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IDS3010激光干涉仪在半导体晶圆加工无轴承转台形变的测量上的应用

2020/03/19 17:55

阅读:374

分享:
应用领域:
半导体
发布时间:
2020/03/19
检测样品:
其他
检测项目:
变形量
浏览次数:
374
下载次数:
参考标准:
NA

方案摘要:

半导体光刻系统中的晶圆轻量化移动结构的变形阻碍了高通量的半导体制造过程。为了补偿这些变形,需要的测量。来自理工大学荷兰Eindhoven University of Technology 的科学家设计了一个基于德国attocube干涉仪IDS3010的测量结构,以此来详细地研究因为光压而导致的形变特性。

产品配置单:

分析仪器

皮米精度激光干涉仪-IDS3010

型号: IDS3010

产地: 德国

品牌: Attocube Systems AG

¥20万 - 50万

参考报价

联系电话

方案详情:

半导体光刻系统中的晶圆级轻量化移动结构的变形阻碍了高通量的半导体制造过程。为了补偿这些变形,需要精确的测量。来自世界顶尖理工大学荷兰Eindhoven University of Technology 的科学家设计了一个基于德国attocube干涉仪IDS3010的测量结构,以此来详细地研究因为光压而导致的形变特性。图一所示为测量装置示意图,测量装置由5 x 5 共计25个M12/F40激光探头组成的网格,以此来实现监测纳米级的无轴承平面电机内部的移动器变形。实验的目的是通过对无轴承的平面的力分布进行适当的补偿,从而有效控制转台的变形。实验测得最大形变量为544nm,最小形变量为110nm(如图二所示)。

image004.pngimage003.png

图一 左侧5X5排列探头测量装置示意图,右图为实物图

image005.jpg

图二 无轴承磁悬浮机台形变量的测量结果,最大形变量为544nm


参考文献:
Measuring the Deformation of a Magnetically Levitated Plate displacement sensor.


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