高麦电子级硅烷解决方案

氢能源拥有诸多优点，但难以储存和运输，成本高昂。氢是元素周期表上最轻的元素，很容易泄漏，对储存容器要求高，并且氢气非常活泼，与空气混合后很容易发生燃烧和爆炸。 如果远距离运输氢，需要将其液化，在常压状态下，需要将其温度降低到-235摄氏度以下，能耗较高。如果以管道运输，则需要克服纯氢以及掺氢的气体给管道带来的安全隐患，攻克氢气管道的材料难题。 在氢能源高昂的成本下，氨气走入人们视野，氨由一个氮原子和三个氢原子组成，是天然的储氢介质。常压状态下，温度降低到-33摄氏度，就能够液化，便于安全运输。 目前全球八成以上的氨用于生产化肥，并且氨有完备的贸易和运输体系。理论上，可以用可再生能源生产氢，再将氢转换为氨，运输到目的地。

“碳达峰”、“碳中和”火了！ “碳达峰”、“碳中和”，这两个词可是最近的“熟面孔”，不仅走入了大众视野，还频繁出现在各大重要会议中。今年两会上，这两个词更是被首次写入了政府工作报告，也成为代表委员们讨论的“热词”。 那么，被如此热议的 “碳达峰”、“碳中和”到底是什么呢?

乙硅烷是一种无机化合物，其化学式为Si2H6，在常温常压下为无色透明，且具有一定刺激性气味的有毒气体，在自身蒸汽压下是无色透明液体。乙硅烷气体可以与氢气、氩气、氮气、氦气等以任意比例混合，可以溶于苯、二硫化碳、乙基硅酸和乙基醇。乙硅烷在空气中能自燃，着火点低于室温，因此，乙硅烷遇到空气瞬间燃烧，并分解成为SiH4和H2。燃烧浓度范围宽，在0.2%以上时，燃烧发出火焰，在0.2%以下时，发生氧化反应生成白色的SiO2。 乙硅烷在薄膜晶体管液晶显示和芯片制造以及非晶硅膜太阳能电池生产中都有着极其重要的作用。作为沉积源时，与相同作用的硅烷相比，乙硅烷具有沉积速度更快、沉积温度更低等优点。乙硅烷可以用于非晶硅膜太阳能电池和电子产品中电子级晶体硅的生产，在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。在离子注入中，以乙硅烷作离子源后束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。

在装有纯化钼粉的反应器中，导入经过净化的高纯氟气体，控制反应温度在250-300℃,氟化生成六氟化钼。氟化产物经过1-3级接收器，在第一级回收高沸点杂质，第二级在-5-5℃回收六氟化钼，第三级回收过剩的氟及低沸点杂质。将六氟化钼经真空蒸馏，得到高纯六氟化钼。