核心参数
产地类别: 进口
kSA BandiT 是一种非接触、实时测量半导体衬底表面真实温度的测试系统,采用半导体材料吸收边随温度的变化,实时测量晶片/衬底的温度;并且kSA BandiT 已经成功地安装到众多的MBE, MOCVD, Sputter, PLD等半导体沉积设备上,实现晶片的温度实时检测。
新款的kSA BandiT多晶片温度监控软件结合了自动伺服马达控制的扫描检测功能,从而实现了MBE外延薄膜生长过程中多衬底温度实时Mapping检测。
技术参数:
温度范围:室温~750摄氏度(可达1300摄氏度);
温度重复性:0.2摄氏度;
温度分辨率:0.1摄氏度;
稳定性:+/-0.2摄氏度;
主要特点:
*实时、非接触、非入侵、直接的Wafer温度监测;
*多基片/晶片表面2D温度Mapping监测;
*真实的Wafer表面或薄膜温度监测;
*整合了黑体辐射监测技术;
*沉积速率和薄膜厚度分析;
*表面粗糙度分析功能;
*测量激光波长范围可选(例如:可见光波段、近红外波段等)
*避免了发射率变化对测量的影响;
*无需沉积设备Viewport特殊涂层;
应用实例:
k空间镀膜机kSA BandiT的工作原理介绍
镀膜机kSA BandiT的使用方法?
k空间kSA BandiT多少钱一台?
镀膜机kSA BandiT可以检测什么?
镀膜机kSA BandiT使用的注意事项?
k空间kSA BandiT的说明书有吗?
k空间镀膜机kSA BandiT的操作规程有吗?
k空间镀膜机kSA BandiT报价含票含运吗?
k空间kSA BandiT有现货吗?
企业名称
巨力科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
BODY CORPORATE
信用代码
51898450-000-03-22-0
成立日期
2010-03-09
注册资本
1000000HKD
经营范围
经销先进科学仪器设备,并提供售后服务,技术支持
巨力科技有限公司
公司地址
北京市通州区万达广场B-1311
客服电话