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石墨盘发射率测量系统

品牌： k空间

产地：美国

型号： kSA Emissometer

报价：面议

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核心参数

产地类别：进口

产品介绍

简介

该系统采用双传感器设计，能够对石墨盘进行全面的漫反射率、镜面反射率及发射率二维分布Mapping测量，适用于大部分商用石墨盘。通过测量石墨盘表面各点的发射率，可直观反映其表面细节，并基于黑体辐射原理评估表面温度分布，有助于提高器件质量和优化生长工艺。该设备扫描尺寸达700mm，扫描分辨率达径向0.05mm和角度0.1°，并能在10分钟内完成测量，具有高精度和便捷性。

技术介绍：系统采用双传感器设计，可在石墨盘旋转同时进行整个石墨盘的漫反射率、镜面反射率及发射率二维分布Mapping 测量；

原理用途：物体的发射率与物体的表面状态(包括物体表面温度、表面粗糙度、面形以及表面氧化层、涂层、缺陷、残留物、表面杂质等)有关。所以，通过对石墨盘各个点发射率的测量可以直接反映出石墨盘表面肉眼难以观测到的表面细节，同时基于黑体辐射原理进一步评估石墨盘表面温度的分布情况。这对有效控制器件的质量，以及优化生长工艺有帮助。

技术指标及特点：

1. 扫描尺寸：700mm；

2. 适配石墨盘：大部分商用石墨盘；

3. 扫描分辨率：径向分辨率0.05mm，角度分辨率0.1°，用户可自定义；

4. 扫描时间：10 分钟（465mm 尺寸的石墨盘，以径向1mm，角度0.1°测量）；

5. 测量光点尺寸：2mm

6. 光源波长：940nm 或660nm（可选）；

7. 镜漫反射率分辨率：±0.005；镜漫反射率准确度：±0.01；发射率分辨率：±0.01；发射率准确度：±0.02；

8. 系统为离线测量设备，便于石墨盘的装卸。软件操作简单，专为操作员及工程师设计；

售后服务

保修期： 1年

是否可延长保修期：是

现场技术咨询：有

免费培训： 3人次技术培训

免费仪器保养： 3个月1次

保内维修承诺：免费更好失效硬件提供免费的技术支持和服务

报修承诺： 24小时到达客户现场

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