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用于高功率激光器和极深紫外EUV源的光学部件性能综合测量，且性能和参数测量基于ISO国际标准。
别名：弱吸收测量仪，强激光材料性能测试仪，高功率激光薄膜光热弱吸收测量仪，光学薄膜微弱吸收测量仪，光学材料光热效应测量仪
主要特点
基于ISO11551标准吸收测量
基于ISO11254标准激光诱导损伤阈值测量
波前畸变（透镜加热，挤压）
透射测量
反射测量
基于ISO13696散射测量
衰减（color centers）
荧光/发光
Absorptance: Thermal lens in fused silica @193nm
可用的辐射源
高功率准分子激光器
-351nm、308nm、248nm、193nm、157nm
固体激光器
-1064nm、532nm、355nm、266nm（ns and ps 脉冲宽度）
-1070nm光纤激光（500W cw）
-可调谐OPO：680~980nm+IR-Idler
激光诱导EUV/XUV源
-13nm
-~4nm
Two‐dimensional scatter map
@248nm
Micrographs of laser‐induced damage sites of various laser‐optical materials
光束测试软件
测试基于ISO标准
Parameter | Standard |
Beam diameter光束直径 | ISO 11146 |
Divergence | ISO 11146 |
Beam profile光束剖面 | ISO 13694 |
Pointing 指向/ pos. Stability位置稳定性 | ISO 11670 |
M2 质量因子/ Focusability聚焦性 | ISO 11146 |
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布 | ISO 15367 |
Coherence 相干 | - |
Around 20 various camera types are supported |
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