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当前位置： 高麦克 > 最新动态 > 高麦电子工业用六氟化钼分析解决方案

高麦电子工业用六氟化钼分析解决方案

高麦克

2023/03/31 17:16

阅读：24

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六氟化钼（molybdenum hexafluoride）分子式MoF6，性质:白色块状结晶。密度2.55lg/cm3(液态，17.5℃)，熔点17.5℃，沸点35℃，遇干空气、氯气、二氧化硫不起反应。对湿空气敏感，生成蓝色的氧化钼，大量水溶解并分解。在强氧化剂存在下，室温能侵蚀许多金属(金、铂除外)，使金属表面变为蓝色。与碱性氟化物生成配位化合物M21[MoF8]。

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在装有纯化钼粉的反应器中，导入经过净化的高纯氟气体，控制反应温度在250-300℃,氟化生成六氟化钼。氟化产物经过1-3级接收器，在第一级回收高沸点杂质，第二级在-5-5℃回收六氟化钼，第三级回收过剩的氟及低沸点杂质。将六氟化钼经真空蒸馏，得到高纯六氟化钼。

在电子工业中，高纯六氟化钼用作化学气相淀积硅化钼或钼，以制作低电阻、高熔点的互连线栅极。

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六氟化钼分析指标





针对于六氟化钼的气体性质，选择GOW-MAC 5900专用气相色谱仪，采用专利型DID放电氦离子化检测器，蒙乃尔合金防腐色谱柱及双反吹气路，搭配MIDAC FTIR分析含氟气体中SIF4和HF。

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