乙硅烷是一种无机化合物，其化学式为Si2H6，在常温常压下为无色透明，且具有一定刺激性气味的有毒气体，在自身蒸汽压下是无色透明液体。乙硅烷气体可以与氢气、氩气、

在装有纯化钼粉的反应器中，导入经过净化的高纯氟气体，控制反应温度在250-300℃,氟化生成六氟化钼。氟化产物经过1-3级接收器，在第一级回收高沸点杂质，第二级

半导体行业废气主要为有机废气和酸碱废气两类。有机类有：非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等；酸碱类有：氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。在半导体行业中造成环境污

氩气是一种无色、无味的单原子气体，相对原子质量为39.948。一般由空气液化后，用分馏法制取氩气。氩气的密度是空气的1.4倍，是氦气的10倍。氩气是一种惰性气体

混合气体Gas mixture是含有两种或两种以上有效组分，或虽属非有效组分但其含量超过规定限量的气体。由几种气体组成的混合物，是工程上常用的工质。混合气体通常

根据国标要求中对于食品级二氧化碳中硫苯烃的分析，可采用GOW-MAC 210 系列分析仪及GOW-MAC 2400总烃气体分析仪进行检测。 GOW-MAC 2

碳酰氟，分子式为CF2O，也称为氟光气、羰基氟、氟化羰，常温常压下外观为无色气体状，可加压液化，便于储存，有刺激性，有毒性，有强腐蚀性。碳酰氟可溶于乙醇，可溶于

电子特种气体（简称“电子特气”）是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。晶圆制造主要包括清洗、沉积/CVD、光刻、刻蚀、离子注入、成膜等工艺，从单

电子特气属于半导体八大核心材料之一，全球半导体行业协会（SEMI）数据显示，电子特气在半导体晶圆制造材料价值占比13.50%，电子特气是继硅片之后的第二大半导体

1857年德国化学家H Buff发现硅烷，在以后的100年左右的时间里硅烷只是少数研究者在实验室里研究的对象。20世纪50年代半导体科技崛起，人们开始考虑硅烷的