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用PEALD等离子增强原子层沉积系统制备Ge2Sb2Te5薄膜
2008-09-16 09:24
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桌面型原子层沉积系统
型号： AT
产地：
品牌： 安睿科
¥ 50万 - 100万
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ZnO纳米带生长
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发光器件（OLED及钙钛矿LED器件）载流子特性分析，包括载流子迁移率，I-V-L特性测量分析，启动电压测量等。
AT 系列ALD System 是一款小尺寸桌面型的原子层沉积系统，采用全新的设计理念、便捷的控制系统和丰富的成膜Recipes，为广大科研工作者提供了最优化的成膜系统。
提供太阳能电池IV特性测量，包括基本光电特性转换效率、短路电流、开路电压、最大功率、填充因子等、正反扫描功能、重复性扫描功能、稳态恒电压扫描功能、MPPT最大功率点追踪测试功能等；
