核心参数
产地类别: 进口
靶材材质: 金属
靶材尺寸: 2英寸
控制方式: 自动
样品仓尺寸: 13L
样品台尺寸: 3英寸
溅射气体: Ar
nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度的磁控溅射喷金仪。该系统可配备SEM样品托、TEM网、普通样品等多种专用样品台,满足各种高精度的喷金或电生长需求。除了溅射金属电外,nanoEM还具有大的拓展空间,虽然作为台式设备,nanoEM配备了输出功率可达300W的溅射源,系统还可选择样品台旋转、样品倾斜、自动压强控制等多种功能。丰富的选件和配置可以满足学术研究的多种样品生长需求,可升成为一台多功能的磁控溅射薄膜制备系统。该设备作为灵活的高精度金属溅射仪备受各大实验室的青睐。
主要特点:
◎ 能够达到学术研究的多功能喷金仪
◎ SEM托、TEM网、普通样品多种专用样品台可选
◎ 可安装两个2英寸溅射源
◎ 通用的溅射靶材
◎ 本底真空<5×10-7 mbar
◎ 流量计控制生长气氛
◎ 可调式DC溅射源,输出功率可达300W
◎ 全自动,引导式触屏控制
◎ 完备的安全性设计
◎ 易于维护
◎ 兼容超净室
◎ 稳定的性能表现
系统选件:
◎ 腔体视窗
◎ 真空泵型号可选
◎ 气压全自动控制系统
◎ 溅射源挡板
◎ 等离子体辉光电
◎ 样品台旋转与倾斜
◎ 晶振膜厚监测系统
MOORFIELD离子溅射仪nanoEM的工作原理介绍
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企业名称
QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110000410217679
成立日期
2004-10-10
注册资本
20
经营范围
磁性物体测量系统、物理性物体测量系统、超导量子干涉装置的探头以及有关电子产品的批发、佣金代理(拍卖除外)、进出口及售后服务、咨询服务(涉及配额许可证管理、专项管理规定的商品按照国家有关规定办理)。(非货币出资4万美元。依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)
QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司
公司地址
北京市朝阳区酒仙桥路10号恒通商务园B22座 501 室
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