危险。 碳酰氟应用领域包括有机合成原料、有机合成中间体、有机合成氟化剂以及有机合成的纯化与干燥等方面。高纯碳酰氟可应用于半导体产业中，用作晶圆蚀刻剂、半导体设备清洗剂。碳酰氟的ODP（消耗臭氧潜能值）为零，GWP（全球变暖潜能值）低，是一种环保性好的气体，在全球半导体产业规模不断扩大背景下，其需求持续增长，是主要电子气体产品之一。

氢能源拥有诸多优点，但难以储存和运输，成本高昂。氢是元素周期表上最轻的元素，很容易泄漏，对储存容器要求高，并且氢气非常活泼，与空气混合后很容易发生燃烧和爆炸。 如果远距离运输氢，需要将其液化，在常压状态下，需要将其温度降低到-235摄氏度以下，能耗较高。如果以管道运输，则需要克服纯氢以及掺氢的气体给管道带来的安全隐患，攻克氢气管道的材料难题。 在氢能源高昂的成本下，氨气走入人们视野，氨由一个氮原子和三个氢原子组成，是天然的储氢介质。常压状态下，温度降低到-33摄氏度，就能够液化，便于安全运输。 目前全球八成以上的氨用于生产化肥，并且氨有完备的贸易和运输体系。理论上，可以用可再生能源生产氢，再将氢转换为氨，运输到目的地。

乙硅烷是一种无机化合物，其化学式为Si2H6，在常温常压下为无色透明，且具有一定刺激性气味的有毒气体，在自身蒸汽压下是无色透明液体。乙硅烷气体可以与氢气、氩气、氮气、氦气等以任意比例混合，可以溶于苯、二硫化碳、乙基硅酸和乙基醇。乙硅烷在空气中能自燃，着火点低于室温，因此，乙硅烷遇到空气瞬间燃烧，并分解成为SiH4和H2。燃烧浓度范围宽，在0.2%以上时，燃烧发出火焰，在0.2%以下时，发生氧化反应生成白色的SiO2。 乙硅烷在薄膜晶体管液晶显示和芯片制造以及非晶硅膜太阳能电池生产中都有着极其重要的作用。作为沉积源时，与相同作用的硅烷相比，乙硅烷具有沉积速度更快、沉积温度更低等优点。乙硅烷可以用于非晶硅膜太阳能电池和电子产品中电子级晶体硅的生产，在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。在离子注入中，以乙硅烷作离子源后束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。

在装有纯化钼粉的反应器中，导入经过净化的高纯氟气体，控制反应温度在250-300℃,氟化生成六氟化钼。氟化产物经过1-3级接收器，在第一级回收高沸点杂质，第二级在-5-5℃回收六氟化钼，第三级回收过剩的氟及低沸点杂质。将六氟化钼经真空蒸馏，得到高纯六氟化钼。

氪、氙是空气中的稀有气体，由于其本身特性使氪氙广泛应用在照明灯具填充气，平板电脑制造、电子芯片制造、空间/卫星产业、医疗行业、检测行业、基础科研等各行业领域中。空气中存有氦、氖、氩、氪、氙等五种稀有气体，其中氪、氙含量最少，由于其提取工艺复杂，空气中占比稀少，售价高昂，因此氪、氙有“黄金气体”之称。

高纯氯化氢是集成电路生产中硅片蚀刻、钝化、外延、气相抛光、吸杂和洁净处理等工艺的重要材料，也可用于金属冶炼，光导通讯和科学研究等领域。 随着大规模集成电路的发展，对氯化氢纯度的要求越来越高，除了应具有99.999%以上的纯度，对其中杂质的含量要求越来越苛刻，尤其要求严格限制碳氢化合物和碳氧化合物的含量，以防止硅片加工过程中碳的形成。 之前我国大多从美、日等国进口电子级氯化氢，但近年来，我国电子工业所需的化学气体研制，在技术上已有不少突破和发展。国内也有单位已成功开发出相关的电子级氯化氢产品，但还远不能满足市场需求，市场前景广阔。

电子特气大部分气体均存在腐蚀性，并且杂质含类多，其含量检测要求需达到在ppb级别。对此，高麦利用搭载氦离子化检测器的气相色谱仪和傅里叶红外的完美配合，已成为目前“电子特气纯度分析”中更为领先的解决方案。