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kSA BandiT 实时温度测试仪

品牌: k空间
产地: 美国
型号: kSA BandiT
样本: 下载
报价: ¥10万 - 30万
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核心参数

产地类别: 进口

产品介绍
简介
kSA BandiT是一种非接触、实时测量半导体衬底表面真实温度的系统,适用于MBE、MOCVD等多种沉积设备。通过测量半导体材料吸收边随温度的变化,实现精确的温度监测。该系统具备高精度(温度分辨率0.1摄氏度,重复性0.2摄氏度)和稳定性(±0.2摄氏度),并能进行多晶片2D温度Mapping监测。此外,它还能分析沉积速率、薄膜厚度及表面粗糙度,并具备黑体辐射监测技术。其应用广泛,包括半导体生长过程中的温度实时检测。

kSA BandiT 是一种非接触、实时测量半导体衬底表面真实温度的测试系统,采用半导体材料吸收边随温度的变化,实时测量晶片/衬底的温度;并且kSA BandiT 已经成功地安装到众多的MBE, MOCVD, Sputter, PLD等半导体沉积设备上,实现晶片的温度实时检测。


新款的kSA BandiT多晶片温度监控软件结合了自动伺服马达控制的扫描检测功能,从而实现了MBE外延薄膜生长过程中多衬底温度实时Mapping检测。


该系统能在外延薄膜生长过程提供衬底/晶片实时的二维温度信息。对Wafer(及薄膜)表面温度实时、非接触、非入侵、直接的检测;采用温度和半导体材料对光的吸收边(谱带能量)相关性原理,即材料的本征特性,使得测量结果更准;可装载到MBE、MOCVD、溅射、蒸发系统等和热处理、退火设备上,进行实时温度检测。


技术参数:

      温度范围:室温~750摄氏度(可达1300摄氏度);

      温度重复性:0.2摄氏度; 

      温度分辨率:0.1摄氏度;

      稳定性:+/-0.2摄氏度;


主要特点:

      *实时、非接触、非入侵、直接的Wafer温度监测;

      *多基片/晶片表面2D温度Mapping监测;

      *真实的Wafer表面或薄膜温度监测;

      *整合了黑体辐射监测技术;

      *沉积速率和薄膜厚度分析;

      *表面粗糙度分析功能;

      *测量激光波长范围可选(例如:可见光波段、近红外波段等)

      *避免了发射率变化对测量的影响;

      *无需沉积设备Viewport特殊涂层;


应用实例:


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 3人次技术培训
免费仪器保养: 3个月1次
保内维修承诺: 免费更好失效硬件提供免费的技术支持和服务
报修承诺: 24小时到达客户现场
问商家

k空间镀膜机kSA BandiT的工作原理介绍

镀膜机kSA BandiT的使用方法?

k空间kSA BandiT多少钱一台?

镀膜机kSA BandiT可以检测什么?

镀膜机kSA BandiT使用的注意事项?

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k空间镀膜机kSA BandiT报价含票含运吗?

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工商信息

企业名称

巨力科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

BODY CORPORATE

信用代码

51898450-000-03-22-0

成立日期

2010-03-09

注册资本

1000000HKD

经营范围

经销先进科学仪器设备,并提供售后服务,技术支持

联系方式
巨力科技有限公司为您提供k空间kSA BandiT 实时温度测试仪,k空间kSA BandiT产地为美国,属于进口镀膜机,除了kSA BandiT 实时温度测试仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供薄膜应力测试仪、原位薄膜应力仪、薄膜热应力测量系统,巨力科技客服电话400-860-5168转1431,售前、售后均可联系。

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