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主要特点
压电驱动微动平台，装配CCD相机
光束方向快速移动
临近位置光束剖面/形貌分析
波前推导CCD像素级分辨
光束传播参数分析（M2、瑞利长度、束腰直径）
Zernike分析畸变控制
采用自我参考法
无光束相干要求
紧凑式设计，在线检测
操作原理
技术规格
CCD相机USB3.0通讯
空间分辨率<10um
多种传感器覆盖光谱范围：1100nm (NIR) to 1nm (soft x‐rays)
实时波前分析
测试依据ISO标准
光束测试软件
测试基于ISO标准
Parameter | Standard |
Beam diameter光束直径 | ISO 11146 |
Divergence | ISO 11146 |
Beam profile光束剖面 | ISO 13694 |
Pointing 指向/ pos. Stability位置稳定性 | ISO 11670 |
M2 质量因子/ Focusability聚焦性 | ISO 11146 |
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布 | ISO 15367 |
Coherence 相干 | - |
Around 20 various camera types are supported |
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