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解决方案

氦离子气相色谱仪检测硅烷类气体纯度

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

纯度
由于硅烷极易被氧化,遇空气即可自燃,因此,对它的分析便需要更加安全、严谨的方法。南京科捷分析仪器有限公司的GC5890H氦离子气相色谱仪配备VALCO公司的PDHID检测器,适用于高纯气体和电子工业用气体中痕量杂质的检测,能够检测至ng/(ppb))级。

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气体行业分析之高纯气体分析氦离子气相色谱仪

GC5890H

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