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Hartmann - Shack波前传感器/波前分析仪是专用于激光束性能的综合表征，对激光辐射传播行为预测以及光束质量因子M²的确定，从同时记录强度和相位分布光束质量可以通过菲涅耳-基尔霍夫积分计算沿光束路径的任何位置，特别是焦平面。
系统基于微透镜阵列，将入射波分散成大量的次级光波。用相机检测每个独立聚焦点的强度和位置，通过单次测试便能重构光束剖面和波前。
主要功能
光束传播（NIR~EUV）
基于ISO光束参数分析
M²光束质量因子实时测量
聚焦性能检测
光学测试/Zernike分析
主要特点
单次测试可获得所有光束参数
光谱范围: 1100nm~1nm
动态范围：up to 100λ
灵敏度：<100pm
多种规格微透镜阵列和相机可选
客户方案定制
光束测试软件
测试基于ISO标准
Parameter | Standard |
Beam diameter光束直径 | ISO 11146 |
Divergence | ISO 11146 |
Beam profile光束剖面 | ISO 13694 |
Pointing 指向/ pos. Stability位置稳定性 | ISO 11670 |
M2 质量因子/ Focusability聚焦性 | ISO 11146 |
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布 | ISO 15367 |
Coherence 相干 | - |
Around 20 various camera types are supported |
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