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高麦电子级碳酰氟分析解决方案
碳酰氟，分子式为CF2O，也称为氟光气、羰基氟、氟化羰，常温常压下外观为无色气体状，可加压液化，便于储存，有刺激性，有毒性，有强腐蚀性。碳酰氟可溶于乙醇，可溶于水，遇水可水解排放出剧毒氟化氢、二氧化碳气体，不可燃，遇高温可分解，分解产物为四氟化碳、二氧化碳，在密闭容器中有爆炸危险。
碳酰氟应用领域包括有机合成原料、有机合成中间体、有机合成氟化剂以及有机合成的纯化与干燥等方面。高纯碳酰氟可应用于半导体产业中，用作晶圆蚀刻剂、半导体设备清洗剂。碳酰氟的ODP（消耗臭氧潜能值）为零，GWP（全球变暖潜能值）低，是一种环保性好的气体，在全球半导体产业规模不断扩大背景下，其需求持续增长，是主要电子气体产品之一。
根据中国工业气体工业协会T/CCGA 30005-2021团体标准，碳酰氟技术指标如下：
对于其中的H2、O2+Ar、N2、CO、CF4、NF3、CO2、N2O、等杂质分析可采用GOW-MAC 5900专用气相色谱
GOW-MAC 5900 专用气相色谱仪配有一个高麦电离子化检测器（DID）。这是一种非放射性，通用性，浓度型的检测器。DID检测器利用氦气在电极间的放电，产生高能UV光子和亚稳态氦，能使除氦气的所有化合物都被电离。DID动态范围从1ppb到<0.5%(v/v)。
技术指标
进样方式：阀进样
色谱柱类型：填充柱
柱箱：离心式鼓风机循环并分配热空气，从而消除温度梯度线性温度范围为环境温度至300℃。适当长度和类型的色谱柱，带有1/8”VCR连接，用于特定的应用分析。
检测器：放电离子化检测器（DID）
检测限：≤1ppb CH4
检测器温度范围：环境温度-120℃
仪器优点
专利DID检测器：U.S Pat.No4，975，648
波纹管计量阀进行流量控制，所达到的气密性能实现超低微量的完美检测。
定制型多维阀柱组合配置，最多可配置4阀4柱
应用领域
半导体行业、电子特气气体行业
钢铁行业、质检所
原子能研究所、气体研究院
对于其中HF分析可采用MIDAC FTIR测量，也可同时对其中的CO、CO2、CF4、NF3、N2O等杂质同时分析
仪器优点
测量速度快，FTIR的测量速度几乎是实时响应
测量范围广，可以测量几乎所有的物质，除了没有红外吸收的分子，都可以进行测量
可以同时测量多个组分，由于FTIR的原理，干涉光中同时包含了整个分析谱段
数据储备空间大，电子气行业中，拥有庞大的数据库储备，涵盖了电子气市场上的几乎所有检测项目
无破坏性，同其他光谱法一样，对样品不具有破坏性
极佳的防腐蚀性能，样品池内采用的专利涂层技术可以保证默认情况满足绝大多数腐蚀性样品的检测需求，特殊样品可进行针对处理满足客户需求
仪器参数
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公司名称： 北京高麦克仪器科技有限公司
公司地址： 北京市大兴区盛坊路2号北京仪器仪表工业基地 联系人： 牛经理 邮编： 100076 联系电话： 400-860-5168转2023
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